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一种单晶硅加工用高温加工装置   0    0

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专利申请流程有哪些步骤?
专利申请流程图
申请
申请号:指国家知识产权局受理一件专利申请时给予该专利申请的一个标示号码。唯一性原则。
申请日:提出专利申请之日。
2021-09-24
授权
授权指对发明专利申请经实质审查没有发现驳回理由,授予发明专利权;或对实用新型或外观设计专利申请经初步审查没有发现驳回理由,授予实用新型专利权或外观设计专利权。
2022-04-08
预估到期
发明专利权的期限为二十年,实用新型专利权期限为十年,外观设计专利权期限为十五年,均自申请日起计算。专利届满后法律终止保护。
2031-09-24
基本信息
有效性 有效专利 专利类型 实用新型
申请号 CN202122313536.7 申请日 2021-09-24
公开/公告号 CN216237377U 公开/公告日 2022-04-08
授权日 2022-04-08 预估到期日 2031-09-24
申请年 2021年 公开/公告年 2022年
缴费截止日 2022-10-24
分类号 C30B33/00C30B29/06 主分类号 C30B33/00
是否联合申请 独立申请 文献类型号 U
独权数量 1 从权数量 6
权利要求数量 7 非专利引证数量 0
引用专利数量 0 被引证专利数量 0
非专利引证
引用专利 被引证专利
专利权维持 0 专利申请国编码 CN
专利事件 事务标签 授权
申请人信息
申请人 第一申请人
专利权人 闫亚丽 当前专利权人 闫亚丽
发明人 闫亚丽 第一发明人 闫亚丽
地址 广东省广州市海珠区宝岗大道207-211号首层117号铺 邮编 510000
申请人数量 1 发明人数量 1
申请人所在省 广东省 申请人所在市 广东省广州市
代理人信息
代理机构
专利代理机构是经省专利管理局审核,国家知识产权局批准设立,可以接受委托人的委托,在委托权限范围内以委托人的名义办理专利申请或其他专利事务的服务机构。
代理人
专利代理师是代理他人进行专利申请和办理其他专利事务,取得一定资格的人。
摘要
本实用新型公开了一种单晶硅加工用高温加工装置,包括箱体,所述箱体的前侧开设有开口,且所述箱体的前侧设有与开口相互匹配的活动门,本实用新型在使用时,通过夹板、第二螺纹杆、第二螺纹套和手摇轮之间的相互配合便于对原料进行夹持固定,且通过伸缩杆、转盘、转轴、活动板、连杆、蜗轮、蜗杆和第二伺服电机之间的相互配合便于对顶盖进行升降,从而可以在高温加工时,加料原料的升温速度,提高加工效率,通过第一伺服电机、第一螺纹杆、皮带、第一螺纹套、连接板和棉布之间的相互配合可以对观察窗后侧附着的水雾进行擦拭,便于观察者更好的观察装置内腔加热情况,使用效果好。
  • 摘要附图
    一种单晶硅加工用高温加工装置
  • 说明书附图:图1
    一种单晶硅加工用高温加工装置
  • 说明书附图:图2
    一种单晶硅加工用高温加工装置
  • 说明书附图:图3
    一种单晶硅加工用高温加工装置
  • 说明书附图:图4
    一种单晶硅加工用高温加工装置
法律状态
序号 法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
1 2022-04-08 授权
权利要求
权利要求书是申请文件最核心的部分,是申请人向国家申请保护他的发明创造及划定保护范围的文件。
1.一种单晶硅加工用高温加工装置,包括箱体(1),其特征在于:所述箱体(1)的前侧开设有开口,且所述箱体(1)的前侧设有与开口相互匹配的活动门(17),所述箱体(1)的内腔左右两侧中间位置处均固定连接有电加热板(6),所述箱体(1)的内腔底部设有放置盒(2),且所述放置盒(2)的底部靠近左右两侧处均固定连接有第一滑块,所述箱体(1)内腔底部靠近左右两侧处均开设有第一滑槽,且两个所述第一滑块分别活动连接在相邻的第一滑槽内腔,所述放置盒(2)的内腔设有夹持机构,所述放置盒(2)的顶部设有与之相互匹配的顶盖(7),所述顶盖(7)的顶部设有升降机构。

