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寻找关于B81C1/00:在基片内或其上制造或处理的装置或系统领域相关可售专利
B81C1/00领域相关在售专利
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B81C1/00:在基片内或其上制造或处理的装置或系统
B81C3/00:从单独处理过的部件组装装置或系统
B81C5/00:（转入B81C 99/00）
B81C99/00:本小类其他各组中不包括的技术主题
B81C1/00小组
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一种三维解耦力触觉传感器及MEMS制备方法
一种三维解耦力触觉传感器及MEMS制备方法
发明专利
有效专利
触觉传感器
申请日：
2021-05-08
当前状态：
授权
国际分类号：
G01L5/165
、
B81C1/00
、
B81B7/02
发明人：
刘超然,陆稞,董林玺,车录锋,王高峰
申请人：
杭州电子科技大学
一种MEMS电容式六轴力传感器芯片及其制备工艺
一种MEMS电容式六轴力传感器芯片及其制备工艺
发明专利
有效专利
MEMS传感器和微纳制造
申请日：
2021-12-23
当前状态：
授权
国际分类号：
G01L5/165
、
B81B7/02
、
B81C1/00
发明人：
赵立波,谭仁杰,韩香广,高文迪,李敏,陈瑶,董林玺,杨萍,王小章,王久洪,蒋庄德
申请人：
西安交通大学
、
杭州电子科技大学
一种自支撑金属纳米孔薄膜的制备方法
一种自支撑金属纳米孔薄膜的制备方法
发明专利
有效专利
申请日：
2018-04-13
当前状态：
授权
国际分类号：
B81C1/00
发明人：
张雪峰,张鉴,姚小莉
申请人：
杭州电子科技大学
一种二维解耦力触觉传感器及MEMS制备方法
一种二维解耦力触觉传感器及MEMS制备方法
发明专利
有效专利
触觉传感器
申请日：
2021-05-08
当前状态：
授权
国际分类号：
G01L5/165
、
B81B7/02
、
B81C1/00
发明人：
刘超然,陆稞,董林玺,车录锋,王高峰
申请人：
杭州电子科技大学
一种基于SOI工艺的MEMS六轴力传感器芯片及其制备方法
一种基于SOI工艺的MEMS六轴力传感器芯片及其制备方法
发明专利
有效专利
微纳传感器
申请日：
2021-12-23
当前状态：
授权
国际分类号：
G01L5/165
、
G01L1/14
、
B81B7/02
、
B81B7/00
、
B81C1/00
发明人：
赵立波,谭仁杰,高文迪,韩香广,卢德江,王路,李敏,董林玺,杨萍,林启敬,蒋庄德
申请人：
西安交通大学
、
杭州电子科技大学
二自由度scott-russell柔性微纳定位平台
二自由度scott-russell柔性微纳定位平台
发明专利
有效专利
申请日：
2019-03-28
当前状态：
授权
国际分类号：
B81C1/00
、
B81C99/00
发明人：
张扬名,薛凌云,李建明,鲁帅帅
申请人：
杭州电子科技大学
一种控制硅基微结构内部空腔形成位置的研究方法
一种控制硅基微结构内部空腔形成位置的研究方法
发明专利
有效专利
微纳米制造
申请日：
2016-06-06
当前状态：
授权
国际分类号：
B81B7/02
、
B81C1/00
发明人：
张俐楠,郑伟,陈超,吴立群,王洪成
申请人：
杭州电子科技大学
一种超疏水/超亲水混合图案微阵列树枝状金芯片的制备方法
一种超疏水/超亲水混合图案微阵列树枝状金芯片的制备方法
发明专利
有效专利
申请日：
2019-10-17
当前状态：
授权
国际分类号：
B01L3/00
、
B81C1/00
、
B82Y30/00
、
B82Y40/00
发明人：
潘宏程,郭垠,陈雯
申请人：
桂林理工大学
一种PPy/CDs/PB/Au纳米电极、制备方法及其应用
一种PPy/CDs/PB/Au纳米电极、制备方法及其应用
发明专利
有效专利
申请日：
2018-07-25
当前状态：
授权
国际分类号：
G01N27/30
、
G01N27/48
、
B81C1/00
发明人：
李永新,陈唯
申请人：
安徽师范大学
一种银纳米电极及其制备方法
一种银纳米电极及其制备方法
发明专利
有效专利
申请日：
2018-03-09
当前状态：
授权
国际分类号：
B81B1/00
、
B81C1/00
发明人：
李永新,花红梅,刘勇
申请人：
安徽师范大学
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