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个相关信息
一种水基微电子剥离清洗组合剂
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发明专利
有效专利
申请日：
2018-07-13
当前状态：
授权
国际分类号：
H01L21/02
、
G03F7/42
发明人：
郑长勇,吴东升,陈杰
申请人：
安徽建筑大学
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