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一种自适应离子强度的磁控溅射台
一种自适应离子强度的磁控溅射台
发明专利
有效专利
集成电路
申请日:
2019-11-06
当前状态:
授权
国际分类号:
C23C14/35
、
C23C14/50
发明人:
张拥银
申请人:
上海耀佳宏源智能科技有限公司
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