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一种半导体二极管酸洗处理系统   0    0

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专利申请流程有哪些步骤?
专利申请流程图
申请
申请号:指国家知识产权局受理一件专利申请时给予该专利申请的一个标示号码。唯一性原则。
申请日:提出专利申请之日。
2018-06-05
申请公布
申请公布指发明专利申请经初步审查合格后,自申请日(或优先权日)起18个月期满时的公布或根据申请人的请求提前进行的公布。
申请公布号:专利申请过程中,在尚未取得专利授权之前,国家专利局《专利公报》公开专利时的编号。
申请公布日:申请公开的日期,即在专利公报上予以公开的日期。
2018-11-30
授权
授权指对发明专利申请经实质审查没有发现驳回理由,授予发明专利权;或对实用新型或外观设计专利申请经初步审查没有发现驳回理由,授予实用新型专利权或外观设计专利权。
2021-01-15
预估到期
发明专利权的期限为二十年,实用新型专利权期限为十年,外观设计专利权期限为十五年,均自申请日起计算。专利届满后法律终止保护。
2038-06-05
基本信息
有效性 有效专利 专利类型 发明专利
申请号 CN201810569549.0 申请日 2018-06-05
公开/公告号 CN108766911B 公开/公告日 2021-01-15
授权日 2021-01-15 预估到期日 2038-06-05
申请年 2018年 公开/公告年 2021年
缴费截止日
分类号 H01L21/67 主分类号 H01L21/67
是否联合申请 独立申请 文献类型号 B
独权数量 1 从权数量 2
权利要求数量 3 非专利引证数量 0
引用专利数量 5 被引证专利数量 0
非专利引证
引用专利 CN105355553A、CN105390424A、CN206179839U、CN106128981A、US6309685B1 被引证专利
专利权维持 4 专利申请国编码 CN
专利事件 转让 事务标签 实质审查、申请权转移、授权
申请人信息
申请人 第一申请人
专利权人 马长江 当前专利权人 马长江
发明人 陈涛 第一发明人 陈涛
地址 福建省福州市福清市玉屏街道官塘乾成龙花园 邮编 350300
申请人数量 1 发明人数量 1
申请人所在省 福建省 申请人所在市 福建省福州市
代理人信息
代理机构
专利代理机构是经省专利管理局审核,国家知识产权局批准设立,可以接受委托人的委托,在委托权限范围内以委托人的名义办理专利申请或其他专利事务的服务机构。
广州高炬知识产权代理有限公司 代理人
专利代理师是代理他人进行专利申请和办理其他专利事务,取得一定资格的人。
陈文龙
摘要
本发明属于半导体二极管生产技术领域,具体的说是一种半导体二极管酸洗处理系统,包括箱体,酸洗箱和摆动模块;箱体内部设有摆动模块,摆动模块包括转盘、第一滑块、支撑盘、伸缩杆和导柱;酸洗箱安装在摆动模块的支撑盘上,酸洗箱用于放置半导体二极管,摆动模块晃动用于提高酸洗液的流动性,提高半导体二极管的酸洗效率。本发明通过控制电机的转速不同,第一滑块在离心力的作用下向外滑动的距离不同,相应的挤压到不同长度的导柱,使得支撑盘的倾斜程度不同,通过周期性的控制电机转速的快慢,支撑盘转动的同时并且产生摆动,增加酸洗液的流动,提高半导体二极管酸洗的效率。
  • 摘要附图
    一种半导体二极管酸洗处理系统
  • 说明书附图:图1
    一种半导体二极管酸洗处理系统
  • 说明书附图:图2
    一种半导体二极管酸洗处理系统
  • 说明书附图:图3
    一种半导体二极管酸洗处理系统
  • 说明书附图:图4
    一种半导体二极管酸洗处理系统
法律状态
序号 法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
1 2021-01-15 授权
2 2021-01-05 专利申请权的转移 登记生效日: 2020.12.24 申请人由陈涛变更为马长江 地址由214432 江苏省无锡市江阴市澄江东路99号江阴长江电子实业有限公司变更为350300 福建省福州市福清市玉屏街道官塘乾成龙花园
3 2018-11-30 实质审查的生效 IPC(主分类): H01L 21/67 专利申请号: 201810569549.0 申请日: 2018.06.05
权利要求
权利要求书是申请文件最核心的部分,是申请人向国家申请保护他的发明创造及划定保护范围的文件。
1.一种半导体二极管酸洗处理系统,包括箱体(1)和酸洗箱(2);其特征在于:还包括摆动模块(3);所述箱体(1)内部设有摆动模块(3),所述酸洗箱(2)安装在摆动模块(3)上,所述酸洗箱(2)用于放置半导体二极管;其中,所述的摆动模块(3)包括转盘(31)、第一滑块(32)、支撑盘(33)、伸缩杆(34)和导柱(35);所述箱体(1)底部设置电机;所述电机的转轴上固连着转盘(31);所述转盘(31)顶部设有向一侧开设的滑槽,所述第一滑块(32)通过弹簧安装在转盘(31)的滑槽内;所述支撑盘(33)通过一组并联伸缩杆(34)安装在转盘(31)上;
所述支撑盘(33)顶部设有酸洗箱(2);所述支撑盘(33)底部设有一组导柱(35);所述导柱(35)用于配合第一滑块(32)使用;所述第一滑块(32)顶部设有圆弧凸起;沿第一滑块(32)移动路径上的导柱(35)长度依次增加;
所述第一滑块(32)顶部设有凹槽;凹槽侧边设有一组转动杆(321),所述转动杆(321)的中部转动安装在凹槽侧边上;所述转动杆(321)的转轴内设有扭簧;
两个连接板(43)之间滑动安装着扇形块(5);扇形块(5)的横截面设成V型,所述连接板(43)端头设置V型槽,V型槽用于安装扇形块(5);所述扇形块(5)包括第一扇形板(51)和第二扇形板(52),所述第一扇形板(51)和第二扇形板(52)的一端转动安装在滑动轴(53)上,所述滑动轴(53)通过弹簧安装在两个连接板(43)之间的转轴上;所述第一扇形板(51)和第二扇形板(52)的另一端通过弹簧相连。

