[0003] 有鉴于此，本发明提供一种半导体晶圆生产用光刻胶收集杯结构，其具有固定机构和调节机构，通过调节机构旋转使得固定机构可以根据不同型号的晶圆进行固定，使得在进行旋转时，防止晶圆产生偏斜，同时通过调节机构旋转，进而带动防护机构对晶圆底部进行防护防止光刻胶滴落时溅射到晶圆的背面，使用便捷。
[0004] 本发明提供了一种半导体晶圆生产用光刻胶收集杯结构，具体包括：安装机构；
[0005] 所述安装机构为光刻胶收集杯本体，且安装机构包括有：主体，主体为圆柱形结构，主体顶部为圆台形结构，且主体内部为空心状结构；搅拌件，搅拌件为圆柱形结构，搅拌件底部侧边设有矩形凸起，且搅拌件上的矩形凸起侧边为楔形结构，并且搅拌件安装在主体内部底端；清理机构，所述清理机构包括有：顶件，顶件为弧形结构，顶件上设有圆孔，且顶件安装在主体顶部；旋转机构，所述旋转机构包括有：旋转件，旋转件为圆柱形结构，旋转件上设有圆孔，旋转件上设有内槽，且旋转件安装在搅拌件顶部；防护机构，所述旋转机构顶部安装有防护机构；调节机构，所述旋转机构上安装有调节机构，且调节机构与防护机构相连接；固定机构，所述调节机构上安装有固定机构，且固定机构与旋转机构相连接。
[0006] 可选地，所述安装机构还包括：
[0007] 支撑架，支撑架为圆柱形结构，支撑架底部设有支撑脚，且支撑架安装在主体底部；底件，底件为圆柱形结构，底件上安装有电机，且底件安装在支撑架底部，并且底件上的电机与搅拌件相连接。
[0008] 可选地，所述清理机构还包括：
[0009] 导杆，导杆为侧边凸起的圆柱形结构，导杆安装在顶件上的圆孔内部，且导杆上的凸起通过弹簧与顶件侧边相连接；接触件，接触件为楔形结构，且接触件安装在导杆侧边。
[0010] 可选地，所述旋转机构还包括：
[0011] 稳定杆，稳定杆为圆柱形结构，且稳定杆安装在旋转件顶部两侧；卡槽，卡槽为矩形结构，且卡槽开设在旋转件内部；转动件，转动件为圆柱形结构，转动件上安装有齿轮，且转动件安装在旋转件上的内槽内部。
[0012] 可选地，所述防护机构包括：
[0013] 承载件，承载件为圆柱形结构，承载件上设有圆孔，且承载件上的圆孔内部安装有稳定杆；移动槽，移动槽为矩形结构，且移动槽开设在承载件内部。
[0014] 可选地，所述防护机构还包括：
[0015] 安装杆，安装杆为圆柱形结构，安装杆上设有螺纹，安装杆上安装有锥齿轮，且安装杆安装在移动槽内部；防护件，防护件为弧形结构，防护件底部设有矩形凸起，防护件上的矩形凸起上设有螺纹孔，且防护件通过底部矩形凸起安装在移动槽内部，并且防护件上矩形凸起的螺纹孔内部安装有安装杆。
[0016] 可选地，所述调节机构包括：
[0017] 调节件，调节件为顶部凸起的圆柱形结构，调节件底部安装有齿轮，调节件上安装有锥齿轮，调节件上安装有把手，调节件上设有矩形槽，调节件安装在旋转件上的圆孔内部，调节件安装在承载件上的圆孔内部，调节件底部的齿轮与转动件上的齿轮相啮合，且调节件上的锥齿轮与安装杆上的锥齿轮相啮合。
[0018] 可选地，所述调节机构还包括：
[0019] 卡位件，卡位件为楔形结构，卡位件侧边为弧形结构，且卡位件通过弹簧安装在调节件上的矩形槽内部，并且卡位件安装在卡槽内部；凸轮，凸轮安装在调节件顶部。
[0020] 可选地，所述固定机构包括：
[0021] 固定件，固定件为矩形结构，固定件上设有圆孔，且固定件上的圆孔内部安装有调节件；滑槽，滑槽为矩形结构，且滑槽开设在固定件内部顶端，并且滑槽内部安装有凸轮。
[0022] 可选地，所述固定机构还包括：
[0023] 滑杆，滑杆为圆柱形结构，且滑杆安装在滑槽内部；夹持件，夹持件为弧形结构，夹持件顶部设有弧形凸起，夹持件安装在滑槽内部，夹持件上的圆孔内部安装有滑杆，且夹持件之间通过滑杆上的弹簧相连接，并且夹持件侧边与凸轮相接触。
[0024] 有益效果
[0025] 根据本发明的各实施例的光刻胶收集杯，与传统光刻胶收集杯相比，可以在使用时根据需求固定不同型号的晶圆，从而使得在带动晶圆旋转的过程中，晶圆不会出现偏斜的情况，从而使得晶圆上的光刻胶更加均匀，使用便捷，并且通过调节机构带动旋转使得固定晶圆的同时带动防护机构工作，进而对晶圆底部起到防止污染的作用，在晶圆旋转时，通过清理机构自动对晶圆的侧边的光刻胶进行清理，多余的光刻胶在落入收集杯内部时，由于光刻胶本身具有的黏性容易出现凝固的现象，通过搅拌件对光刻胶进行搅拌，保持了光刻胶的活性，便于后期再次利用。
[0026] 此外，通过设置的固定件和调节件，此处的固定件是安装在调节件上的，而调节件是安装在旋转件上的圆孔内部的，进而使得在使用时，通过旋转调节件上的把手，使得调节件带动顶部的凸轮旋转，而凸轮通过两侧与夹持件相接触，进而使得夹持件在滑槽内部移动并拉伸滑杆上的弹簧，同时调节件上的卡位件卡位在卡槽内部，而夹持件通过顶部的弧形凸起与晶圆相接触，从而对不同型号的晶圆进行固定夹持。
[0027] 此外，通过设置的防护件和安装杆，此处的防护件是用过底部矩形凸起安装在移动槽内部的，而安装杆是安装在移动槽内部的，进而使得在使用时，通过旋转调节件上的把手，使得调节件上的锥齿轮与安装杆上的锥齿轮旋转，从而使得安装杆带动防护件向两侧进行同步移动，而防护件设置为弧形结构，可以对晶圆的底部起到更好的防护的作用，防止在光刻胶溅落在晶圆的底部。
[0028] 此外，通过设置的导杆和接触件，此处的导杆是安装在顶件上的圆孔内部的，而接触件是安装在导杆上的，进而使得在使用时，通过接触件与晶圆外侧相接触，并使得接触件带动导杆在顶件上的圆孔内部移动并拉伸导杆上的弹簧，从而可以根据晶圆大小的不同自动进行调节，而接触件设置为楔形结构可以更好的将晶圆侧边上的光刻胶进行刮除。
[0029] 此外，通过设置的搅拌件，此处的搅拌件是与固定件上的电机相连接的，进而使得在使用时通过底件上的电机带动搅拌件旋转，使得搅拌件对落在主体底部的光刻胶进行搅拌，从而使得光刻胶保持一定的活性，而搅拌件侧边设置为楔形结构进而可以更好的主体内壁相接触，从而可以起到防止光刻胶与主体内壁相粘连。
