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一种直拉法制备硅单晶用单晶炉
一种直拉法制备硅单晶用单晶炉
发明专利
有效专利
硅片制备
申请日：
2020-06-10
当前状态：
授权
国际分类号：
C30B15/00
、
C30B15/20
、
C30B29/06
发明人：
康林科
申请人：
湖南宇星碳素有限公司
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