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一种制备T相铁酸铋薄膜的方法   0    0

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专利申请流程有哪些步骤?
专利申请流程图
申请
申请号:指国家知识产权局受理一件专利申请时给予该专利申请的一个标示号码。唯一性原则。
申请日:提出专利申请之日。
2016-01-21
申请公布
申请公布指发明专利申请经初步审查合格后,自申请日(或优先权日)起18个月期满时的公布或根据申请人的请求提前进行的公布。
申请公布号:专利申请过程中,在尚未取得专利授权之前,国家专利局《专利公报》公开专利时的编号。
申请公布日:申请公开的日期,即在专利公报上予以公开的日期。
2016-07-20
授权
授权指对发明专利申请经实质审查没有发现驳回理由,授予发明专利权;或对实用新型或外观设计专利申请经初步审查没有发现驳回理由,授予实用新型专利权或外观设计专利权。
2017-11-17
预估到期
发明专利权的期限为二十年,实用新型专利权期限为十年,外观设计专利权期限为十五年,均自申请日起计算。专利届满后法律终止保护。
2036-01-21
基本信息
有效性 有效专利 专利类型 发明专利
申请号 CN201610040335.5 申请日 2016-01-21
公开/公告号 CN105702762B 公开/公告日 2017-11-17
授权日 2017-11-17 预估到期日 2036-01-21
申请年 2016年 公开/公告年 2017年
缴费截止日
分类号 H01L31/032H01L31/0445H01L31/18 主分类号 H01L31/032
是否联合申请 独立申请 文献类型号 B
独权数量 1 从权数量 3
权利要求数量 4 非专利引证数量 0
引用专利数量 0 被引证专利数量 0
非专利引证
引用专利 被引证专利
专利权维持 4 专利申请国编码 CN
专利事件 转让 事务标签 公开、实质审查、授权、权利转移
申请人信息
申请人 第一申请人
专利权人 重庆科技学院 当前专利权人 嘉兴鼎尚信息科技有限公司
发明人 高荣礼、符春林、蔡苇、陈刚、邓小玲 第一发明人 高荣礼
地址 重庆市沙坪坝区虎溪大学城 邮编 401331
申请人数量 1 发明人数量 5
申请人所在省 重庆市 申请人所在市 重庆市沙坪坝区
代理人信息
代理机构
专利代理机构是经省专利管理局审核,国家知识产权局批准设立,可以接受委托人的委托,在委托权限范围内以委托人的名义办理专利申请或其他专利事务的服务机构。
重庆蕴博君晟知识产权代理事务所 代理人
专利代理师是代理他人进行专利申请和办理其他专利事务,取得一定资格的人。
王玉芝
摘要
本发明公开了一种制备T相铁酸铋薄膜的方法,采用溶胶‑凝胶法制备外延生长的T相铁酸铋薄膜,制得的铁酸铋薄膜没有杂相,方法简单,成本较低。而且在T相铁酸铋薄膜上用脉冲激光沉积法同时制备材料相同的中心电极和边缘电极,得到具有体光伏效应的铁酸铋薄膜器件。能够消除铁酸铋薄膜器件的光伏效应中退极化场的贡献、肖特基势垒的贡献以及畴壁的贡献,仅仅是本征的体光伏效应。
  • 摘要附图
    一种制备T相铁酸铋薄膜的方法
  • 说明书附图:图1
    一种制备T相铁酸铋薄膜的方法
  • 说明书附图:图2
    一种制备T相铁酸铋薄膜的方法
  • 说明书附图:图3
    一种制备T相铁酸铋薄膜的方法
  • 说明书附图:图4
    一种制备T相铁酸铋薄膜的方法
  • 说明书附图:图5
    一种制备T相铁酸铋薄膜的方法
法律状态
序号 法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
1 2021-01-01 专利权的转移 登记生效日: 2020.12.21 专利权人由重庆科技学院变更为嘉兴鼎尚信息科技有限公司 地址由401331 重庆市沙坪坝区虎溪大学城变更为314500 浙江省嘉兴市桐乡市崇福镇杭福路308号
2 2017-11-17 授权
3 2016-07-20 实质审查的生效 IPC(主分类): H01L 31/032 专利申请号: 201610040335.5 申请日: 2016.01.21
4 2016-06-22 公开
权利要求
权利要求书是申请文件最核心的部分,是申请人向国家申请保护他的发明创造及划定保护范围的文件。
1.一种制备T相铁酸铋薄膜的方法,其特征在于:包括以下步骤:
铁前驱液的配制:将冰醋酸加入到硝酸铁中,置于70-90℃恒温水浴锅中加热溶解,冷却到室温后转移入容量瓶中,再滴加乙二醇乙醚定容即得铁前驱液;
铋前驱液的配制:将冰醋酸和乙二醇乙醚作为混合溶剂加入到硝酸铋中,经溶解后转移到容量瓶中,滴入乙二醇乙醚定容即得铋前驱液;
将铁前驱液滴加到铋前驱液中,滴加后加入乙酰丙酮以调整溶胶粘度,混合均匀后经
24小时即得纯铁酸铋的溶胶;
将LaAlO3基片分别用酒精和丙酮在超声波中进行清洗,晾干;放置于匀胶机的吸片上;
用除湿机将匀胶机周围的空气湿度降低到20%-50%;
取铁酸铋溶胶,用滴管滴在LaAlO3基片,放置5-20秒,然后在匀胶机上匀胶;
匀胶机停止之后,将LaAlO3基片取下,用吹风机从基片的背面通过热风吹干,然后放入管式炉进行烧结;管式炉中氧气的压强保持在0.01-0.03M Pa,以每分钟2-5°的速度将温度升高到200-300°,保温10-30分钟,然后以相同的升温速度升到550-620°,保温1-3个小时;
之后自然降到室温;即制得T相铁酸铋薄膜。

