[0009] 以下实施案例用以说明本发明,但不用于限制本发明。
[0010] 实施例1
[0011] 一种利用低温化学气相沉积法制备非晶碳薄膜的方法,该方法包括以下步骤:
[0012] (1)清洗单晶硅片;
[0013] (2)将清洗好的单晶硅片放入充有高纯氧气的石英退火炉内进行热氧化处理,使其表面形成一层氧化硅薄膜。单晶硅片进行热氧化处理的方式是:升温前,将清洗好的单晶硅片放入石英管退火炉内的同时向石英管退火炉内通入高纯氧气并保持15分钟,接着将石英管退火炉缓慢加热至600℃保持35分钟,之后,断开加热电源,取出单晶硅片,此时单晶硅表面便形成一层氧化硅薄膜;
[0014] (3)以甲烷为反应气体采用等离子体增强化学气相沉积法在热氧化处理后的单晶硅片上沉积非晶碳薄膜。制备工艺参数为:射频功率100W,射频频率13.56MHz,基片温度200℃,腔体压强100Pa,纯度为(体积百分比)99.999%的CH4气体10sccm,镀膜时间30分钟。
[0015] 经过以上步骤非晶碳薄膜材料便通过一种低温化学气相沉积法成功制备,其电阻率小于6.0×10-3Ω·cm。
[0016] 实施例2
[0017] 一种利用低温化学气相沉积法制备非晶碳薄膜的方法,该方法包括以下步骤:
[0018] (1)清洗单晶硅片;
[0019] (2)将清洗好的单晶硅片放入充有高纯氧气的石英退火炉内进行热氧化处理,使其表面形成一层氧化硅薄膜。单晶硅片进行热氧化处理的方式是:升温前,将清洗好的单晶硅片放入石英管退火炉内的同时向石英管退火炉内通入高纯氧气并保持17分钟,接着将石英管退火炉缓慢加热至750℃保持30分钟,之后,断开加热电源,取出单晶硅片,此时单晶硅表面便形成一层氧化硅薄膜;
[0020] (3)以甲烷为反应气体采用等离子体增强化学气相沉积法在热氧化处理后的单晶硅片上沉积非晶碳薄膜。制备工艺参数为:射频功率120W,射频频率13.56MHz,基片温度220℃,腔体压强120Pa,纯度为(体积百分比)99.999%的CH4气体15sccm,镀膜时间45分钟。
[0021] 经过以上步骤非晶碳薄膜材料便通过一种低温化学气相沉积法成功制备,其电阻率小于7.0×10-3Ω·cm。
[0022] 实施例3
[0023] 一种利用低温化学气相沉积法制备非晶碳薄膜的方法,该方法包括以下步骤:
[0024] (1)清洗单晶硅片;
[0025] (2)将清洗好的单晶硅片放入充有高纯氧气的石英退火炉内进行热氧化处理,使其表面形成一层氧化硅薄膜。单晶硅片进行热氧化处理的方式是:升温前,将清洗好的单晶硅片放入石英管退火炉内的同时向石英管退火炉内通入高纯氧气并保持20分钟,接着将石英管退火炉缓慢加热至850℃保持25分钟,之后,断开加热电源,取出单晶硅片,此时单晶硅表面便形成一层氧化硅薄膜;
[0026] (3)以甲烷为反应气体采用等离子体增强化学气相沉积法在热氧化处理后的单晶硅片上沉积非晶碳薄膜。制备工艺参数为:射频功率130W,射频频率13.56MHz,基片温度230℃,腔体压强110Pa,纯度为(体积百分比)99.999%的CH4气体17sccm,镀膜时间50分钟。
[0027] 经过以上步骤非晶碳薄膜材料便通过一种低温化学气相沉积法成功制备,其电阻率小于8.0×10-3Ω·cm。
[0028] 实施例4
[0029] 一种利用低温化学气相沉积法制备非晶碳薄膜的方法,该方法包括以下步骤:
[0030] (1)清洗单晶硅片;
[0031] (2)将清洗好的单晶硅片放入充有高纯氧气的石英退火炉内进行热氧化处理,使其表面形成一层氧化硅薄膜。单晶硅片进行热氧化处理的方式是:升温前,将清洗好的单晶硅片放入石英管退火炉内的同时向石英管退火炉内通入高纯氧气并保持25分钟,接着将石英管退火炉缓慢加热至900℃保持20分钟,之后,断开加热电源,取出单晶硅片,此时单晶硅表面便形成一层氧化硅薄膜;
[0032] (3)以甲烷为反应气体采用等离子体增强化学气相沉积法在热氧化处理后的单晶硅片上沉积非晶碳薄膜。制备工艺参数为:射频功率150W,射频频率13.56MHz,基片温度240℃,腔体压强130Pa,纯度为(体积百分比)99.999%的CH4气体20sccm,镀膜时间55分钟。
[0033] 经过以上步骤非晶碳薄膜材料便通过一种低温化学气相沉积法成功制备,其电阻率小于6.0×10-3Ω·cm。
[0034] 实施例5
[0035] 一种利用低温化学气相沉积法制备非晶碳薄膜的方法,该方法包括以下步骤:
[0036] (1)清洗单晶硅片;
[0037] (2)将清洗好的单晶硅片放入充有高纯氧气的石英退火炉内进行热氧化处理,使其表面形成一层氧化硅薄膜。单晶硅片进行热氧化处理的方式是:升温前,将清洗好的单晶硅片放入石英管退火炉内的同时向石英管退火炉内通入高纯氧气并保持23分钟,接着将石英管退火炉缓慢加热至900℃保持18分钟,之后,断开加热电源,取出单晶硅片,此时单晶硅表面便形成一层氧化硅薄膜;
[0038] (3)以甲烷为反应气体采用等离子体增强化学气相沉积法在热氧化处理后的单晶硅片上沉积非晶碳薄膜。制备工艺参数为:射频功率120W,射频频率13.56MHz,基片温度250℃,腔体压强140Pa,纯度为(体积百分比)99.999%的CH4气体13sccm,镀膜时间60分钟。
[0039] 经过以上步骤非晶碳薄膜材料便通过一种低温化学气相沉积法成功制备,其电阻率小于7.0×10-3Ω·cm。
[0040] 以上所述为本发明较佳实施例而已,但本发明不应该局限于该实施实例所公开的内容。所以凡是不脱离本发明所公开的精神下完成的等效或修改,都落入本发明保护的范围。