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一种单晶硅加工用高温加工装置   0    0

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专利申请流程有哪些步骤?
专利申请流程图
申请
申请号:指国家知识产权局受理一件专利申请时给予该专利申请的一个标示号码。唯一性原则。
申请日:提出专利申请之日。
2021-08-17
授权
授权指对发明专利申请经实质审查没有发现驳回理由,授予发明专利权;或对实用新型或外观设计专利申请经初步审查没有发现驳回理由,授予实用新型专利权或外观设计专利权。
2022-04-08
预估到期
发明专利权的期限为二十年,实用新型专利权期限为十年,外观设计专利权期限为十五年,均自申请日起计算。专利届满后法律终止保护。
2031-08-17
基本信息
有效性 有效专利 专利类型 实用新型
申请号 CN202121932422.4 申请日 2021-08-17
公开/公告号 CN216250643U 公开/公告日 2022-04-08
授权日 2022-04-08 预估到期日 2031-08-17
申请年 2021年 公开/公告年 2022年
缴费截止日 2022-09-19
分类号 H01L21/67H01L21/687 主分类号 H01L21/67
是否联合申请 独立申请 文献类型号 U
独权数量 1 从权数量 5
权利要求数量 6 非专利引证数量 0
引用专利数量 0 被引证专利数量 0
非专利引证
引用专利 被引证专利
专利权维持 1 专利申请国编码 CN
专利事件 事务标签 授权
申请人信息
申请人 第一申请人
专利权人 王杰 当前专利权人 王杰
发明人 王杰 第一发明人 王杰
地址 天津市滨海新区开发区欣泰街2号B区12室 邮编 300450
申请人数量 1 发明人数量 1
申请人所在省 天津市 申请人所在市 天津市滨海新区
代理人信息
代理机构
专利代理机构是经省专利管理局审核,国家知识产权局批准设立,可以接受委托人的委托,在委托权限范围内以委托人的名义办理专利申请或其他专利事务的服务机构。
代理人
专利代理师是代理他人进行专利申请和办理其他专利事务,取得一定资格的人。
摘要
本实用新型公开了一种单晶硅加工用高温加工装置,涉及高温加工装置技术领域,包括高温加工外壳、加热板和控制面板,所述高温加工外壳的内部活动安装有加热板,所述加热板一端的侧面固定安装有控制面板,所述加热板的另一端固定连接有推块。本实用新型通过伸缩板和加热板相互配合,使得伸缩板带动加热板弹出高温加工外壳,然后在固定环的内部放置加工件,再由伸缩柱伸缩移动带动固定块移动固定加工件,达到固定的功能,从而方便把加热板推到高温加工外壳内部,然后配合加热管进行加热,解决了由于高温加工装置的固定性能较差,使得加工件的拿取极为麻烦的问题,有利于增加装置的固定性能,从而方便装置便捷的拿取加工件,增加装置的便捷性。
  • 摘要附图
    一种单晶硅加工用高温加工装置
  • 说明书附图:图1
    一种单晶硅加工用高温加工装置
  • 说明书附图:图2
    一种单晶硅加工用高温加工装置
  • 说明书附图:图3
    一种单晶硅加工用高温加工装置
  • 说明书附图:图4
    一种单晶硅加工用高温加工装置
  • 说明书附图:图5
    一种单晶硅加工用高温加工装置
  • 说明书附图:图6
    一种单晶硅加工用高温加工装置
法律状态
序号 法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
1 2022-04-08 授权
权利要求
权利要求书是申请文件最核心的部分,是申请人向国家申请保护他的发明创造及划定保护范围的文件。
1.一种单晶硅加工用高温加工装置,包括高温加工外壳(1)、加热板(2)和控制面板(3),所述高温加工外壳(1)的内部活动安装有加热板(2),所述加热板(2)一端的侧面固定安装有控制面板(3),其特征在于:所述加热板(2)的另一端固定连接有推块(21),所述推块(21)远离加热板(2)的一侧设置有伸缩板(22),所述加热板(2)的顶部设置有固定环(23),所述高温加工外壳(1)的内腔设置有加热管(11),所述加热管(11)的侧面固定安装有防尘网(12);
所述固定环(23)的内部设置有固定块(24),所述固定块(24)的侧面固定安装有伸缩柱(25);
所述防尘网(12)的表面设置有清理板(13),所述清理板(13)的底部固定安装有清理块(14)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅加工用高温加工装置,其特征在于:所述固定环(23)的侧面设置有滑槽(231),所述滑槽(231)的内部固定安装在伸缩柱(25)的一端。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅加工用高温加工装置,其特征在于:所述固定块(24)的顶部固定安装有导热垫(241),所述导热垫(241)的底部固定安装有气压垫(242)。