2.如权利要求1所述的一种单晶硅加工用高温加工装置,其特征在于:所述活动门(17)的左侧设有若干个合页,且所述活动门(17)通过若干个合页与箱体(1)活动连接,所述活动门(17)的前侧靠近右侧处固定连接有把手,所述活动门(17)的前侧靠近中间位置处固定连接有观察窗(18)。

3.如权利要求1所述的一种单晶硅加工用高温加工装置,其特征在于:所述活动门(17)的后侧固定连接有两个固定板,且两个所述固定板分别位于观察窗(18)的左右两侧,两个所述固定板上均固定连接有两个第一轴承,且两个所述第一轴承为上下设置,所述观察窗(18)的后侧靠近右侧处设有连接板(19),且所述连接板(19)的前侧固定连接有棉布(20),所述连接板(19)的顶部与底部均固定连接有第一螺纹套(21),且所述第一螺纹套(21)内腔贯穿设有第一螺纹杆(22),所述箱体(1)右侧靠近顶部处固定连接有第一防护壳,且所述第一防护壳内腔右侧固定连接有第一伺服电机(23),所述箱体(1)右侧固定连接有两个第二轴承,且两个所述第二轴承为上下设置,位于底部的所述第一螺纹杆(22)左端插接在相邻第一轴承内腔,且所述第一螺纹杆(22)的右端贯穿相邻第一轴承和第二轴承内腔,并延伸至箱体(1)的外侧,位于顶部的所述第一螺纹杆(22)左端插接在相邻第一轴承内腔,且所述第一螺纹杆(22)的右端贯穿相邻第一轴承和第二轴承内腔,并与第一伺服电机(23)的动力输出端固定连接,两个所述第一螺纹杆(22)之间设有皮带(15),所述第一防护壳底部开设有与皮带(15)相互匹配的通孔,且两个所述第一螺纹杆(22)之间通过皮带(15)传动连接。

4.如权利要求1所述的一种单晶硅加工用高温加工装置,其特征在于:所述夹持机构包括两个夹板(3),且两个所述夹板(3)分别位于放置盒(2)的内腔底部靠近左右两侧处,两个所述夹板(3)的底部均固定连接有第二滑块,所述放置盒(2)的内腔底部靠近左右两侧处均开设有第二滑槽,且两个所述第二滑块分别活动连接在相邻的第二滑槽内腔,两个所述夹板(3)相远离的一侧均固定连接有第三轴承,且所述第三轴承内腔插接有第二螺纹杆(4),所述放置盒(2)左右两侧均固定连接有第二螺纹套(24),两个所述第二螺纹杆(4)远离相邻夹板(3)的一端分别贯穿相邻的第二螺纹套(24)内腔,并固定连接有手摇轮(5)。

5.如权利要求1所述的一种单晶硅加工用高温加工装置,其特征在于:所述升降机构包括转盘(9),且所述转盘(9)位于顶盖(7)的顶部靠近后侧处,所述转盘(9)的内腔设有转轴(10),所述箱体(1)的内腔后侧靠近顶部处固定连接有第四轴承,所述转轴(10)的后端插接在第四轴承内腔,且所述转轴(10)的前端固定连接有活动板(11),所述活动板(11)的前侧靠近左侧处活动连接有连杆(12),且所述连杆(12)远离活动板(11)的一端与顶盖(7)的顶部铰接,所述转轴(10)上靠近后端处套设有蜗轮(16),且所述蜗轮(16)的顶部啮合有蜗杆(13),所述箱体(1)右侧靠近顶部处固定连接有第二防护壳,且所述第二防护壳内腔右侧固定连接有第二伺服电机(14),所述箱体(1)右侧靠近顶部处固定连接有第五轴承,所述蜗杆(13)的右端贯穿第五轴承内腔,并与第二伺服电机(14)的动力输出端固定连接。

6.如权利要求1所述的一种单晶硅加工用高温加工装置,其特征在于:所述顶盖(7)的顶部靠近四角处均固定连接有伸缩杆(8),且所述伸缩杆(8)的顶端与箱体(1)内腔顶部固定连接。

7.如权利要求3所述的一种单晶硅加工用高温加工装置,其特征在于:所述棉布(20)的前侧与活动门(17)的后侧相贴合,且所述棉布(20)的高度与观察窗(18)的高度一致。
说明书

