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B81B1/00:不具有活动或柔性元件的装置，例如微毛细管装置
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B81B7/00:微观结构系统
B81B1/00小组
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光驱动扫描微镜
光驱动扫描微镜
发明专利
有效专利
一种用于光学扫描的微机电系统器件
申请日：
2012-06-04
当前状态：
授权
国际分类号：
G02B26/10
、
B81B7/00
发明人：
徐英舜
申请人：
凝辉(天津)科技有限责任公司
双微镜旋转扫描器件
双微镜旋转扫描器件
发明专利
有效专利
一种用于旋转光学扫描的微机电系统器件
申请日：
2012-05-28
当前状态：
授权
国际分类号：
B81B3/00
、
G02B26/08
、
G02B26/10
发明人：
徐英舜
申请人：
凝辉(天津)科技有限责任公司
直接光驱动扫描微镜
直接光驱动扫描微镜
发明专利
有效专利
一种用于光学扫描的微机电系统器件
申请日：
2012-06-04
当前状态：
授权
国际分类号：
G02B26/10
、
B81B7/00
发明人：
徐英舜
申请人：
凝辉(天津)科技有限责任公司
一种三维解耦力触觉传感器及MEMS制备方法
一种三维解耦力触觉传感器及MEMS制备方法
发明专利
有效专利
触觉传感器
申请日：
2021-05-08
当前状态：
授权
国际分类号：
G01L5/165
、
B81C1/00
、
B81B7/02
发明人：
刘超然,陆稞,董林玺,车录锋,王高峰
申请人：
杭州电子科技大学
一种MEMS电容式六轴力传感器芯片及其制备工艺
一种MEMS电容式六轴力传感器芯片及其制备工艺
发明专利
有效专利
MEMS传感器和微纳制造
申请日：
2021-12-23
当前状态：
授权
国际分类号：
G01L5/165
、
B81B7/02
、
B81C1/00
发明人：
赵立波,谭仁杰,韩香广,高文迪,李敏,陈瑶,董林玺,杨萍,王小章,王久洪,蒋庄德
申请人：
西安交通大学
、
杭州电子科技大学
基于电容检测原理的MEMS六轴力传感器芯片及其制备方法
基于电容检测原理的MEMS六轴力传感器芯片及其制备方法
发明专利
有效专利
微机电系统和传感器
申请日：
2021-12-23
当前状态：
授权
国际分类号：
G01L5/165
、
B81B7/02
发明人：
赵立波,谭仁杰,黄琳雅,韩香广,高文迪,李敏,董林玺,王李,杨萍,王永录,蒋庄德
申请人：
西安交通大学
、
杭州电子科技大学
一种微机电组件的封装构造
一种微机电组件的封装构造
发明专利
实质审查
封装
申请日：
2017-09-08
当前状态：
实质审查
国际分类号：
B81B7/00
、
B81B7/02
发明人：
杨亮
申请人：
电子科技大学中山学院
一种二维解耦力触觉传感器及MEMS制备方法
一种二维解耦力触觉传感器及MEMS制备方法
发明专利
有效专利
触觉传感器
申请日：
2021-05-08
当前状态：
授权
国际分类号：
G01L5/165
、
B81B7/02
、
B81C1/00
发明人：
刘超然,陆稞,董林玺,车录锋,王高峰
申请人：
杭州电子科技大学
一种基于SOI工艺的MEMS六轴力传感器芯片及其制备方法
一种基于SOI工艺的MEMS六轴力传感器芯片及其制备方法
发明专利
有效专利
微纳传感器
申请日：
2021-12-23
当前状态：
授权
国际分类号：
G01L5/165
、
G01L1/14
、
B81B7/02
、
B81B7/00
、
B81C1/00
发明人：
赵立波,谭仁杰,高文迪,韩香广,卢德江,王路,李敏,董林玺,杨萍,林启敬,蒋庄德
申请人：
西安交通大学
、
杭州电子科技大学
自驱动的微型冲击锤
自驱动的微型冲击锤
发明专利
有效专利
申请日：
2019-01-09
当前状态：
授权
国际分类号：
B81B7/02
发明人：
董林玺,方祥,李杰,郑梦萍
申请人：
杭州电子科技大学
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