2.根据权利要求1所述的一种制备T相铁酸铋薄膜的方法,其特征在于:在铁前驱液滴加到铋前驱液溶胶过程中,还可加入适量乙醇胺以控制溶胶的粘度。

3.根据权利要求1所述的一种制备T相铁酸铋薄膜的方法,其特征在于:所述LaAlO3基片尺寸为10×10×0.5mm的(001)取向的基片。

4.根据权利要求1所述的一种制备T相铁酸铋薄膜的方法,其特征在于:铁酸铋溶胶滴在LaAlO3基片在匀胶机上的匀胶过程包括,先在150-250转每分钟的速度下匀胶5-15秒,然后匀胶机转速提高到2500-4000转每分钟时匀胶10-30秒。
说明书

技术领域

[0001] 本发明属于铁电材料领域,具体涉及一种制备T相铁酸铋薄膜的方法。

背景技术

[0002] 铁电体材料由于具有反常的光伏效应(光伏电压不受晶体禁带宽度(Eg)的限制,3 5
甚至可比Eg高2~4个数量级,达10~10V/cm)而备受关注。
[0003] 半个世纪以前,人们在具有非中心对称的各种铁电材料中已经发现了铁电光伏效应,沿着极化的方向能产生稳定的光伏效应。一般认为,铁电材料的光伏效应起源于其自发极化,铁电光伏的显著特点之一就是当极化方向在电场作用下转变的时候,光生电流也随之发生转变,而且在铁电材料内部光生电流的方向始终与极化方向相反。铁电光伏效应与传统的pn结所不同的是:在传统的pn结中,光激发的电子空穴对被pn结中的内建场迅速分离,向相反的方向作漂移运动,最后到达电极,然后被电极收集起来。因此,理论上,pn结太阳能电池所产生的光生电压受到半导体带隙宽度的限制,一般不到1V。对于铁电光伏效应而言,实验上得到的光生电压正比于极化强度以及电极之间的距离,而不受带隙宽度的限制,可以达到104V。太阳能电池的光生电压越高,就意味着产生的电能越多,效率越高。
[0004] 虽然有关铁电光伏效应的研究已有几十年,但直到现在,也没有人能够确切指出这种材料光伏过程的原理,关于铁电材料反常光伏效应的起源也一直存在争议。一般来说,影响铁电材料光生电压的因素有多种,例如两个电极之间的距离、光的强度、材料的导电性、剩余极化强度、晶体取向、晶粒尺寸、氧空位、畴壁以及界面等。但从本质上来说,铁电光伏效应的机制主要有以下几种:
[0005] (1)体光伏效应
[0006] 这种机制认为,光生电压产生于铁电材料的内部,因此称为“体光伏效应”,铁电材料则作为“电流源”。光照下产生的稳定电流(光生电流:Js)与具有非中心对称铁电材料的性质有关。在具有非中心对称晶体中,电子从动量为k的状态向动量为k’状态所跃迁的概率与其从动量为k’的状态向动量为k状态跃迁的概率不同,导致了光生载流子的动量分布不对称,从而在光照下能形成稳定的电流。通过铁电材料总的电流密度(J)可以表示为:
[0007] J=Js+(σd+σph)E          (1)
[0008] 式中,σd和σph分别表示铁电材料在暗场及明场下的电导,即暗电导和光电导;E=V/d为光照下铁电材料内部的电场,取决于外加电压(V)和两电极之间的距离(d)。由于电极之间的距离通常都比较大,并且大多数铁电材料的暗电导和光电导都非常低,因此由铁电材料构成的太阳能光伏器件可以视为电流源。在铁电材料中,光照下的开路电压Voc可以表示为:
[0009]
[0010] 从上式可以看出,如果总的电导率(σd+σph)不明显依赖于光强度的话,开路电压Voc随短路光电流密度Jsc线性增加,表明开路电压正比于短路光电流Ioc(因为短路光电流Ioc等于短路光电流密度Js乘以电流流通的面积),开路电压与短路光电流的比值就等于样品的厚度。也就是说,如果将由铁电材料构成的太阳能光伏器件可以视为电流源的话,光电流就是恒定不变的,那么短路光电压的值就正比于材料的厚度。
