[0029] 下面结合具体实施例对本发明作进一步说明。
[0030] 本发明中所有的原料均可市购,以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案,因此只作为个例,而不能以此来限制本发明的保护范围。
[0031] 实施例1
[0032] 一种柔性基复合衬底,所述的复合衬底包括一层由聚二甲基硅氧烷构成的柔性有机聚合物层1,其厚度为10μm,以及与之粘结并且固化成为一个整体的硅单晶薄片2,其厚度为0.5μm。
[0033] 一种如上所述柔性基复合衬底的制备方法,所述的制备方法包括以下步骤:
[0034] (S.1)旋涂:将固含量为90%的聚二甲基硅氧烷甲苯溶液与道康宁Sylgard184固化剂按照质量比10:1混合后旋涂于玻璃基片,形成柔性薄膜;
[0035] (S.2)半固化:将柔性薄膜在50℃下,固化30min至半固化状态;
[0036] (S.3)复合固化:将单晶薄片转移至半固化状态的柔性薄膜表面,继续固化30min至完全固化,将其从玻璃基底剥离,得到柔性基复合衬底。
[0037] 将实施例1中制备得到的柔性基复合衬底进行延展性测试,测得其断裂伸长率为480%,表明其具有良好的韧性以及延展性。
[0038] 实施例2
[0039] 一种柔性基复合衬底,所述的复合衬底包括一层由聚对苯二甲酸乙二醇酯构成的柔性有机聚合物层(1),其厚度为25μm,以及与之粘结并且固化成为一个整体的氧化镁单晶薄片2,其厚度为10μm。
[0040] 一种如上所述柔性基复合衬底的制备方法,所述的制备方法包括以下步骤:
[0041] (S.1)旋涂:将固含量为50%的聚对苯二甲酸乙二醇酯四氢呋喃溶液与聚异氰酸酯固化剂按照质量比20:1混合后旋涂于玻璃基片,形成柔性薄膜;
[0042] (S.2)半固化:将柔性薄膜在120℃下,固化2min至半固化状态;
[0043] (S.3)复合固化:将单晶薄片转移至半固化状态的柔性薄膜表面,继续固化3min至完全固化,将其从玻璃基底剥离,得到柔性基复合衬底。
[0044] 将实施例2中制备得到的柔性基复合衬底进行延展性测试,测得其断裂伸长率为120%,表明其具有良好的韧性以及延展性。
[0045] 施例3
[0046] 一种柔性基复合衬底,所述的复合衬底包括一层由聚苯乙烯构成的柔性有机聚合物层1,其厚度为50μm以及与之粘结并且固化成为一个整体的云母单晶薄片2,其厚度为20μm。
[0047] 一种如上所述柔性基复合衬底的制备方法,所述的制备方法包括以下步骤:
[0048] (S.1)旋涂:将固含量为80%的聚苯乙烯溶液旋涂于玻璃基片,形成柔性薄膜;
[0049] (S.2)半固化:将柔性薄膜在150℃下,固化10min至半固化状态;
[0050] (S.3)复合固化:将单晶薄片转移至半固化状态的柔性薄膜表面,继续固化20min至完全固化,将其从玻璃基底剥离,得到柔性基复合衬底。
[0051] 将实施例3中制备得到的柔性基复合衬底进行延展性测试,测得其断裂伸长率为350%,表明其具有良好的韧性以及延展性。
[0052] 实施例4
[0053] 一种柔性基复合衬底,所述的复合衬底包括一层由聚四氟乙烯构成的柔性有机聚合物层1,其厚度为100μm以及与之粘结并且固化成为一个整体的PZT单晶薄片2,其厚度为30μm。
[0054] 一种如上所述柔性基复合衬底的制备方法,所述的制备方法包括以下步骤:
[0055] (S.1)旋涂:将固含量为70%的聚四氟乙烯乳液与聚异氰酸酯固化剂按照质量比20:1混合后旋涂于玻璃基片,形成柔性薄膜;
[0056] (S.2)半固化:将柔性薄膜在300℃下,固化20min至半固化状态;
[0057] (S.3)复合固化:将单晶薄片转移至半固化状态的柔性薄膜表面,继续固化30min至完全固化,将其从玻璃基底剥离,得到柔性基复合衬底。
[0058] 将实施例4中制备得到的柔性基复合衬底进行延展性测试,测得其断裂伸长率为280%,表明其具有良好的韧性以及延展性。
[0059] 实施例5
[0060] 一种柔性基复合衬底,所述的复合衬底包括一层由聚丙烯酸酯构成的柔性有机聚合物层1,其厚度为200μm,以及与之粘结并且固化成为一个整体的PMN-PT单晶薄片2,其厚度为40μm。
[0061] 一种如上所述柔性基复合衬底的制备方法,所述的制备方法包括以下步骤:
[0062] (S.1)旋涂:将固含量为60%的聚丙烯酸酯溶液旋涂于玻璃基片,形成柔性薄膜;
[0063] (S.2)半固化:将柔性薄膜在95℃下,固化15min至半固化状态;
[0064] (S.3)复合固化:将单晶薄片转移至半固化状态的柔性薄膜表面,继续固化15min至完全固化,将其从玻璃基底剥离,得到柔性基复合衬底。
[0065] 将实施例5中制备得到的柔性基复合衬底进行延展性测试,测得其断裂伸长率为40%,表明其具有良好的韧性以及延展性。
[0066] 实施例6
[0067] 一种柔性基复合衬底,所述的复合衬底包括一层由聚二甲基硅氧烷构成的柔性有机聚合物层(1),其厚度为500μm以及与之粘结并且固化成为一个整体的BTO单晶薄片2,其厚度为50μm。
[0068] 一种如上所述柔性基复合衬底的制备方法,所述的制备方法包括以下步骤:
[0069] (S.1)旋涂:将固含量为50%的聚二甲基硅氧烷溶液与二月桂酸二丁按照质量比100:1.5混合后旋涂于玻璃基片,形成柔性薄膜;
[0070] (S.2)半固化:将柔性薄膜在120℃下,固化15min至半固化状态;
[0071] (S.3)复合固化:将单晶薄片转移至半固化状态的柔性薄膜表面,继续固化20min至完全固化,将其从玻璃基底剥离,得到柔性基复合衬底。
[0072] 将实施例6中制备得到的柔性基复合衬底进行延展性测试,测得其断裂伸长率为450%,表明其具有良好的韧性以及延展性。