4.根据权利要求3所述的一种单晶硅加工用高温加工装置,其特征在于:所述气压垫(242)的底部固定安装有压柱(243),所述压柱(243)的底部活动套接有压块(244),所述压块(244)的底部设置有底板。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅加工用高温加工装置,其特征在于:所述防尘网(12)的两侧开设有滑轨(121),所述滑轨(121)的内部活动套接有连接块(122),所述连接块(122)的侧面设置在清理板(13)的两端。

6.根据权利要求1所述的一种单晶硅加工用高温加工装置,其特征在于:所述清理块(14)的底部设置有粘连垫(141),所述粘连垫(141)的底部固定安装有吸附块(142)。
说明书

技术领域

[0001] 本实用新型涉及高温加工装置技术领域,具体涉及一种单晶硅加工用高温加工装置。

背景技术

[0002] 半导体的导电能力介于导体和绝缘体之间,硅、锗、砷化镓和硫化镉都是半导体材料,半导体材料的电阻率随着温度升高和辐射强度的增大而减小,在半导体中加入微量的杂质,对其导电性有决定性影响,这是半导体材料的重要特性,从而需要对半导体进行高温加工处理。针对现有技术存在以下问题:
[0003] 1、由于高温加工装置的固定性能较差,使得加工件的拿取极为麻烦,从而影响高温加工装置工作效率的问题;
[0004] 2、高温加工装置长时间的使用,内部容易堆积灰尘,从而导致加热效果下降,从而影响装置的实用性的问题。实用新型内容
[0005] 本实用新型提供一种单晶硅加工用高温加工装置,其中一种目的是为了具备增加固定性能,解决由于高温加工装置的固定性能较差,使得加工件的拿取极为麻烦,从而影响高温加工装置工作效率的问题;其中另一种目的是为了解决高温加工装置长时间的使用,内部容易堆积灰尘,从而导致加热效果下降,从而影响装置的实用性的问题,以达到清理灰尘的效果。
[0006] 为解决上述技术问题,本实用新型所采用的技术方案是:
[0007] 一种单晶硅加工用高温加工装置,包括高温加工外壳、加热板和控制面板,所述高温加工外壳的内部活动安装有加热板,所述加热板一端的侧面固定安装有控制面板,所述加热板的另一端固定连接有推块,所述推块远离加热板的一侧设置有伸缩板,所述加热板的顶部设置有固定环,所述高温加工外壳的内腔设置有加热管,所述加热管的侧面固定安装有防尘网。
[0008] 所述固定环的内部设置有固定块,所述固定块的侧面固定安装有伸缩柱。
[0009] 所述防尘网的表面设置有清理板,所述清理板的底部固定安装有清理块。
[0010] 本实用新型技术方案的进一步改进在于:所述固定环的侧面设置有滑槽,所述滑槽的内部固定安装在伸缩柱的一端。
[0011] 本实用新型技术方案的进一步改进在于:所述固定块的顶部固定安装有导热垫,所述导热垫的底部固定安装有气压垫。
[0012] 本实用新型技术方案的进一步改进在于:所述气压垫的底部固定安装有压柱,所述压柱的底部活动套接有压块,所述压块的底部设置有底板。
[0013] 本实用新型技术方案的进一步改进在于:所述防尘网的两侧开设有滑轨,所述滑轨的内部活动套接有连接块,所述连接块的侧面设置在清理板的两端。
[0014] 本实用新型技术方案的进一步改进在于:所述清理块的底部设置有粘连垫,所述粘连垫的底部固定安装有吸附块。
[0015] 由于采用了上述技术方案,本实用新型相对现有技术来说,取得的技术进步是:
[0016] 1、本实用新型提供一种单晶硅加工用高温加工装置,通过伸缩板和加热板相互配合,使得伸缩板带动加热板弹出高温加工外壳,然后在固定环的内部放置加工件,再由伸缩柱伸缩移动带动固定块移动固定加工件,达到固定的功能,从而方便把加热板推到高温加工外壳内部,然后配合加热管进行加热,解决了由于高温加工装置的固定性能较差,使得加工件的拿取极为麻烦的问题,有利于增加装置的固定性能,从而方便装置便捷的拿取加工件,增加装置的便捷性。
[0017] 2、本实用新型提供一种单晶硅加工用高温加工装置,通过防尘网对灰尘进行过滤吸附,从而达到防尘的功能,再由连接块和滑轨相互配合,使得清理板移动的同时带动清理块在防尘网上进行移动,然后配合粘连垫的粘连性对防尘网上的灰尘进行粘连,再由吸附块的吸附性,对较大的灰尘颗粒进行吸附,从而增加防尘网的续航能力,增加装置的防尘的效果,解决了高温加工装置长时间的使用,内部容易堆积灰尘的问题,有利于装置便捷的清理灰尘,从而方便装置高效的进行高温加热。

