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一种直写式曝光机用轴向传动结构   0    0

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专利申请流程有哪些步骤?
专利申请流程图
申请
申请号:指国家知识产权局受理一件专利申请时给予该专利申请的一个标示号码。唯一性原则。
申请日:提出专利申请之日。
2019-11-20
授权
授权指对发明专利申请经实质审查没有发现驳回理由,授予发明专利权;或对实用新型或外观设计专利申请经初步审查没有发现驳回理由,授予实用新型专利权或外观设计专利权。
2020-09-08
预估到期
发明专利权的期限为二十年,实用新型专利权期限为十年,外观设计专利权期限为十五年,均自申请日起计算。专利届满后法律终止保护。
2029-11-20
基本信息
有效性 有效专利 专利类型 实用新型
申请号 CN201922012638.8 申请日 2019-11-20
公开/公告号 CN211454229U 公开/公告日 2020-09-08
授权日 2020-09-08 预估到期日 2029-11-20
申请年 2019年 公开/公告年 2020年
缴费截止日
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
是否联合申请 独立申请 文献类型号 U
独权数量 1 从权数量 5
权利要求数量 6 非专利引证数量 0
引用专利数量 0 被引证专利数量 0
非专利引证
引用专利 被引证专利
专利权维持 2 专利申请国编码 CN
专利事件 事务标签 授权
申请人信息
申请人 第一申请人
专利权人 王伟 当前专利权人 王伟
发明人 王伟 第一发明人 王伟
地址 江苏省苏州市高新区珠江路117号 邮编 215011
申请人数量 1 发明人数量 1
申请人所在省 江苏省 申请人所在市 江苏省苏州市
代理人信息
代理机构
专利代理机构是经省专利管理局审核,国家知识产权局批准设立,可以接受委托人的委托,在委托权限范围内以委托人的名义办理专利申请或其他专利事务的服务机构。
代理人
专利代理师是代理他人进行专利申请和办理其他专利事务,取得一定资格的人。
摘要
本实用新型公开了一种直写式曝光机用轴向传动结构,包括第一支撑板、伺服电机和螺母,所述第一支撑板的内部设置有收纳槽,且收纳槽的内部安装有驱动齿轮,所述驱动齿轮的中心固定安装有转轴,且转轴穿过第一支撑板与伺服电机固定连接,并且伺服电机固定安装在第一支撑板的外表面,所述驱动齿轮与连接齿轮啮合连接,且连接齿轮位于收纳槽的内部,并且连接齿轮的中心固定安装有丝杆,所述丝杆穿过第一支撑板和连接板与第二支撑板轴承连接。该直写式曝光机用轴向传动结构,需要将平台或是设备固定安装到顶板上时,可根据平台或是设备的尺寸对顶板之间的间距进行合适的调节工作,从而便于后续将平台或是设备固定安装到顶板上。
  • 摘要附图
    一种直写式曝光机用轴向传动结构
  • 说明书附图:图1
    一种直写式曝光机用轴向传动结构
  • 说明书附图:图2
    一种直写式曝光机用轴向传动结构
  • 说明书附图:图3
    一种直写式曝光机用轴向传动结构
  • 说明书附图:图4
    一种直写式曝光机用轴向传动结构
法律状态
序号 法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
1 2020-09-08 授权
权利要求
权利要求书是申请文件最核心的部分,是申请人向国家申请保护他的发明创造及划定保护范围的文件。
1.一种直写式曝光机用轴向传动结构,包括第一支撑板(1)、伺服电机(5)和螺母(14),其特征在于:所述第一支撑板(1)的内部设置有收纳槽(2),且收纳槽(2)的内部安装有驱动齿轮(3),所述驱动齿轮(3)的中心固定安装有转轴(4),且转轴(4)穿过第一支撑板(1)与伺服电机(5)固定连接,并且伺服电机(5)固定安装在第一支撑板(1)的外表面,所述驱动齿轮(3)与连接齿轮(6)啮合连接,且连接齿轮(6)位于收纳槽(2)的内部,并且连接齿轮(6)的中心固定安装有丝杆(7),所述丝杆(7)穿过第一支撑板(1)和连接板(8)与第二支撑板(9)轴承连接,且连接板(8)的顶面有顶板(10),并且顶板(10)上开设有通孔(11),所述连接板(8)的底端开设有连接槽(12),且连接槽(12)与螺柱(13)相互连接,并且螺柱(13)的外侧螺纹安装有螺母(14),所述螺柱(13)的外表面安装有限位板(15),且限位板(15)与连接板(8)相互连接。

2.根据权利要求1所述的一种直写式曝光机用轴向传动结构,其特征在于:所述驱动齿轮(3)的结构与连接齿轮(6)的结构相同,且连接齿轮(6)的个数设置有2个,并且2个连接齿轮(6)关于驱动齿轮(3)的纵向中心线对称分布。