2.根据权利要求1所述的一种半导体二极管酸洗处理系统,其特征在于:所述支撑盘(33)外圈设有一组搅动模块(4);所述搅动模块(4)包括安装板(41)、第二滑块(42)、连接板(43)、导向轮(44)和牵引绳(45);所述安装板(41)固连在支撑盘(33)外圈;所述第二滑块(42)通过弹簧安装在安装板(41)的滑槽内;所述连接板(43)上设置导向轮(44);两个连接板(43)的端头底部通过转轴相连;其中一块连接板(43)的端头底部转动安装在安装板(41)端头的底部;最外侧的一块连接板(43)端头固连着牵引绳(45);所述牵引绳(45)通过导向轮(44)并固连在第二滑块(42)一侧。

3.根据权利要求2所述的一种半导体二极管酸洗处理系统,其特征在于:所述连接板(43)上设有对称安装在连接板(43)一侧的支撑杆(46);所述支撑杆(46)一端通过斜块(47)滑动安装在连接板(43)设置的斜槽内;所述支撑杆(46)另一端转动安装着副轮(48),支撑杆(46)沿斜槽滑动用于间歇支撑起牵引绳(45)。
说明书

技术领域

[0001] 本发明属于半导体二极管生产技术领域,具体的说是一种半导体二极管酸洗处理系统。

背景技术

[0002] 半导体二极管是指利用半导体特性的两端电子器件。最常见的半导体二极管是PN结型二极管和金属半导体接触二极管。它们的共同特点是伏安特性的不对称性,即电流沿其一个方向呈现良好的导电性,而在相反方向呈现高阻特性。可用作为整流、检波、稳压、恒流、变容、开关、发光及光电转换等。利用高掺杂PN结中载流子的隧道效应可制成超高频放大或超高速开关的隧道二极管。随着社会的快速发展,半导体二极管的应用越来越广泛。因此,生产出的半导体二极管的品质和效率成为了技术的核心,而在半导体二极管的生产中,半导体二极管的酸洗存在着一些劣势,从而改善酸洗则变得重中之重。
[0003] 现有技术中也出现了一些二极管酸洗的技术方案,如申请号为2015109190538的一项中国专利公开了二极管制造领域内的二极管酸洗机,包括包括酸洗槽、底座、酸液箱。所述酸洗槽位于底座的上端,所述酸洗槽一侧的底座上设有竖向的支架,所述酸液箱固定在支架靠近酸洗槽的一侧,所述酸液箱位于酸洗槽的上方,酸液箱的底部设有供液管。所述支架的顶端设有集流罩,集流罩的顶端设有抽风机,抽风机上连接有排气管。所述集流罩位于酸洗槽的上方,集流罩下端的外侧壁上铰接有转轴,转轴上固定有透明的隔离布。
[0004] 该技术方案能够对二极管进行酸洗,该方案通过超声波对二极管进行酸洗;超声波清洗时,由于发生空化作用时会产生上千个大气压力,能够破坏不溶性污物,但同时也会对物件产生破坏,造成二极管损伤。

