[0020] 下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0021] 在本发明的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
[0022] 参照图1‑2,一种用于微电子材料半导体原料回收加工设备,包括箱体1和设置在箱体1内部的熔融箱12,熔融箱12固定连接在箱体1下端部的内壁上,箱体1的上端设置有进料口2,箱体1的下端均设有支腿15,熔融箱12的内壁上固定安装有电加热板14,熔融箱12下端开设有与箱体1外部连通的出料嘴13,箱体1内壁上端部均布有多个破碎辊3,多个破碎辊
3均转动连接在箱体1相对内壁间,多个破碎辊3位于同一水平高度,箱体1两侧壁上端部均
开设有弧形槽4,弧形槽4内安装有用于驱动多个破碎辊3转动的驱动机构。
[0023] 驱动机构包括固定连接在弧形槽4内壁且具有铁磁性的导热板5,弧形槽4内转动连接有转轴6,转轴6侧壁上通过多根连杆沿其周向等间距固定连接有电磁片8,电磁片8上
固定连接有温控开关7,温控开关7控制与其相邻的电磁片8电流的通断,两个转轴6均通过
皮带轮与其相邻的破碎辊3传动连接,且每两个相邻的破碎辊3均通过齿轮啮合传动。
[0024] 需要说明的是,每个电磁片8的磁感线方向沿转轴6的径向设置,各温控开关7和与它相邻的电磁片8耦合并且可以控制该电磁片8电流的通断,其中位于左侧的驱动机构中的
温控开关7控制与其逆时针相邻的电磁片电流通断,位于右侧的驱动机构中的温控开关7控
制与其顺时针相邻的电磁片电流通断。
[0025] 进一步地,导热板5设置在弧形槽4内壁上最靠近电加热板14的位置,以最大程度利用电加热板14所产生的温度,缩短温控开关7到控制周期,加快转轴6的转速,从而加快破碎辊3的转速,最终加快原料破碎速度。
[0026] 更进一步地,为了保证在实际生产中破碎辊3有足够的破碎力将半导体原料破碎,上述驱动机构设置有多组,且每组的转轴6均同轴固定连接,则在生产中,每组的转轴6均在该组的导热板5、电磁片8和温控开关7的作用下被驱动转动,多组转动力合成在一起驱动破碎辊3转动,使各个破碎辊3之间产生足够的力将半导体原料破碎。
[0027] 箱体1相对侧壁内的下端部均开设有滑腔9,箱体1内壁上靠近熔融箱12侧壁的位置处开设有与滑腔9下端部连通的进气口10,进气口10设置在贴近熔融箱12的侧壁位置处,可以充分地利用熔融箱12中熔融半导体原料所产生的热空气对原料进行烘干,从而无需设
置热风机来对原料进行单独的烘干工序,弧形槽4内壁中开设有与滑腔9上端部连通的导气
腔11,导气腔11与滑腔9连通处安装有仅允许空气从下往上流动的第一单向阀16,箱体1内
壁上位于破碎辊3上方处开设有与导气腔11连通的喷气口20,喷气口20是水平设置的,将热空气水平喷射在原料上,既可以对原料进行烘干,还可以对原料吹散摊开,滑腔9内安装有用于将熔融箱12附近处的热空气泵至导气腔11内的泵气机构。
[0028] 导气腔11设置在弧形槽4的内壁中,可以使泵气机构泵出的热空气对设置在弧形槽4内壁上的导热板5形成更好的导热效果,使导热板5产生更高的温度,从而进一步缩短温控开关7的控制周期,使转轴6的转速加快,加快原料破碎速度。
[0029] 泵气机构包括密封滑动连接在滑腔9内的铁质滑塞17,滑塞17通过弹簧19弹性连接在滑腔9的内底部,滑塞17上安装有仅允许空气从下往上流动的第二单向阀18。
[0030] 当位于弧形槽4外部的电磁片8被位于贴近导热板5处的温控开关7导通,该电磁片8会被导热板5吸引并转动至导热板5处,在电磁片8转动过程中,电磁片8会先靠近滑塞17再远离滑塞17,当电磁片8靠近滑塞17时,电磁片8对滑塞17的吸引力增大,从而克服弹簧19弹力将滑塞17向上拉动,当电磁片8远离滑塞17时,电磁片8对滑塞17的吸引力减小,在弹簧19弹力作用下,滑塞17向下复位并且箱体1采用非磁屏蔽且耐高温的材料制成,不会阻碍电磁片8对滑塞17的吸附作用。
[0031] 本发明中,启动电加热板14,通过进料口2向箱体1内加入清洗过后的半导体原料,电加热板14使箱体1内温度升高,贴近导热板5的温控开关7的温度上升到临界值,将与其相邻的电磁片8导通,使其被导热板5吸附,并转动至贴近导热板5的位置处,而到达临界值的温控开关7所在的电磁片8则转动至弧形槽4的外部,温度快速下降,被吸附至导热板5处的电磁片8上的温控开关7再次到达温度临界值,导通下一个电磁片8,使下一个电磁片8被导
热板5吸附转动,周而复始,使转轴6不断旋转,进而驱动多个破碎辊3转动,对进入的原料进行破碎。
[0032] 在每个电磁片8转动的过程中,电磁片8均会与弹簧19配合,推动滑塞17在滑腔9内做一次往复运动,随着各个电磁片8不断地转动,滑塞17则不停地上下往复运动,从而将熔融箱12附近的热空气泵入导气腔11内,并从喷气口20处喷出,不仅可以对落在破碎辊3上的半导体原料进行加热烘干,还可以将半导体原料吹散摊开,使其均匀地分布在各个破碎辊3上,防止原料堆积在同一处,提升设备的整体破碎效率。
[0033] 破碎后的原料落入熔融箱12内,在电加热板14的作用下被加热成熔融状态,从出料嘴13中排出,方便后续重铸工作。
[0034] 上述回收再利用设备,在对半导体原料加工时,当电加热板14温度较高时,破碎后的原料就会较快地被加热成熔融状从出料嘴13排出,同时导热板5受热较快,温控开关7的控制周期缩短,故转轴6转动的速度较快,破碎辊3的破碎速度较快;当电加热板14温度较低时,破碎后的原料就会较慢地被加热成熔融状从出料嘴13排出,同时导热板5受热较慢,温控开关7控制周期较长,故转轴6转动速度较慢,破碎辊3的破碎速度较慢,可见,该驱动机构能够根据出料速度的快慢自动调节原料破碎的速度。
[0035] 以上所述,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本发明的保护范围之内。