搜索一下
登录/注册
首页
>
专利
>
寻找关于B81C:专门适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备领域相关可售专利
B81C领域相关在售专利
B81C大组
B81C1/00:在基片内或其上制造或处理的装置或系统
B81C3/00:从单独处理过的部件组装装置或系统
B81C5/00:(转入B81C 99/00)
B81C99/00:本小类其他各组中不包括的技术主题
B81C1/00小组
找到
12
个相关信息
异质键合成型装置
异质键合成型装置
发明专利
有效专利
一种用于制作微机电领域产品的机械装置
申请日:
2013-09-09
当前状态:
授权
国际分类号:
B81C3/00
发明人:
白向阳
申请人:
江阴迪林生物电子技术有限公司
一种三维解耦力触觉传感器及MEMS制备方法
一种三维解耦力触觉传感器及MEMS制备方法
发明专利
有效专利
触觉传感器
申请日:
2021-05-08
当前状态:
授权
国际分类号:
G01L5/165
、
B81C1/00
、
B81B7/02
发明人:
刘超然,陆稞,董林玺,车录锋,王高峰
申请人:
杭州电子科技大学
一种MEMS电容式六轴力传感器芯片及其制备工艺
一种MEMS电容式六轴力传感器芯片及其制备工艺
发明专利
有效专利
MEMS传感器和微纳制造
申请日:
2021-12-23
当前状态:
授权
国际分类号:
G01L5/165
、
B81B7/02
、
B81C1/00
发明人:
赵立波,谭仁杰,韩香广,高文迪,李敏,陈瑶,董林玺,杨萍,王小章,王久洪,蒋庄德
申请人:
西安交通大学
、
杭州电子科技大学
一种自支撑金属纳米孔薄膜的制备方法
一种自支撑金属纳米孔薄膜的制备方法
发明专利
有效专利
申请日:
2018-04-13
当前状态:
授权
国际分类号:
B81C1/00
发明人:
张雪峰,张鉴,姚小莉
申请人:
杭州电子科技大学
一种二维解耦力触觉传感器及MEMS制备方法
一种二维解耦力触觉传感器及MEMS制备方法
发明专利
有效专利
触觉传感器
申请日:
2021-05-08
当前状态:
授权
国际分类号:
G01L5/165
、
B81B7/02
、
B81C1/00
发明人:
刘超然,陆稞,董林玺,车录锋,王高峰
申请人:
杭州电子科技大学
一种基于SOI工艺的MEMS六轴力传感器芯片及其制备方法
一种基于SOI工艺的MEMS六轴力传感器芯片及其制备方法
发明专利
有效专利
微纳传感器
申请日:
2021-12-23
当前状态:
授权
国际分类号:
G01L5/165
、
G01L1/14
、
B81B7/02
、
B81B7/00
、
B81C1/00
发明人:
赵立波,谭仁杰,高文迪,韩香广,卢德江,王路,李敏,董林玺,杨萍,林启敬,蒋庄德
申请人:
西安交通大学
、
杭州电子科技大学
二自由度scott-russell柔性微纳定位平台
二自由度scott-russell柔性微纳定位平台
发明专利
有效专利
申请日:
2019-03-28
当前状态:
授权
国际分类号:
B81C1/00
、
B81C99/00
发明人:
张扬名,薛凌云,李建明,鲁帅帅
申请人:
杭州电子科技大学
一种控制硅基微结构内部空腔形成位置的研究方法
一种控制硅基微结构内部空腔形成位置的研究方法
发明专利
有效专利
微纳米制造
申请日:
2016-06-06
当前状态:
授权
国际分类号:
B81B7/02
、
B81C1/00
发明人:
张俐楠,郑伟,陈超,吴立群,王洪成
申请人:
杭州电子科技大学
一种超疏水/超亲水混合图案微阵列树枝状金芯片的制备方法
一种超疏水/超亲水混合图案微阵列树枝状金芯片的制备方法
发明专利
有效专利
申请日:
2019-10-17
当前状态:
授权
国际分类号:
B01L3/00
、
B81C1/00
、
B82Y30/00
、
B82Y40/00
发明人:
潘宏程,郭垠,陈雯
申请人:
桂林理工大学
一种PPy/CDs/PB/Au纳米电极、制备方法及其应用
一种PPy/CDs/PB/Au纳米电极、制备方法及其应用
发明专利
有效专利
申请日:
2018-07-25
当前状态:
授权
国际分类号:
G01N27/30
、
G01N27/48
、
B81C1/00
发明人:
李永新,陈唯
申请人:
安徽师范大学
首页
上一页
1
2
下一页
尾页
同类专利
1
异质键合成型装置
2
一种三维解耦力触觉传感器及MEMS制备方法
3
一种MEMS电容式六轴力传感器芯片及其制备工艺
4
一种自支撑金属纳米孔薄膜的制备方法
5
一种二维解耦力触觉传感器及MEMS制备方法
6
一种基于SOI工艺的MEMS六轴力传感器芯片及其制备方法
7
二自由度scott-russell柔性微纳定位平台
8
一种控制硅基微结构内部空腔形成位置的研究方法
9
一种超疏水/超亲水混合图案微阵列树枝状金芯片的制备方法
10
一种PPy/CDs/PB/Au纳米电极、制备方法及其应用
版权所有:盲专网 ©2023 zlpt.xyz
蜀ICP备2023003576号