发明内容

[0005] 为了弥补现有技术的不足,本发明提出的一种半导体二极管酸洗处理系统,摆动模块的第一滑块在离心力的作用下向外滑动挤压到不同长度的导柱,使得支撑盘的倾斜程度不同,通过周期性的控制电机转速的快慢,支撑盘转动的同时并摆动,增加酸洗液的流动,提高半导体二极管酸洗的效率。
[0006] 本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:本发明所述的一种半导体二极管酸洗处理系统,包括箱体,酸洗箱和摆动模块;所述箱体内部设有摆动模块,所述酸洗箱安装在摆动模块上,摆动模块晃动用于提高酸洗液的流动;所述酸洗箱用于放置半导体二极管;
[0007] 所述的摆动模块包括转盘、第一滑块、支撑盘、伸缩杆和导柱;所述箱体底部设置电机;所述电机的转轴上固连着转盘;所述转盘顶部设有向一侧开设的滑槽,所述第一滑块通过弹簧安装在转盘的滑槽内;所述支撑盘通过一组并联伸缩杆安装在转盘上;所述支撑盘顶部设有酸洗箱;所述支撑盘底部设有一组导柱;所述导柱用于配合第一滑块使用;所述第一滑块顶部设有圆弧凸起;沿第一滑块移动路径上的导柱长度依次增加。工作时,通过控制电机的转速不同,第一滑块在离心力的作用下向外滑动的距离不同,相应的挤压到不同长度的导柱,使得支撑盘的倾斜程度不同,通过周期性的控制电机转速的快慢,支撑盘转动的同时并摆动,增加酸洗液的流动,提高半导体二极管酸洗的效率。
[0008] 优选的,所述第一滑块顶部设有凹槽;凹槽侧边设有一组转动杆;所述转动杆的中部转动安装在凹槽侧边上,所述转动杆的转轴内设有扭簧。工作时,第一滑块移动挤压到导柱,通过设置一组转动杆,一方面减轻第一滑块对导柱的冲击,另一方面导柱挤压并使转动杆摆动,转动杆对酸洗液进行搅拌,增加酸洗液的流动。
[0009] 优选的,所述支撑盘外圈设有一组搅动模块;所述搅动模块包括安装板、第二滑块、连接板、导向轮和牵引绳;所述安装板固连在支撑盘外圈;所述第二滑块通过弹簧安装在安装板的滑槽内;所述连接板上设置导向轮;两个连接板的端头底部通过转轴相连;其中一块连接板的端头底部转动安装在安装板端头的底部;最外侧的一块连接板端头固连着牵引绳;所述牵引绳通过导向轮并固连在第二滑块一侧。工作时,随着支撑盘旋转,第二滑块在离心力的作用下向支撑盘外侧滑动,通过控制电机转速的不同,第二滑块一侧设置牵引绳拽拉最外侧的连接板,相邻的两个连接板相对转动,对酸洗液进行搅拌,增加酸洗液的流动。
[0010] 优选的,所述连接板上设有对称安装在连接板一侧的支撑杆;所述支撑杆一端通过斜块滑动安装在连接板设置的斜槽内;所述支撑杆另一端转动安装着副轮,支撑杆沿斜槽滑动用于间歇支撑起牵引绳。工作时,由于牵引绳一直在导向轮是摩擦,且牵引绳在导向轮上的接触位置不变,这就使得导向轮的局部磨损较大,通过在连接板一侧的支撑杆,在第二滑块牵引转动板摆动时,支撑杆沿连接板上设置的斜槽滑动,副轮将牵引绳支撑并脱离导向轮,通过间歇性的支起和放下,均衡导向轮外圈的磨损。
[0011] 优选的,两个连接板之间滑动安装着扇形块;扇形块的横截面设成V型,所述连接板端头设置V型槽,V型槽用于安装扇形块;所述扇形块包括第一扇形板和第二扇形板,所述第一扇形板和第二扇形板的一端转动安装在滑动轴上,所述滑动轴通过弹簧安装在两个连接板之间的转轴上;所述第一扇形板和第二扇形板的另一端通过弹簧相连。工作时,在第二滑块的牵引作用下两个转动板相对转动,挤压扇形块并使扇形块沿连接板端头设置V型槽向外滑动,滑动的同时,第一扇形板和第二扇形板的端头在弹簧的作用下张开,对酸洗液进行搅动,增加酸洗液的流动,提高酸洗效率。
[0012] 本发明的有益效果如下:
[0013] 1.本发明通过设置摆动模块,摆动模块的第一滑块在离心力的作用下向外滑动挤压到不同长度的导柱,使得支撑盘的倾斜程度不同,通过周期性的控制电机转速的快慢,支撑盘转动的同时并摆动,增加酸洗液的流动,提高半导体二极管酸洗的效率。
[0014] 2.本发明通过设置一组转动杆,一方面减轻第一滑块对导柱的冲击,另一方面导柱挤压并使转动杆摆动,转动杆对酸洗液进行搅拌,增加酸洗液的流动,提高半导体二极管酸洗的效率。
[0015] 3.本发明通过在两个连接板之间设置扇形块,相邻的两个连接板相对转动,挤压扇形块并使扇形块沿连接板端头设置V型槽向外滑动,滑动的同时,第一扇形板和第二扇形板的端头在弹簧的作用下张开,对酸洗液进行搅动,增加酸洗液的流动,提高酸洗效率。