3.根据权利要求1所述的一种直写式曝光机用轴向传动结构,其特征在于:所述丝杆(7)与连接板(8)的连接方式为螺纹连接,且连接板(8)设置有两组,并且每组连接板(8)的个数设置有2个。

4.根据权利要求1所述的一种直写式曝光机用轴向传动结构,其特征在于:所述顶板(10)与连接板(8)的连接方式为焊接连接,且顶板(10)的顶面高于第一支撑板(1)和第二支撑板(9)的顶面。

5.根据权利要求1所述的一种直写式曝光机用轴向传动结构,其特征在于:所述螺柱(13)通过连接槽(12)与连接板(8)构成滑动结构,且连接板(8)之间的最大间距小于螺柱(13)的长度。

6.根据权利要求1所述的一种直写式曝光机用轴向传动结构,其特征在于:所述限位板(15)与螺柱(13)为一体化结构,且限位板(15)与连接板(8)的连接方式为贴合连接,并且限位板(15)的直径大于连接槽(12)的高度。
说明书

技术领域

[0001] 本实用新型涉及直写式曝光机技术领域,具体为一种直写式曝光机用轴向传动结构。

背景技术

[0002] 直写式曝光机主要是光刻机中的一种,用于生产大规模集成电路的核心设备,在对直写式曝光机进行组装的过程中需要各种结构,其中包括轴向传动结构。
[0003] 目前市场上常见的轴向传动结构,在与直写式曝光机进行组装固定后,后续需要在该轴向传动结构上安装合适的平台或是设备时,无法根据平台或是设备的尺寸进行合适的调节工作,从而影响到对直写式曝光机整体的组装工作,针对上述问题,在原有的轴向传动结构的基础上进行创新设计。实用新型内容
[0004] 本实用新型的目的在于提供一种直写式曝光机用轴向传动结构,以解决上述背景技术中提出的目前市场上常见的轴向传动结构,在与直写式曝光机进行组装固定后,后续需要在该轴向传动结构上安装合适的平台或是设备时,无法根据平台或是设备的尺寸进行合适的调节工作,从而影响到对直写式曝光机整体的组装工作的问题。
[0005] 为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种直写式曝光机用轴向传动结构,包括第一支撑板、伺服电机和螺母,所述第一支撑板的内部设置有收纳槽,且收纳槽的内部安装有驱动齿轮,所述驱动齿轮的中心固定安装有转轴,且转轴穿过第一支撑板与伺服电机固定连接,并且伺服电机固定安装在第一支撑板的外表面,所述驱动齿轮与连接齿轮啮合连接,且连接齿轮位于收纳槽的内部,并且连接齿轮的中心固定安装有丝杆,所述丝杆穿过第一支撑板和连接板与第二支撑板轴承连接,且连接板的顶面有顶板,并且顶板上开设有通孔,所述连接板的底端开设有连接槽,且连接槽与螺柱相互连接,并且螺柱的外侧螺纹安装有螺母,所述螺柱的外表面安装有限位板,且限位板与连接板相互连接。
[0006] 优选的,所述驱动齿轮的结构与连接齿轮的结构相同,且连接齿轮的个数设置有2个,并且2个连接齿轮关于驱动齿轮的纵向中心线对称分布。
[0007] 优选的,所述丝杆与连接板的连接方式为螺纹连接,且连接板设置有两组,并且每组连接板的个数设置有2个。
[0008] 优选的,所述顶板与连接板的连接方式为焊接连接,且顶板的顶面高于第一支撑板和第二支撑板的顶面。
[0009] 优选的,所述螺柱通过连接槽与连接板构成滑动结构,且连接板之间的最大间距小于螺柱的长度。
[0010] 优选的,所述限位板与螺柱为一体化结构,且限位板与连接板的连接方式为贴合连接,并且限位板的直径大于连接槽的高度。
[0011] 与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该直写式曝光机用轴向传动结构,[0012] 1、需要将平台或是设备固定安装到顶板上时,可根据平台或是设备的尺寸对顶板之间的间距进行合适的调节工作,从而便于后续将平台或是设备固定安装到顶板上;
[0013] 2、连接板通过丝杆的旋转可进行平移的工作,同时连接板之间通过螺柱进行固定工作,从而增加连接板之间的稳定性,避免连接板发生旋转的现象,从而便于连接板的移位工作;
[0014] 3、当需要对连接板和顶板之间的间距进行调节时,工作人员可通过对螺柱的拆卸,使连接板之间的定位工作解除,从而使丝杆在进行旋转时带动连接板进行旋转,避免连接板发生移位工作,便于对连接板之间的距离进行调节。

