发明内容
[0004] 针对现有技术的不足,本发明提供了一种碳化硅晶体取下装置,解决了现有碳化硅晶体取出装置采用直接顶出方式使晶体脱落不均匀导致破裂的问题。
[0005] 为实现以上目的,本发明通过以下技术方案予以实现:一种碳化硅晶体取下装置,包括两个支撑盘和三个连接杆,三个连接杆位于两个支撑盘之间,三个连接杆的上下两端分别与两个支撑盘互相靠近的一面固定连接。
[0006] 三个连接杆的下端均安装有装夹机构,三个连接杆上端之间设置有挤压机构,挤压机构通过三个横板A与三个连接杆固定连接,三个连接杆之间设置有敲击机构,敲击机构通过三个横板B与三个连接杆固定连接,敲击机构套接在挤压机构的外部,敲击机构与挤压机构传动连接。
[0007] 所述挤压机构包括套筒、压杆、压盘和弹簧,套筒与三个横板A互相靠近的一端固定连接,压杆的上端插接在套筒的内部,压盘与压杆的下端固定连接,压杆的外部套接有挡板,弹簧套接在压杆的外部,弹簧位于挡板的下方,弹簧的上端与挡板的底面固定连接,弹簧的下端与套筒的下端固定连接,压杆的上端与套筒的内顶壁均固定安装有受力板,套筒的圆周面固定安装有固定套,固定套的内部转动插接有螺纹杆A,螺纹杆A的前后两端均螺纹套接有螺纹套A,两个螺纹套A互相靠近的一端均铰接有楔形板,两个楔形板互相靠近的一端均贯穿套筒并且位于两个受力板之间,套筒的下端设置有异形轮,异形轮套接在压杆的外部,套筒通过若干个斜板A与异形轮固定连接,敲击机构与异形轮传动连接。
[0008] 所述装夹机构包括套环、电机、带轮和固定环,套环与三个横板B互相靠近的一面固定连接,带轮的的下端贯穿套环并与其转动连接,带轮的底面通过若干个斜板B与固定环固定连接,电机与横板B固定连接,电机的输出轴通过皮带与带轮传动连接,固定环的外部铰接有若干个摇杆,摇杆的下端均安装有敲击块,若干个摇杆与异形轮传动连接。
[0009] 优选的,所述挤压机构包括导轨、夹块、螺纹杆B和螺纹套B,导轨与连接杆固定连接,夹块的下端与导轨滑动连接,螺纹套B与导轨的外端固定连接,螺纹杆B的一端与夹块转动连接,螺纹杆B的另一端贯穿螺纹套B并与其螺纹连接。
[0010] 优选的,两个受力板互相靠近的一面均为锥面结构,两个楔形板互相靠近的一端均为斜面尖端状结构,两个楔形板反向设置。
[0011] 优选的,所述异形轮与套筒同心设置,异形轮的圆周面为凹凸不平状结构。
[0012] 优选的,所述套环与套筒同心设置,固定环与套环同心设置。
[0013] 优选的,所述摇杆的中间位置转动连接有滚轮,滚轮与异形轮的圆周面接触。
[0014] 与现有技术相比,本发明具备以下有益效果:1、该碳化硅晶体取下装置设置装夹机构、挤压机构和敲击机构,通过调节装夹机构,可以将坩埚或籽晶托架固定住,通过控制电机旋转带动带轮旋转,进而固定环受力开始转动,固定环转动时带动摇杆旋转,摇杆沿异形轮旋转时可依据异形轮的形状摆动,摇杆摆动时可使敲击块对坩埚的圆周面进行敲击,摇杆的数量较多,可使坩埚均匀受力,通过旋转螺纹杆A带动两个楔形板互相靠近,楔形板向受力板靠近时挤压受力板,受力板带动压杆和压盘对晶体起到挤压效果,两个楔形板可以重叠,楔形板逐渐挤压受力板时,压盘对晶体产生缓慢且均匀的压力,可使晶体完整脱落,解决了现有碳化硅晶体取出装置采用直接顶出方式使晶体脱落不均匀导致破裂的问题。
[0015] 2、该碳化硅晶体取下装置设置三个装夹机构,夹块为梯形状结构,可装夹坩埚且不会影响晶体脱落,设置三个可以适配不同尺寸的坩埚。
[0016] 3、该碳化硅晶体取下装置设置滚轮,滚轮在摇杆前进时与异形轮接触,可减小摇杆与异形轮之间的摩擦力。