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B81B1/00:不具有活动或柔性元件的装置,例如微毛细管装置
B81B3/00:由柔性或可变形的元件组成的装置,例如由弹性舌或膜片组成
B81B5/00:由彼此相对移动的元件组成的装置,例如由滑动或转动元件组成
B81B7/00:微观结构系统
B81B1/00小组
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一种三维解耦力触觉传感器及MEMS制备方法
一种三维解耦力触觉传感器及MEMS制备方法
发明专利
有效专利
触觉传感器
申请日:
2021-05-08
当前状态:
授权
国际分类号:
G01L5/165
、
B81C1/00
、
B81B7/02
发明人:
刘超然,陆稞,董林玺,车录锋,王高峰
申请人:
杭州电子科技大学
一种MEMS电容式六轴力传感器芯片及其制备工艺
一种MEMS电容式六轴力传感器芯片及其制备工艺
发明专利
有效专利
MEMS传感器和微纳制造
申请日:
2021-12-23
当前状态:
授权
国际分类号:
G01L5/165
、
B81B7/02
、
B81C1/00
发明人:
赵立波,谭仁杰,韩香广,高文迪,李敏,陈瑶,董林玺,杨萍,王小章,王久洪,蒋庄德
申请人:
西安交通大学
、
杭州电子科技大学
基于电容检测原理的MEMS六轴力传感器芯片及其制备方法
基于电容检测原理的MEMS六轴力传感器芯片及其制备方法
发明专利
有效专利
微机电系统和传感器
申请日:
2021-12-23
当前状态:
授权
国际分类号:
G01L5/165
、
B81B7/02
发明人:
赵立波,谭仁杰,黄琳雅,韩香广,高文迪,李敏,董林玺,王李,杨萍,王永录,蒋庄德
申请人:
西安交通大学
、
杭州电子科技大学
一种微机电组件的封装构造
一种微机电组件的封装构造
发明专利
实质审查
封装
申请日:
2017-09-08
当前状态:
实质审查
国际分类号:
B81B7/00
、
B81B7/02
发明人:
杨亮
申请人:
电子科技大学中山学院
一种二维解耦力触觉传感器及MEMS制备方法
一种二维解耦力触觉传感器及MEMS制备方法
发明专利
有效专利
触觉传感器
申请日:
2021-05-08
当前状态:
授权
国际分类号:
G01L5/165
、
B81B7/02
、
B81C1/00
发明人:
刘超然,陆稞,董林玺,车录锋,王高峰
申请人:
杭州电子科技大学
一种基于SOI工艺的MEMS六轴力传感器芯片及其制备方法
一种基于SOI工艺的MEMS六轴力传感器芯片及其制备方法
发明专利
有效专利
微纳传感器
申请日:
2021-12-23
当前状态:
授权
国际分类号:
G01L5/165
、
G01L1/14
、
B81B7/02
、
B81B7/00
、
B81C1/00
发明人:
赵立波,谭仁杰,高文迪,韩香广,卢德江,王路,李敏,董林玺,杨萍,林启敬,蒋庄德
申请人:
西安交通大学
、
杭州电子科技大学
自驱动的微型冲击锤
自驱动的微型冲击锤
发明专利
有效专利
申请日:
2019-01-09
当前状态:
授权
国际分类号:
B81B7/02
发明人:
董林玺,方祥,李杰,郑梦萍
申请人:
杭州电子科技大学
低驱动电压的微型冲击锤
低驱动电压的微型冲击锤
发明专利
有效专利
申请日:
2017-01-07
当前状态:
授权
国际分类号:
B81B7/02
发明人:
董林玺,李豪
申请人:
杭州电子科技大学
一种控制硅基微结构内部空腔形成位置的研究方法
一种控制硅基微结构内部空腔形成位置的研究方法
发明专利
有效专利
微纳米制造
申请日:
2016-06-06
当前状态:
授权
国际分类号:
B81B7/02
、
B81C1/00
发明人:
张俐楠,郑伟,陈超,吴立群,王洪成
申请人:
杭州电子科技大学
一种两平动一转动三自由度并联柔性结构压电微动平台
一种两平动一转动三自由度并联柔性结构压电微动平台
发明专利
有效专利
微/纳米定位
申请日:
2017-09-20
当前状态:
授权
国际分类号:
B81B7/02
、
H01L41/04
发明人:
崔玉国,由永升,杨依领,娄军强,李锦棒,万光继,张圣贤
申请人:
宁波大学
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