一种水溶性双咪唑啉缓蚀剂及其制备方法   0    0

一种水溶性双咪唑啉缓蚀剂及其制备方法，首先，聚乙二醇单甲醚加热融化后加入三聚氯氰反应，制备聚醚三聚氯氰；再加入咪唑啉中间体反应得到一种水溶性双咪唑啉缓蚀剂。发明的有益效果在于，所得缓蚀剂具有良好的水溶性和缓蚀效果。

1.一种水溶性双咪唑啉缓蚀剂，其特征在于，利用咪唑啉分子结构中的氨基、聚乙二醇单甲醚的羟基，分别与三聚氯氰的氯发生取代反应，将聚乙二醇链段、咪唑啉以化学键通过三聚氯氰桥连成一个分子，其具有以下结构：
其中：n为整数；n≥8。

2.一种水溶性双咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1：在圆底烧瓶中加入聚乙二醇单甲醚升温至12 20℃使聚乙二醇单甲醚熔融，加~
入固体缚酸剂颗粒，滴加三聚氯氰的丙酮溶液，滴加完毕后在温度为12 20℃下继续反应1~ ~
2小时，得到聚醚三聚氯氰溶液；
步骤2：在装有分水器和冷凝管的圆底烧瓶中加入有机酸、二乙烯三胺及携水剂二甲苯，逐步升温至150℃，反应2小时，继续升温至200℃反应10小时，反应结束后，降温至150℃减压蒸馏除去多余的携水剂二甲苯和未反应的二乙烯三胺，得到咪唑啉中间体；
步骤3：将咪唑啉中间体和聚醚三聚氯氰充分混合，加入固体缚酸剂颗粒，升温至75 95~
℃下反应1 2小时，即得到一种水溶性双咪唑啉缓蚀剂。
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3.根据权利要求2所述的一种水溶性双咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述步骤1中三聚氯氰与聚乙二醇单甲醚的投料摩尔比为1:1.0 1.1。
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4.根据权利要求2所述的一种水溶性双咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述步骤3中聚醚三聚氯氰与咪唑啉中间体的投料摩尔比为1: 2 2.1。
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5.根据权利要求2所述的一种水溶性双咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述步骤2中的有机酸为油酸、苯甲酸、环烷酸中的一种。

6.根据权利要求2所述的一种水溶性双咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述步骤1和步骤3中所用固体缚酸剂颗粒为氢氧化钾、氢氧化钠、碳酸钠、碳酸钾中的一种。

7.根据权利要求2所述的一种水溶性双咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述步骤1和步骤3中固体缚酸剂颗粒的用量以步骤1中的三聚氯氰摩尔数为基准，固体缚酸剂颗粒的用量是三聚氯氰摩尔数的1.1 2.5倍。
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8.根据权利要求2所述的一种水溶性双咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述的咪唑啉中间体自制时，方法如下：在装有分水器和冷凝管的圆底烧瓶中加入有机酸
100mmol、二乙烯三胺120mmol及携水剂二甲苯50mL。