实施方案

[0022] 为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本发明。
[0023] 如图1至图4所示,本发明所述的一种半导体二极管酸洗处理系统,包括箱体1,酸洗箱2和摆动模块3;所述箱体1内部设有摆动模块3,所述酸洗箱2安装在摆动模块3上,摆动模块3晃动用于提高酸洗液的流动;所述酸洗箱2用于放置半导体二极管;
[0024] 所述的摆动模块3包括转盘31、第一滑块32、支撑盘33、伸缩杆34和导柱35;所述箱体1底部设置电机;所述电机的转轴上固连着转盘31;所述转盘31顶部设有向一侧开设的滑槽,所述第一滑块32通过弹簧安装在转盘31的滑槽内;所述支撑盘33通过一组并联伸缩杆34安装在转盘31上;所述支撑盘33顶部设有酸洗箱2;所述支撑盘33底部设有一组导柱35;
所述导柱35用于配合第一滑块32使用;所述第一滑块32顶部设有圆弧凸起;沿第一滑块32移动路径上的导柱35长度依次增加。工作时,通过控制电机的转速不同,第一滑块32在离心力的作用下向外滑动的距离不同,相应的挤压到不同长度的导柱35,使得支撑盘33的倾斜程度不同,通过周期性的控制电机转速的快慢,支撑盘33转动的同时并摆动,增加酸洗液的流动,提高半导体二极管酸洗的效率。
[0025] 作为本发明的一种实施方式,所述第一滑块32顶部设有凹槽;凹槽侧边设有一组转动杆321;所述转动杆321的中部转动安装在凹槽侧边上,所述转动杆321的转轴内设有扭簧。工作时,第一滑块32移动挤压到导柱35,通过设置一组转动杆321,一方面减轻第一滑块32对导柱35的冲击,另一方面导柱35挤压并使转动杆321摆动,转动杆321对酸洗液进行搅拌,增加酸洗液的流动。
[0026] 作为本发明的一种实施方式,所述支撑盘33外圈设有一组搅动模块4;所述搅动模块4包括安装板41、第二滑块42、连接板43、导向轮44和牵引绳45;所述安装板41固连在支撑盘33外圈;所述第二滑块42通过弹簧安装在安装板41的滑槽内;所述连接板43上设置导向轮44;两个连接板43的端头底部通过转轴相连;其中一块连接板43的端头底部转动安装在安装板41端头的底部;最外侧的一块连接板43端头固连着牵引绳45;所述牵引绳45通过导向轮44并固连在第二滑块42一侧。工作时,随着支撑盘33旋转,第二滑块42在离心力的作用下向支撑盘33外侧滑动,通过控制电机转速的不同,第二滑块42一侧设置牵引绳45拽拉最外侧的连接板43,相邻的两个连接板43相对转动,对酸洗液进行搅拌,增加酸洗液的流动。
[0027] 作为本发明的一种实施方式,所述连接板43上设有对称安装在连接板43一侧的支撑杆46;所述支撑杆46一端通过斜块47滑动安装在连接板43设置的斜槽内;所述支撑杆46另一端转动安装着副轮48,支撑杆46沿斜槽滑动用于间歇支撑起牵引绳45。工作时,由于牵引绳45一直在导向轮44是摩擦,且牵引绳45在导向轮44上的接触位置不变,这就使得导向轮44的局部磨损较大,通过在连接板43一侧的支撑杆46,在第二滑块42牵引转动板43摆动时,支撑杆46沿连接板43上设置的斜槽滑动,副轮48将牵引绳45支撑并脱离导向轮44,通过间歇性的支起和放下,均衡导向轮44外圈的磨损。
