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寻找关于B81:微观结构技术领域相关可售专利
B81领域相关在售专利
B81子分类
B81B:微观结构的装置或系统,例如微观机械装置
B81C:专门适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备
B81B大组
B81B1/00:不具有活动或柔性元件的装置,例如微毛细管装置
B81B3/00:由柔性或可变形的元件组成的装置,例如由弹性舌或膜片组成
B81B5/00:由彼此相对移动的元件组成的装置,例如由滑动或转动元件组成
B81B7/00:微观结构系统
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异质键合成型装置
异质键合成型装置
发明专利
有效专利
一种用于制作微机电领域产品的机械装置
申请日:
2013-09-09
当前状态:
授权
国际分类号:
B81C3/00
发明人:
白向阳
申请人:
江阴迪林生物电子技术有限公司
光驱动扫描微镜
光驱动扫描微镜
发明专利
有效专利
一种用于光学扫描的微机电系统器件
申请日:
2012-06-04
当前状态:
授权
国际分类号:
G02B26/10
、
B81B7/00
发明人:
徐英舜
申请人:
凝辉(天津)科技有限责任公司
双微镜旋转扫描器件
双微镜旋转扫描器件
发明专利
有效专利
一种用于旋转光学扫描的微机电系统器件
申请日:
2012-05-28
当前状态:
授权
国际分类号:
B81B3/00
、
G02B26/08
、
G02B26/10
发明人:
徐英舜
申请人:
凝辉(天津)科技有限责任公司
直接光驱动扫描微镜
直接光驱动扫描微镜
发明专利
有效专利
一种用于光学扫描的微机电系统器件
申请日:
2012-06-04
当前状态:
授权
国际分类号:
G02B26/10
、
B81B7/00
发明人:
徐英舜
申请人:
凝辉(天津)科技有限责任公司
一种三维解耦力触觉传感器及MEMS制备方法
一种三维解耦力触觉传感器及MEMS制备方法
发明专利
有效专利
触觉传感器
申请日:
2021-05-08
当前状态:
授权
国际分类号:
G01L5/165
、
B81C1/00
、
B81B7/02
发明人:
刘超然,陆稞,董林玺,车录锋,王高峰
申请人:
杭州电子科技大学
一种MEMS电容式六轴力传感器芯片及其制备工艺
一种MEMS电容式六轴力传感器芯片及其制备工艺
发明专利
有效专利
MEMS传感器和微纳制造
申请日:
2021-12-23
当前状态:
授权
国际分类号:
G01L5/165
、
B81B7/02
、
B81C1/00
发明人:
赵立波,谭仁杰,韩香广,高文迪,李敏,陈瑶,董林玺,杨萍,王小章,王久洪,蒋庄德
申请人:
西安交通大学
、
杭州电子科技大学
基于电容检测原理的MEMS六轴力传感器芯片及其制备方法
基于电容检测原理的MEMS六轴力传感器芯片及其制备方法
发明专利
有效专利
微机电系统和传感器
申请日:
2021-12-23
当前状态:
授权
国际分类号:
G01L5/165
、
B81B7/02
发明人:
赵立波,谭仁杰,黄琳雅,韩香广,高文迪,李敏,董林玺,王李,杨萍,王永录,蒋庄德
申请人:
西安交通大学
、
杭州电子科技大学
一种自支撑金属纳米孔薄膜的制备方法
一种自支撑金属纳米孔薄膜的制备方法
发明专利
有效专利
申请日:
2018-04-13
当前状态:
授权
国际分类号:
B81C1/00
发明人:
张雪峰,张鉴,姚小莉
申请人:
杭州电子科技大学
一种微机电组件的封装构造
一种微机电组件的封装构造
发明专利
实质审查
封装
申请日:
2017-09-08
当前状态:
实质审查
国际分类号:
B81B7/00
、
B81B7/02
发明人:
杨亮
申请人:
电子科技大学中山学院
一种二维解耦力触觉传感器及MEMS制备方法
一种二维解耦力触觉传感器及MEMS制备方法
发明专利
有效专利
触觉传感器
申请日:
2021-05-08
当前状态:
授权
国际分类号:
G01L5/165
、
B81B7/02
、
B81C1/00
发明人:
刘超然,陆稞,董林玺,车录锋,王高峰
申请人:
杭州电子科技大学
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