技术领域

[0001] 本实用新型涉及单晶硅技术领域,尤其涉及一种单晶硅加工用高温加工装置。

背景技术

[0002] 硅是最常见应用最广的半导体材料,当熔融的单质硅凝固时,硅原子以金刚石晶格排列成晶核,其晶核长成晶面取向相同的晶粒,形成单晶硅,单晶硅作为一种比较活泼的非金属元素晶体,是晶体材料的重要组成部分,在对单晶硅进行中加工的时候需要高温加工装置对其进行高温碳还原。
[0003] 现有的单晶硅加工用高温加工装置,在使用时,无法使得装置快速对原料进行高温加热,加热速率慢,且现有的高温加工装置通过安装有观察窗用于观察加工进程,但是当装置内腔与外界存在温度差时,观察窗后侧通过会有水雾附着,影响观察者的观察体验,使用效果差。实用新型内容
[0004] 为了克服现有技术的不足,本实用新型的目的之一在于提供一种单晶硅加工用高温加工装置。
[0005] 本实用新型的目的之一采用如下技术方案实现:
[0006] 一种单晶硅加工用高温加工装置,包括箱体,所述箱体的前侧开设有开口,且所述箱体的前侧设有与开口相互匹配的活动门,所述箱体的内腔左右两侧中间位置处均固定连接有电加热板,所述箱体的内腔底部设有放置盒,且所述放置盒的底部靠近左右两侧处均固定连接有第一滑块,所述箱体内腔底部靠近左右两侧处均开设有第一滑槽,且两个所述第一滑块分别活动连接在相邻的第一滑槽内腔,所述放置盒的内腔设有夹持机构,所述放置盒的顶部设有与之相互匹配的顶盖,所述顶盖的顶部设有升降机构。
[0007] 进一步的,所述活动门的左侧设有若干个合页,且所述活动门通过若干个合页与箱体活动连接,所述活动门的前侧靠近右侧处固定连接有把手,所述活动门的前侧靠近中间位置处固定连接有观察窗。
[0008] 进一步的,所述活动门的后侧固定连接有两个固定板,且两个所述固定板分别位于观察窗的左右两侧,两个所述固定板上均固定连接有两个第一轴承,且两个所述第一轴承为上下设置,所述观察窗的后侧靠近右侧处设有连接板,且所述连接板的前侧固定连接有棉布,所述连接板的顶部与底部均固定连接有第一螺纹套,且所述第一螺纹套内腔贯穿设有第一螺纹杆,所述箱体右侧靠近顶部处固定连接有第一防护壳,且所述第一防护壳内腔右侧固定连接有第一伺服电机,所述箱体右侧固定连接有两个第二轴承,且两个所述第二轴承为上下设置,位于底部的所述第一螺纹杆左端插接在相邻第一轴承内腔,且所述第一螺纹杆的右端贯穿相邻第一轴承和第二轴承内腔,并延伸至箱体的外侧,位于顶部的所述第一螺纹杆左端插接在相邻第一轴承内腔,且所述第一螺纹杆的右端贯穿相邻第一轴承和第二轴承内腔,并与第一伺服电机的动力输出端固定连接,两个所述第一螺纹杆之间设有皮带,所述第一防护壳底部开设有与皮带相互匹配的通孔,且两个所述第一螺纹杆之间通过皮带传动连接。
[0009] 进一步的,所述夹持机构包括两个夹板,且两个所述夹板分别位于放置盒的内腔底部靠近左右两侧处,两个所述夹板的底部均固定连接有第二滑块,所述放置盒的内腔底部靠近左右两侧处均开设有第二滑槽,且两个所述第二滑块分别活动连接在相邻的第二滑槽内腔,两个所述夹板相远离的一侧均固定连接有第三轴承,且所述第三轴承内腔插接有第二螺纹杆,所述放置盒左右两侧均固定连接有第二螺纹套,两个所述第二螺纹杆远离相邻夹板的一端分别贯穿相邻的第二螺纹套内腔,并固定连接有手摇轮。
[0010] 进一步的,所述升降机构包括转盘,且所述转盘位于顶盖的顶部靠近后侧处,所述转盘的内腔设有转轴,所述箱体的内腔后侧靠近顶部处固定连接有第四轴承,所述转轴的后端插接在第四轴承内腔,且所述转轴的前端固定连接有活动板,所述活动板的前侧靠近左侧处活动连接有连杆,且所述连杆远离活动板的一端与顶盖的顶部铰接,所述转轴上靠近后端处套设有蜗轮,且所述蜗轮的顶部啮合有蜗杆,所述箱体右侧靠近顶部处固定连接有第二防护壳,且所述第二防护壳内腔右侧固定连接有第二伺服电机,所述箱体右侧靠近顶部处固定连接有第五轴承,所述蜗杆的右端贯穿第五轴承内腔,并与第二伺服电机的动力输出端固定连接。
[0011] 进一步的,所述顶盖的顶部靠近四角处均固定连接有伸缩杆,且所述伸缩杆的顶端与箱体内腔顶部固定连接。
[0012] 进一步的,所述棉布的前侧与活动门的后侧相贴合,且所述棉布的高度与观察窗的高度一致。
[0013] 相比现有技术,本实用新型的有益效果在于:
[0014] 1、通过夹板、第二螺纹杆、第二螺纹套和手摇轮之间的相互配合便于对原料进行夹持固定,且通过伸缩杆、转盘、转轴、活动板、连杆、蜗轮、蜗杆和第二伺服电机之间的相互配合便于对顶盖进行升降,从而可以在高温加工时,加料原料的升温速度,提高加工效率;
[0015] 2、通过第一伺服电机、第一螺纹杆、皮带、第一螺纹套、连接板和棉布之间的相互配合可以对观察窗后侧附着的水雾进行擦拭,便于观察者更好的观察装置内腔加热情况,使用效果好。
[0016] 上述说明仅是本实用新型技术方案的概述,为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段,而可依照说明书的内容予以实施,并且为了让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂,以下特举较佳实施例,并配合附图,详细说明如下。