实施方案

[0020] 下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
[0021] 请参阅图1-4,本实用新型提供一种技术方案:一种直写式曝光机用轴向传动结构,包括第一支撑板1、伺服电机5和螺母14,第一支撑板1的内部设置有收纳槽2,且收纳槽2的内部安装有驱动齿轮3,驱动齿轮3的中心固定安装有转轴4,且转轴4穿过第一支撑板1与伺服电机5固定连接,并且伺服电机5固定安装在第一支撑板1的外表面,驱动齿轮3与连接齿轮6啮合连接,且连接齿轮6位于收纳槽2的内部,并且连接齿轮6的中心固定安装有丝杆7,丝杆7穿过第一支撑板1和连接板8与第二支撑板9轴承连接,且连接板8的顶面有顶板10,并且顶板10上开设有通孔11,连接板8的底端开设有连接槽12,且连接槽12与螺柱13相互连接,并且螺柱13的外侧螺纹安装有螺母14,螺柱13的外表面安装有限位板15,且限位板15与连接板8相互连接。
[0022] 驱动齿轮3的结构与连接齿轮6的结构相同,且连接齿轮6的个数设置有2个,并且2个连接齿轮6关于驱动齿轮3的纵向中心线对称分布,从而便于驱动齿轮3在进行旋转的过程中,驱动齿轮3可带动2个连接齿轮6同时进行同向的旋转工作。
[0023] 丝杆7与连接板8的连接方式为螺纹连接,且连接板8设置有两组,并且每组连接板8的个数设置有2个,便于丝杆7在进行转动的过程中,丝杆7带动连接板8进行平移,从而方便后续的轴向传动工作。
[0024] 顶板10与连接板8的连接方式为焊接连接,且顶板10的顶面高于第一支撑板1和第二支撑板9的顶面,有利于后续工作人员将平台或是设备固定安装到顶板10上,同时避免后续平台或是设备与第一支撑板1和第二支撑板9发生碰撞。
[0025] 螺柱13通过连接槽12与连接板8构成滑动结构,且连接板8之间的最大间距小于螺柱13的长度,有利于对螺柱13进行安装和拆卸的工作,同时方便后续将螺母14安装到螺柱13上进行固定工作。
[0026] 限位板15与螺柱13为一体化结构,且限位板15与连接板8的连接方式为贴合连接,并且限位板15的直径大于连接槽12的高度,通过限位板15可对连接板8的位置进行定位工作,增加了连接板8整体的稳定性。
[0027] 工作原理:根据图1-2,首先工作人员可将第一支撑板1和第二支撑板9与直写式曝光机进行组装固定工作,接着可根据需要进行安装平台的尺寸对顶板10之间的间距进行合适的调节工作,将螺母14从螺柱13上进行旋转取出,解除对螺柱13的固定工作,然后手动螺柱13通过连接槽12与连接板8进行滑动分离工作,使螺柱13上的限位板15与连接板8相互分离,从而接触对连接板8的限位工作;
[0028] 根据图1-4,接着将伺服电机5通过电源线与外界电源连接启动,使伺服电机5通过转轴4带动驱动齿轮3在收纳槽2内进行旋转,从而使驱动齿轮3通过连接齿轮6带动丝杆7在第一支撑板1和第二支撑板9上旋转,然后丝杆7带动一组解除定位工作的连接板8进行旋转工作,避免连接板8发生移位工作,同时另一组未解除定位的连接板8通过丝杆7的旋转进行平移工作,便于对两组连接板8之间的间距进行合适的调整工作,当连接板8之间调节到合适的间距后,按照上述原理,在连接板8上的顶板10转动到正上方后,将螺柱13通过连接槽12与连接板8进行安装,使螺柱13上的限位板15与连接板8贴合连接,接着将螺母14螺纹安装到螺柱13,从而将螺柱13固定安装到连接板8进行定位工作,伺服电机5为市场上已知的和现有的技术,在此不做详细的描述;
[0029] 根据图1和图4,然后后续工作人员可将需要进行安装的平台或是设备通过螺栓和通孔11固定安装到顶板10上,便于后续顶板10带动平台或是设备进行轴向传动的工作,以上便是整个装置的工作过程,且本说明书中未作详细描述的内容均属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
[0030] 尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

附图说明

[0015] 图1为本实用新型整体正视结构示意图;
[0016] 图2为本实用新型整体左视剖面结构示意图;
[0017] 图3为本实用新型第一支撑板侧视剖面结构示意图;
[0018] 图4为本实用新型整体俯视结构示意图。
[0019] 图中:1、第一支撑板;2、收纳槽;3、驱动齿轮;4、转轴;5、伺服电机;6、连接齿轮;7、丝杆;8、连接板;9、第二支撑板;10、顶板;11、通孔;12、连接槽;13、螺柱;14、螺母;15、限位板。
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