[0011] (2)畴壁理论
[0012] Yang等人在研究铁酸铋(铁酸铋,简写BFO)薄膜光伏效应时发现,BFO中光生电压随着极化方向上畴壁数量的增加线性增加,垂直于极化方向上则没有观察到明显的光伏效应。畴壁理论认为,由于极化强度在垂直于畴壁处会产生一个分量,其在畴壁处产生的电势6
为~10mV,畴壁宽度约为2nm,因此极化在畴壁处产生的电场高达5×10 V/m,此值远大于pn结中的内电场,被认为铁电材料产生反常光伏效应的起源,也是分离光生载流子的主要驱动力。由于铁电材料中有很多电畴,被极化之后畴与畴之间首尾相连,而畴壁就像串联起来的纳米级光伏发电机,光生电压沿着极化方向逐渐累加起来。这一机制与串联的太阳能电池的概念类似,其输出电压为每一个单元之和。如果两个电极之间的距离越大,则电畴就越多,光照下两电极之间产生的光生电压也就越高,这一模型可以很好的解释反常光伏效应。
此外,由于光照下产生连续的光电流,在一些文献中则把畴壁当成电流源,总的开路电压(光生电压)Voc由光照下铁电材料的电流密度、电导率和电极之间的距离Jsc决定。与体光伏效应不同的是,畴壁理论将反常光伏效应归因于畴壁处载流子的激发,认为在畴壁外光激发的载流子复合速度很快,可以将体光伏效应忽略。
[0013] 虽然用畴壁理论可以很好的说明反常光伏效应,即光生电压可以远大于禁带宽度,然而,有一些实验现象仅仅用磁畴壁理论是根本无法解释的,必须考虑到体光伏效应理论。例如,根据畴壁模型,由于在畴壁处电势的降落是极化电荷引起的,因此光电流不依赖于光的偏振方向。然而,研究者们在BFO等铁电材料中观察到光电流随着入射光偏振方向的变化而变化的现象,表明铁电材料反常光伏效应的起源比大家预想的更加复杂。在铁电光伏效应中,由于电畴和体效应对光生电流皆有贡献,因此,如果两者相长,则光生电流较大,反之,光生电流比较小,这可以解释为什么在yang等人的实验中平行于畴壁方向没有观察到光电流。
[0014] (3)肖特基结效应
[0015] 当铁电材料与电极接触形成肖特基势垒时,界面处能带将会弯曲,光照下产生的电子空穴对将被电极附近局部电场驱动,产生的光电流很大程度是由肖特基势垒和耗尽层的的深度决定。根据这一模型,在肖特基势垒内部所产生光生电压的大小依然局限于铁电材料的带隙,在研究铁电光伏效应的早期阶段肖特基效应所引起的电压常被忽略,是因为它远远低于大部分铁电晶体中的反常光生电压。但肖特基效应在铁电薄膜光伏器件中变得越来越重要,因为这些器件中的光伏电压输出通常比较小。一般来说,由相同电极与铁电材料构成的具有三明治结构的铁电光伏器件中,肖特基势垒产生光电流的贡献是不存在的,因为由上下两个相同的电极与铁电材料所构成的两个肖特基结是背靠背的,相互遏制,因此所产生的光生电压和电流相抵消。然而,若采用不同类型的电极,可以实现具有垂直结构的铁电光伏器件中光伏效应的增强。由于肖特基结效应与铁电材料的极化方向无关,根据这一特点就可以区分肖特基结和体光伏效应对光电流的贡献。然而一些研究者认为,肖特基势垒的高度可以通过对铁电材料施加电场改变其极化方向来进行调控。并且,当肖特基势垒和铁电材料的极化方向发生转变的时候,光生电压的符号也随之发生转变。例如,由Au/BFO/Au构成的具有垂直结构的铁电二极管中,光生电流及光生电压都随着极化方向的转变而转变。最初将BFO薄膜体光伏效应认为是产生这一现象的主要原因,但随后的研究表明,BFO薄膜在极化过程中的肖特基势垒的改变主要是由于氧空位的迁移造成的,而当氧空位迁移在低温下被冻结时,光伏效应随着极化方向的转变不再发生转变。