实施方案

[0022] 下面,结合附图以及具体实施方式,对本实用新型做进一步描述,需要说明的是,在不相冲突的前提下,以下描述的各实施例之间或各技术特征之间可以任意组合形成新的实施例。
[0023] 需要说明的是,当组件被称为“固定于”另一个组件,它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件,它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件,它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0024] 除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0025] 请参阅图1至图4,一种单晶硅加工用高温加工装置,包括箱体1,箱体1的前侧开设有开口,且箱体1的前侧设有与开口相互匹配的活动门17,活动门17的左侧设有若干个合页,且活动门17通过若干个合页与箱体1活动连接,活动门17的前侧靠近右侧处固定连接有把手,活动门17的前侧靠近中间位置处固定连接有观察窗18,便于贯穿箱体1内腔加热情况,箱体1的内腔左右两侧中间位置处均固定连接有电加热板6,箱体1的内腔底部设有放置盒2,且放置盒2的底部靠近左右两侧处均固定连接有第一滑块,箱体1内腔底部靠近左右两侧处均开设有第一滑槽,且两个第一滑块分别活动连接在相邻的第一滑槽内腔,放置盒2的内腔设有夹持机构,放置盒2的顶部设有与之相互匹配的顶盖7,顶盖7的顶部设有升降机构;
[0026] 活动门17的后侧固定连接有两个固定板,且两个固定板分别位于观察窗18的左右两侧,两个固定板上均固定连接有两个第一轴承,且两个第一轴承为上下设置,观察窗18的后侧靠近右侧处设有连接板19,且连接板19的前侧固定连接有棉布20,棉布20的前侧与活动门17的后侧相贴合,且棉布20的高度与观察窗18的高度一致,连接板19的顶部与底部均固定连接有第一螺纹套21,且第一螺纹套21内腔贯穿设有第一螺纹杆22,箱体1右侧靠近顶部处固定连接有第一防护壳,且第一防护壳内腔右侧固定连接有第一伺服电机23,箱体1右侧固定连接有两个第二轴承,且两个第二轴承为上下设置,位于底部的第一螺纹杆22左端插接在相邻第一轴承内腔,且第一螺纹杆22的右端贯穿相邻第一轴承和第二轴承内腔,并延伸至箱体1的外侧,位于顶部的第一螺纹杆22左端插接在相邻第一轴承内腔,且第一螺纹杆22的右端贯穿相邻第一轴承和第二轴承内腔,并与第一伺服电机23的动力输出端固定连接,两个第一螺纹杆22之间设有皮带15,第一防护壳底部开设有与皮带15相互匹配的通孔,且两个第一螺纹杆22之间通过皮带15传动连接,提高观察者的观察体验,使用效果好;
[0027] 夹持机构包括两个夹板3,且两个夹板3分别位于放置盒2的内腔底部靠近左右两侧处,两个夹板3的底部均固定连接有第二滑块,放置盒2的内腔底部靠近左右两侧处均开设有第二滑槽,且两个第二滑块分别活动连接在相邻的第二滑槽内腔,两个夹板3相远离的一侧均固定连接有第三轴承,且第三轴承内腔插接有第二螺纹杆4,放置盒2左右两侧均固定连接有第二螺纹套24,两个第二螺纹杆4远离相邻夹板3的一端分别贯穿相邻的第二螺纹套24内腔,并固定连接有手摇轮5,提高装置的稳定性;
