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一种质量厚度为600-1200μg/cm2自支撑铟薄膜及其制备方法
一种质量厚度为600-1200μg/cm2自支撑铟薄膜及其制备方法
发明专利
有效专利
薄膜制备
申请日:
2018-08-16
当前状态:
授权
国际分类号:
C23C14/02
、
C23C14/32
、
C23C14/14
发明人:
欧志清
申请人:
广州本康环保科技有限公司
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