实施方案

[0025] 下面结合实施例对本实用新型做进一步详细说明:
[0026] 实施例1
[0027] 如图1‑6所示,本实用新型提供了一种单晶硅加工用高温加工装置,包括高温加工外壳1、加热板2和控制面板3,高温加工外壳1的内部活动安装有加热板2,加热板2一端的侧面固定安装有控制面板3,加热板2的另一端固定连接有推块21,推块21远离加热板2的一侧设置有伸缩板22,加热板2的顶部设置有固定环23,高温加工外壳1的内腔设置有加热管11,加热管11的侧面固定安装有防尘网12,固定环23的内部设置有固定块24,固定块24的侧面固定安装有伸缩柱25,固定环23的侧面设置有滑槽231,滑槽231的内部固定安装在伸缩柱25的一端。
[0028] 在本实施例中,通过伸缩板22伸缩移动,从而带动加热板2弹出高温加工外壳1,然后放置加工件,再由伸缩柱25伸缩移动带动固定块24移动固定加工件,达到固定放置的功能,方便把加热板2推到高温加工外壳1内部,然后配合加热管11进行加热,有利于增加装置的固定性能,从而方便装置便捷的拿取加工件。
[0029] 实施例2
[0030] 如图1‑6所示,在实施例1的基础上,本实用新型提供一种技术方案:优选的,固定块24的顶部固定安装有导热垫241,所述导热垫241的底部固定安装有气压垫242,气压垫242的底部固定安装有压柱243,压柱243的底部活动套接有压块244,压块244的底部设置有底板。
[0031] 在本实施例中,通过固定块24受力挤压加工件,使得导热垫241移动压缩气压垫242,利用气压垫242的柔软性,对作用力进行缓冲,然后再由气压垫242推动压柱243在压块
244的内部滑动,达到消耗作用力的功能,从而方便装置缓冲保护加工件,且配合导热垫241的导热快的特性,从而方便对挤压的接触面进行传递热量,从而达到均匀加热的效果。
[0032] 实施例3
[0033] 如图1‑6所示,在实施例1的基础上,本实用新型提供一种技术方案:优选的,防尘网12的表面设置有清理板13,清理板13的底部固定安装有清理块14,防尘网12的两侧开设有滑轨121,滑轨121的内部活动套接有连接块122,连接块122的侧面设置在清理板13的两端,清理块14的底部设置有粘连垫141,粘连垫141的底部固定安装有吸附块142。
[0034] 在本实施例中,通过防尘网12对灰尘进行过滤吸附,从而过滤一段时间后,由连接块122带动清理板13在滑轨121上移动,清理板13移动的同时带动清理块14在防尘网12上进行移动,然后配合粘连垫141的粘连性对防尘网12上的灰尘进行粘连,再由吸附块142的吸附性,对较大的灰尘颗粒进行吸附,从而增加防尘网12的续航能力,增加装置的防尘的效果,有利于装置高效的高温加热。
[0035] 下面具体说一下该单晶硅加工用高温加工装置的工作原理。
[0036] 如图1‑6所示,通过伸缩板22伸缩移动,从而带动加热板2弹出高温加工外壳1,然后放置加工件,再由伸缩柱25伸缩移动带动固定块24移动固定加工件,达到固定放置的功能,方便把加热板2推到高温加工外壳1内部,然后配合加热管11进行加热,再通过防尘网12对灰尘进行过滤吸附,从而过滤一段时间后,由连接块122带动清理板13在滑轨121上移动,清理板13移动的同时带动清理块14在防尘网12上进行移动,然后配合粘连垫141的粘连性对防尘网12上的灰尘进行粘连,再由吸附块142的吸附性,对较大的灰尘颗粒进行吸附,从而增加防尘网12的续航能力。
[0037] 上文一般性的对本实用新型做了详尽的描述,但在本实用新型基础上,可以对之做一些修改或改进,这对于技术领域的一般技术人员是显而易见的。因此,在不脱离本实用新型思想精神的修改或改进,均在本实用新型的保护范围之内。

附图说明

[0018] 图1为本实用新型的结构示意图;
[0019] 图2为本实用新型的固定环结构示意图;
[0020] 图3为本实用新型的固定块结构示意图;
[0021] 图4为本实用新型的高温加工外壳剖视结构示意图;
[0022] 图5为本实用新型的防尘网结构示意图;
[0023] 图6为本实用新型的清理块结构示意图。
[0024] 图中:1、高温加工外壳;11、加热管;12、防尘网;121、滑轨;122、连接块;13、清理板;14、清理块;141、粘连垫;142、吸附块;2、加热板;21、推块;22、伸缩板;23、固定环;231、滑槽;24、固定块;241、导热垫;242、气压垫;243、压柱;244、压块;25、伸缩柱;3、控制面板。
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