[0028] 升降机构包括转盘9,且转盘9位于顶盖7的顶部靠近后侧处,转盘9的内腔设有转轴10,箱体1的内腔后侧靠近顶部处固定连接有第四轴承,转轴10的后端插接在第四轴承内腔,且转轴10的前端固定连接有活动板11,活动板11的前侧靠近左侧处活动连接有连杆12,且连杆12远离活动板11的一端与顶盖7的顶部铰接,转轴10上靠近后端处套设有蜗轮16,且蜗轮16的顶部啮合有蜗杆13,箱体1右侧靠近顶部处固定连接有第二防护壳,且第二防护壳内腔右侧固定连接有第二伺服电机14,箱体1右侧靠近顶部处固定连接有第五轴承,蜗杆13的右端贯穿第五轴承内腔,并与第二伺服电机14的动力输出端固定连接,顶盖7的顶部靠近四角处均固定连接有伸缩杆8,且伸缩杆8的顶端与箱体1内腔顶部固定连接,便于快速对单晶硅进行碳还原。
[0029] 工作原理:本实用新型在使用时,通过把手打开活动门17,拉动放置盒2向前移动,使得两个第一滑块分别在相邻的第一滑槽内腔滑动对放置盒2限位,将需要进行碳还原的单晶硅放进放置盒2中,通过转动两个手摇轮5带动相邻的第二螺纹杆4旋转,两个第二螺纹杆4旋转通过相邻的第二螺纹套24带动两个夹板3相对移动,且通过两个第二滑块分别在相邻的第二滑槽内腔移动,从而使得两个夹板3相对移动并对单晶硅进行夹持固定,重新将放置盒2推进箱体1的内腔中,并关上活动门17,通过外接电源启动两个电加热板6和第二伺服电机14,第二伺服电机14工作带动蜗杆13旋转,蜗杆13旋转带动蜗轮16旋转,蜗轮16旋转带动转轴10旋转,转轴10旋转带动活动板11左侧向下偏转,从而通过连杆12推动顶盖7向下移动,通过若干个伸缩杆8的设置对顶盖7进行限位,从而使得顶盖7下移并合盖在放置盒2上,从而加快单晶硅的受热速率,当箱体1内腔温度升高后由于与箱体1外侧存在温差,会使得观察窗18的后侧附着水雾,通过外接电源启动第一伺服电机23,第一伺服电机23工作带动相邻的第一螺纹杆22旋转,第一螺纹杆22旋转通过皮带15带动底部的第一螺纹杆22旋转,两个第一螺纹杆22同时旋转带动两个第一螺纹套21向左移动,从而带动连接板19向左移动,连接板19向左移动带动棉布20向左移动,并对观察窗18后侧附着的水雾进行擦拭,便于观察者更好的贯穿箱体1内腔加热情况,使用效果好。
[0030] 上述实施方式仅为本实用新型的优选实施方式,不能以此来限定本实用新型保护的范围,本领域的技术人员在本实用新型的基础上所做的任何非实质性的变化及替换均属于本实用新型所要求保护的范围。

附图说明

[0017] 图1为本实施例的结构示意图;
[0018] 图2为本实施例的左视剖视图;
[0019] 图3为本实施例的正视图;
[0020] 图4为部件观察窗后视图。
[0021] 图中:1、箱体;2、放置盒;3、夹板;4、第二螺纹杆;5、手摇轮;6、电加热板;7、顶盖;8、伸缩杆;9、转盘;10、转轴;11、活动板;12、连杆;13、蜗杆;14、第二伺服电机;15、皮带;16、蜗轮;17、活动门;18、观察窗;19、连接板;20、棉布;21、第一螺纹套;22、第一螺纹杆;23、第一伺服电机;24、第二螺纹套。
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