[0016] (4)退极化场效应
[0017] 对于处于极化状态的铁电薄膜而言,薄膜表面具有高浓度的极化电荷,如果不考虑屏蔽效应,这些高密度的极化电荷将会在铁电层内产生一个巨大的电场。以BFO薄膜为2 10
例,其剩余极化强度约为100μC/㎝ ,未被屏蔽的极化电荷所产生的电场可达3×10 V/m。当铁电薄膜与金属或半导体接触时,剩余极化引起的表面电荷将会被金属或半导体中的自由电荷部分屏蔽。通常,表面电荷之所以不完全被屏蔽因为极化电荷和自由补偿电荷重心不重合,在整个铁电薄膜内部就产生电场,即退极化场。退极化场可能很大,例如对于厚度为
10到30nm的BTO薄膜而言,由BTO与SrRuO3电极构成的三明治结构中的退极化场约为45×
106V/m。如此高的退极化场被认为是分离光生载流子的主要驱动力,同时也表明反常光伏效应与极化电荷的屏蔽程度密切相关。屏蔽电荷的分布取决于铁电材料和金属(或半导体)的性质,例如剩余极化强度、自由电荷密度及介电常数等。另一方面未被屏蔽的极化电荷对退极化场的影响主要取决于铁电层的厚度:厚度小的铁电层结果退极化场大。一般来说,半导体与铁电材料接触产生的退极化场比金属与铁电材料接触所产生的退极化场大,这是由于半导体材料具有较小的自由电荷密度和较大的介电常数,从而产生较弱的屏蔽效应。
[0018] 总的来说,影响铁电薄膜光伏效应的机制有多种,体效应、退极化场、电畴、界面势垒等因素对光伏效应的影响同事存在,而且相互之间存在一定的联系。因此,如何区分每种机制对铁电光伏效应的贡献、弄清在铁电材料中哪一种机制对光伏效应占主导地位具有重要的意义。
[0019] 在众多的铁电材料中,铁酸铋(BFO)由于具有较大的极化强度、相对较小的光学带隙而备受关注。由于BFO薄膜和衬底之间存在晶格失配,因此BFO薄膜将受到应力作用。当应力比较小的时候,BFO属于菱形结构(rhombohedral Structure,即R相)。如果R相的BFO薄膜受到的面内压应力继续增大,则其晶格常数及结构将会变得不同,从而影响其物理性质。c方向的晶格常数随着应力的增加而增加,当应力达到一定程度时,R相转变为扭曲了的四方晶体结构(tetragonal  structure,即T相)。面内及面外的晶格常数分别为c/a=1.26,属于P4mm点群。
[0020] 对于R相BFO而言,其极化方向沿着对角线。因此,在研究BFO光伏效应的时候,由于极化方向(退极化场的反方向)在面内(平行于表面)及面外(垂直于表面)存在分量,因此对光伏效应就有一个贡献。这样就很难得到体光伏效应的本正值,因为所测量的体光伏效应中就包含了退极化场的贡献。此外,如果BFO两面(上下电极或者左右电极)的电极不对称的话,所得到的光伏效应除了体光伏效应之外,还包括界面势垒的贡献。与R相不同的是,T相BFO的极化方向垂直于其表面。
[0021] T相BFO的极化方向垂直于其表面。因此,我们设想,首先制备出T相的BFO薄膜,然后在表面上镀上相同的电极,这样所得到的光伏效应中就不包含退极化场的贡献(因为表面两个电极之间的连接线与退极化场垂直),也可以将肖特基势垒(界面势垒)的贡献扣除(因为表面是相同的电极)。又由于极化方向始终垂直于表面,因此对于T相BFO而言,只有180度畴壁,畴壁与表面也是垂直的。所以,测量的光伏效应自然也不含畴壁的贡献,仅仅是本征的体光伏效应。

