一种半导体检测用光学显微镜   0    0

本实用新型提供一种半导体检测用光学显微镜，包括底座结构；所述底座结构的前端处安装有调节结构，且调节结构上设置有平衡结构；所述平衡结构上设有观测台结构；所述底座结构上处安装有防护结构；所述底座结构包括立柱，所述固定座中间位置设置有立柱，且立柱横截面为矩形形状，调节台直接套接在垂直的立柱上，调节台末端处套接有电子显微镜，被检测的半导体属于较为精密的工件，在将工件夹紧时，所接触端不能够对工件造成损伤，从而将夹具处安装的压块设为橡胶接触面，实现保护工件的目的，同时夹具与压块之间为相互卡接且能够任意拆卸，使得夹具能够根据不同的情况安装不同形状的压块。

1.一种半导体检测用光学显微镜，其特征在于：包括底座结构（1）；所述底座结构（1）的前端处安装有调节结构（2），且调节结构（2）上设置有平衡结构（3）；所述平衡结构（3）上设有观测台结构（5）；所述底座结构（1）上处安装有防护结构（4）；所述底座结构（1）包括立柱（101），固定座（102），调节台（103），所述固定座（102）中间位置设置有立柱（101），且立柱（101）横截面为矩形形状，调节台（103）直接套接在垂直的立柱（101）上，调节台（103）末端处套接有电子显微镜。

2.如权利要求1所述半导体检测用光学显微镜，其特征在于：所述调节结构（2）包括连接板（201），丝杆（202），螺母块（203），所述连接板（201）直接设置在固定座（102）的前端处，且固定座（102）与连接板（201）接触位置转动安装有丝杆（202），丝杆（202）的两端均设置有旋钮，连接板（201）与固定座（102）接触位置的中间处设置有螺母块（203），螺母块（203）套接在丝杆（202）上。

3.如权利要求1所述半导体检测用光学显微镜，其特征在于：所述平衡结构（3）包括安装头（301），支撑柱（302），连接套（303），主支柱（304），所述主支柱（304）安装在连接板（201）的中间，且连接板（201）与主支柱（304）之间为焊接固定，主支柱（304）顶部固定在连接套（303）内，主支柱（304）的外侧设置有四处安装头（301），且每处安装头（301）上均铰接安装有支撑柱（302），支撑柱（302）采用伸缩结构，且每处支撑柱（302）的顶端均安装在连接套（303）内，连接套（303）套接处为球形形状。

4.如权利要求1所述半导体检测用光学显微镜，其特征在于：所述防护结构（4）包括外罩（401），灯块（402），所述外罩（401）直接安装在物镜处外部，外罩（401）整体成半圆球形状，且外罩（401）的内部设置有灯块（402）。

5.如权利要求1所述半导体检测用光学显微镜，其特征在于：所述防护结构（4）还包括有海绵垫（403），所述海绵垫（403）设置在外罩（401）的末端处，且外罩（401）的内部涂抹有反光涂层。

6.如权利要求1所述半导体检测用光学显微镜，其特征在于：所述观测台结构（5）包括观测板（501），透光板（502），灯板（50201），所述观测板（501）的中间位置开设有一处矩形槽，且矩形槽设为双层结构，内层矩形槽安装有灯板（50201），紧贴灯板（50201）的外层矩形槽上铺设有一面透光板（502）。

7.如权利要求1所述半导体检测用光学显微镜，其特征在于：所述观测台结构（5）还包括有滑动杆（503），滑动板（504），安装板（505），辅助板（506），压板（50601），所述滑动杆（503）设置在观测板（501）的前后两端，且滑动板（504）滑动安装在滑动杆（503）上，滑动板（504）上通过螺柱固定有安装板（505），且安装板（505）内套接安装有辅助板（506），辅助板（506）呈L形状，辅助板（506）外侧的末端安装带有弹簧的压板（50601）。

8.如权利要求1所述半导体检测用光学显微镜，其特征在于：所述观测台结构（5）还包括有夹具（507），压块（50701），所述夹具（507）铰接安装在安装板（505）上，且夹具（507）铰接处外侧设有三组弹簧，夹具（507）向内部延伸处卡接固定有压块（50701），且压块（50701）的下端面接触位置设置为橡胶板。