[0028] 作为本发明的一种实施方式,两个连接板43之间滑动安装着扇形块5;扇形块5的横截面设成V型,所述连接板43端头设置V型槽,V型槽用于安装扇形块5;所述扇形块5包括第一扇形板51和第二扇形板52,所述第一扇形板51和第二扇形板52的一端转动安装在滑动轴53上,所述滑动轴53通过弹簧安装在两个连接板43之间的转轴上;所述第一扇形板51和第二扇形板52的另一端通过弹簧相连。工作时,在第二滑块42的牵引作用下两个转动板43相对转动,挤压扇形块5并使扇形块5沿连接板43端头设置V型槽向外滑动,滑动的同时,第一扇形板51和第二扇形板52的端头在弹簧的作用下张开,对酸洗液进行搅动,增加酸洗液的流动,提高酸洗效率。
[0029] 工作时,半导体二极管放入支撑盘33内,通过控制电机的转速不同,第一滑块32在离心力的作用下向外滑动的距离不同,相应的挤压到不同长度的导柱35,使得支撑盘33的倾斜程度不同,第一滑块32移动挤压到导柱35,通过设置一组转动杆321,一方面减轻第一滑块32对导柱35的冲击,另一方面导柱35挤压并使转动杆321摆动,转动杆321对酸洗液进行搅拌,提高酸洗液的流动性,通过周期性的控制电机转速的快慢,支撑盘33转动的同时并摆动,增加酸洗液的流动,提高半导体二极管酸洗的效率。随着支撑盘33旋转,第二滑块42在离心力的作用下向支撑盘33外侧滑动,通过控制电机转速的不同,第二滑块42一侧设置牵引绳45拽拉最外侧的连接板43,相邻的两个连接板43相对转动,挤压扇形块5并使扇形块5沿连接板43端头设置V型槽向外滑动,滑动的同时,第一扇形板51和第二扇形板52的端头在弹簧的作用下张开,对酸洗液进行搅动,增加酸洗液的流动,提高酸洗效率。
[0030] 以上所述仅为本发明的实施例,并非因此限制本发明的专利范围,凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本发明的专利保护范围。

附图说明

[0016] 下面结合附图对本发明作进一步说明。
[0017] 图1是本发明的主视图;
[0018] 图2是本发明的第一滑块与导柱连接图;
[0019] 图3是图1中E处局部放大图;
[0020] 图4是图3中A-A剖视图;
[0021] 图中:箱体1、酸洗箱2、摆动模块3、转盘31、第一滑块32、转动杆321、支撑盘33、伸缩杆34、导柱35、搅动模块4、安装板41、第二滑块42、连接板43、导向轮44、牵引绳45、支撑杆46、斜块47、副轮48、扇形块5、第一扇形板51、第二扇形板52、滑动轴53。
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