发明内容

[0022] 为了测量铁酸铋薄膜本征的光伏效应,本发明提供了一种制备T相铁酸铋薄膜的方法,采用溶胶-凝胶法制备外延生长的T相铁酸铋薄膜,制得的铁酸铋薄膜没有杂相,该制备方法简单,成本较低。
[0023] 本发明通过以下技术方案实现:
[0024] 一种制备T相铁酸铋薄膜的方法,包括以下步骤:
[0025] 铁前驱液的配制:将适量的冰醋酸加入到硝酸铁中,置于70-90℃恒温水浴锅中加热溶解,冷却到室温后转移入容量瓶中,再滴加乙二醇乙醚定容即得铁前驱液;
[0026] 铋前驱液的配制:将冰醋酸和乙二醇乙醚作为混合溶剂加入到硝酸铋中,经溶解后转移到容量瓶中,滴入乙二醇乙醚定容即得铋前驱液;
[0027] 将铁前驱液滴加到铋前驱液中,滴加后加入乙酰丙酮以调整溶胶粘度,混合均匀后经24小时即得纯铁酸铋的溶胶;
[0028] 将LaAlO3基片分别用酒精和丙酮在超声波中进行清洗,晾干;放置于匀胶机的吸片上;用除湿机将匀胶机周围的空气湿度降低到20%-50%;
[0029] 取铁酸铋溶胶,用滴管滴在LaAlO3基片,放置5-20秒,然后在匀胶机上匀胶;
[0030] 匀胶机停止之后,将LaAlO3基片取下,用吹风机从基片的背面通过热风吹干,然后放入管式炉进行烧结;管式炉中氧气的压强保持在0.01-0.03M Pa,以每分钟2-5°的速度将温度升高到200-300°,保温10-30分钟,然后以相同的升温速度升到550-620°,保温1-3个小时;之后自然降到室温;即制得T相铁酸铋薄膜。
[0031] 进一步,在铁前驱液滴加到铋前驱液溶胶过程中,还可加入适量乙醇胺以控制溶胶的粘度,粘度太大之后得到的薄膜均匀性不好,而且比较厚,烧结之后不均匀,不平整。
[0032] 进一步,所述LaAlO3基片尺寸为10×10×0.5mm的(001)取向的基片。
[0033] 进一步,铁酸铋溶胶滴在LaAlO3基片在匀胶机上的匀胶过程包括,先在150-250转每分钟的速度下匀胶5-15秒,然后匀胶机转速提高到2500-4000转每分钟时匀胶10-30秒。
[0034] 本发明的有益效果:
[0035] 本发明的一种制备T相铁酸铋薄膜的方法,首次利用溶胶-凝胶法制备外延生长的T相铁酸铋薄膜,这种制备方法简单、成本低,材料的化学成分容易控制。制得的铁酸铋薄膜没有杂相产生,在T相铁酸铋薄膜上用脉冲激光沉积法制备中心电极和边缘电极即制得具有体光伏效应的铁酸铋薄膜器件,有利于测试铁电薄膜的本征体光伏效应。对于如何区分不同机制对铁电光伏效应的贡献、弄清在铁电材料中哪一种机制对光伏效应占主导地位具有重要的意义。

