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一种内部球形空腔阵列稳定成形的三维光子晶体制备方法
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发明专利
有效专利
微纳米制造
申请日：
2020-06-15
当前状态：
授权
国际分类号：
C30B29/06
、
C30B33/12
、
C30B33/04
、
C30B33/02
发明人：
张俐楠,陈建龙,朱伟华,吴立群,王洪成
申请人：
杭州电子科技大学
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