[0044] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0045] 请参考图1至图19，本发明提供微纳米材料镀膜设备，包括有：电机A1、联轴器A2、承载盘3、限位通孔301、圆形安装通孔302、工件架4、环形圈5、环形槽501、限位柱502、环形弧形限位滑槽503、电机B6、联轴器B7、轴承8、主动齿轮9、环形齿条10、滚珠11、圆形块12、方形凸起1201、T型滑槽1202、连接轴1203、从动齿轮13、内夹持块14、弧形面结构1401、橡胶隔离层1402、T型滑块1403和弹簧15；
[0046] 电机A1通过联轴器A2固定连接有一块承载盘3，且承载盘3顶端面呈环形阵列状共开设有六处圆形安装通孔302；六处圆形安装通孔302内端均通过一个轴承8各转动连接有一组工件架4，且工件架4经由圆形块12、从动齿轮13、内夹持块14和弹簧15组成；圆形块12内嵌安装在轴承8内圈，且圆形块12底端面轴心部位焊接有一根连接轴1203；连接轴1203底端键连接有一个从动齿轮13；圆形块12顶端面轴心部位设置有一块方形凸起1201，且圆形块12外周面相对于方形凸起1201前端面和后端面部位均开设有一处与其处于同一水平的T型滑槽1202；方形凸起1201前侧方和后侧方均设置有一块内夹持块14，且两块内夹持块14分别与方形凸起1201前端面和后端面的相对面之间均通过两个弹簧15固定相连接；两块内夹持块14底端面均固定连接有一块T型滑块1403，且两块内夹持块14均通过T型滑块1403与T型滑槽1202的滑动配合沿T型滑槽1202做前后往复运动；两块内夹持块14与方形凸起1201前端面和后端面的相背面均为弧形面结构1401，且弧形面结构1401上贴附有一层橡胶隔离层1402；承载盘3顶端面相邻边缘部位呈环形阵列状共开设有六处限位通孔301，且六处限位通孔301与六处圆形安装通孔302之间呈间隔状分布。
[0047] 其中，如附图1、13所示，承载盘3正下方设置有一块与其同轴线的环形圈5，且承载盘3顶端面相邻边缘部位呈环形阵列状共焊接有六根限位柱502。
[0048] 其中，如附图2所示，六根限位柱502相互间的间距及直径均与六处限位通孔301相互间的间距及直径相一致，故环形圈5通过六根限位柱502与六处限位通孔301的插接配合与承载盘3固定相连接。
[0049] 其中，如附图14、15所示，环形圈5内端面中间部位开设有一处环形槽501，且环形槽501内端顶侧面及底侧面中间部位均开设有一处环形弧形限位滑槽503。
[0050] 其中，如附图17、18所示，承载盘3正下方还设置有一块与其同轴线的环形齿条10，且环形齿条10位于环形槽501内部区域，但其并不与环形槽501内端面相接触，通过该结构设计，可保证环形齿条10经由主动齿轮9驱动时不会受阻。
[0051] 其中，如附图16、18所示，环形齿条10顶端内壁及底端内壁均呈环形阵列内嵌转动连接有若干颗滚珠11，当环形齿条10位于环形槽501内部区域状态下，该若干颗滚珠11分别与两处环形弧形限位滑槽503滑动内相切，通过滚珠11与环形弧形限位滑槽503滑动内相切，保证环形齿条10经由主动齿轮9驱动时的流畅不受阻。
[0052] 其中，如附图16所示，环形齿条10内外圈均为齿轮结构，且六组工件架4中的从动齿轮13均与环形齿条10内圈齿轮结构相互啮合，当环形齿条10转动时，其带动从动齿轮13一同转动，因工件架4与圆形安装通孔302之间通过轴承8转动相连接，故该六组工件架4同时自转，带动管状微纳米材料工件转动，以实现对当前该个管状微纳米材料工件进行全方位、均匀且高效率的外周面镀膜操作。
[0053] 其中，如附图5所示，电机A1右侧方设置有电机B6，且电机B6通过联轴器B7固定连接有一块与环形齿条10内圈齿轮结构相互啮合的主动齿轮9，在对一个管状微纳米材料工件进行外周面镀膜时，电机A1处于停止状态，而电机B6其在事先设定的参数下驱动主动齿轮9转动，从而驱动与其啮合的环形齿条10一同转动。
[0054] 其中，如附图9所示，主动齿轮9位于两组工件架4中间区域，且主动齿轮9不与该两组工件架4中的从动齿轮13相接触，保证主动齿轮9与从动齿轮13之间不会发生接触，避免驱动受阻。
[0055] 使用时：
[0056] 步骤一：将管状微纳米材料工件内圈对准工件架4中的两块内夹持块14，并同时向内挤压两块内夹持块14，使得弹簧15被压缩，这时将管状微纳米材料工件内圈套在两块内夹持块14之间，然后松开两块内夹持块14，在四个弹簧15的回弹力下，两块内夹持块14共同内夹持住管状微纳米材料工件，完成管状微纳米材料工件的安装；工件架4中的两块内夹持块14与方形凸起1201前端面和后端面的相背面均为弧形面结构1401，通过弧形面结构1401的设置，保证贴合度，而且弧形面结构1401上贴附有一层橡胶隔离层1402，通过橡胶隔离层1402的隔离，使内夹持块14的弧形面结构1401不与管状微纳米材料工件内周面直接接触，避免刮伤磨损；
[0057] 步骤二：本发明所设计的装置安装在真空腔室中，其承载盘3及上方区域与真空腔室中所安装的矩形靶源位置相对应，在对一个管状微纳米材料工件进行外周面镀膜时，电机A1处于停止状态，而电机B6其在事先设定的参数下驱动主动齿轮9转动，从而驱动与其啮合的环形齿条10一同转动，因六组工件架4中的从动齿轮13均与环形齿条10内圈齿轮结构相互啮合，故当环形齿条10转动时，其带动从动齿轮13一同转动，因工件架4与圆形安装通孔302之间通过轴承8转动相连接，故该六组工件架4同时自转，带动管状微纳米材料工件转动，以实现对当前该个管状微纳米材料工件进行全方位、均匀且高效率的外周面镀膜操作，当一个管状微纳米材料工件镀膜完毕后，启动电机A1在事先设定的参数下，跟随电机B6同方向、同频率转动，带动承载盘3转一定角度，使得第二组工件架4转动至相对应矩形靶源的位置，然后停止电机A1，对第二个管状微纳米材料工件进行全方位、均匀的外周面镀膜操作，后续重复上述步骤，直至所安装的六个管状微纳米材料工件均镀膜完毕。
[0058] 尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