实施方案

[0043] 下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明。
[0044] 一种制备T相铁酸铋薄膜的方法,包括以下步骤:
[0045] 铁前驱液的配制:将适量的冰醋酸加入到硝酸铁中,置于70-90℃恒温水浴锅中加热溶解,优选80℃,冷却到室温(一般23度)后转移入容量瓶中,采用滴定管滴加乙二醇乙醚定容即得铁前驱液。
[0046] 铋前驱液的配制:将冰醋酸和乙二醇乙醚作为混合溶剂加入到硝酸铋中,经溶解后转移到容量瓶中,采用滴定管滴入乙二醇乙醚定容即得铋前驱液;
[0047] 将铁前驱液滴加到铋前驱液中,滴加后加入乙酰丙酮以调整溶胶粘度,混合均匀后经24小时即得纯铁酸铋的溶胶。
[0048] 将LaAlO3基片分别用酒精和丙酮在超声波中进行清洗,晾干,放置于匀胶机的吸片上,用除湿机将匀胶机周围的空气湿度降低到20%-50%,优选45%。
[0049] 取铁酸铋溶胶,用滴管用滴管滴一滴在尺寸为10×10×0.5mm的(001)取向的LaAlO3基片,放置5-20秒,优选10秒,然后在匀胶机上匀胶:先在150-250转每分钟的速度下匀胶5-15秒,然后匀胶机转速提高到2500-4000转每分钟时匀胶10-30秒;优选先在200转每分钟的速度下匀胶8秒,然后匀胶机转速提高到3200转每分钟时匀胶20秒。
[0050] 匀胶机停止之后,将LaAlO3基片取下,用吹风机从基片的背面通过热风吹干,然后放入管式炉进行烧结;管式炉中氧气的压强保持在0.01-0.03M Pa,以每分钟2-5°的速度将温度升高到200-300°,保温10-30分钟,然后以相同的升温速度升到550-620°,保温1-3个小时。优选管式炉中氧气的压强保持在0.01M Pa,以每分钟3°的速度将温度升高到250°,保温20分钟,然后以相同的升温速度升到580°,保温2个小时之后自然降到室温;即制得T相铁酸铋薄膜。
[0051] 优化的,在铁前驱液滴加到铋前驱液溶胶过程中,还可加入适量乙醇胺以控制溶胶的粘度,粘度太大之后得到的薄膜均匀性不好,而且比较厚,烧结之后不均匀,不平整。
[0052] 对制得的T相铁酸铋薄膜进行XRD衍射,如图1所示,从图1中可知制备的铁酸铋薄膜为T相,是外延生长,只有(00L)L可以取1,2,3...衍射峰,而且没有其它杂相产生。
[0053] 利用脉冲激光沉积法在制得的T相铁酸铋薄膜沉积如图4所示的Ag电极,制得如图2和图3所示的具有体光伏效应的铁酸铋薄膜器件,包括从下至上依次为垫层1、铁电薄膜2和电极,电极包括中心电极3和阵列在中心电极3周围的边缘电极4,沉积电极过程如下:
[0054] 首先用砂纸将基片台进行打磨,并清洗干净。然后将制备好T相铁酸铋薄膜的(001)取向的LAO基片用导热银胶粘在基片台上,然后用图2所示形状的掩膜板挡住基片的-4中心,只留出边上部分。晾干后放入腔体中加热台上,开始抽真空。待气压抽到10 Pa以下时,用挡板将基片挡住。设定激光的能量和频率参数,进行预溅射以去掉Ag靶材(也可以选择其他导电薄膜,Au、Cu、Pt、ITO等)表面的污物,使靶材露出新鲜的表面,预溅射时间一般为2~5分钟;预溅射过程中,调整激光光路、靶距等参数,以使羽辉末端与基片台相切。转动基片台及靶材,并使激光在X、Y方向来回扫描;之后,移开挡板,进行沉积。根据所需的薄膜厚度选择合适的沉积时间。沉积完之后就制得具有体光伏效应的铁酸铋薄膜器件。
[0055] 对制得具有体光伏效应的铁酸铋薄膜器件进行光伏效应的测试:所用的激光波长为408nm,功率为50mW的线偏振光。测量用的仪器为数字源表keithley2611。测得结果如图5所示,图5为不同角度(即a-b1(与水平方向呈0°)、a-b2(45°)、...b-b8(315°))的时候,中心电极与对应边缘电极之间短路光电流的大小。可以看到,在不改变入射光的情况下,所得到的短路光电流与角度具有一定的依赖关系(相当于不改变角度,而改变入射光的偏振方向)。由于该铁酸铋薄膜器件中极化方向和畴壁垂直于铁酸铋薄膜表面,铁酸铋薄膜表面的电极为同一种电极,因此实验结果直接证明了是由体光伏效应所产生的光电流。

附图说明

[0036] 图1是实施例中制得的T相铁酸铋薄膜的XRD衍射图谱;
[0037] 图2是实施例中利用制得的T铁酸铋薄膜制得的薄膜膜器件的结构示意图;
[0038] 图3是实施例中制备图2中的薄膜器件沉积电极时使用的掩膜板;
[0039] 图4是测量铁酸铋薄膜器件的光伏效应对电极的编号;
[0040] 图5是中心电极与不同边缘电极之间短路光电流值的趋势图。
[0041] 附图标记
[0042] 1-衬底;2-铁酸铋薄膜;3-中心电极;4-边缘电极。
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