实施方案
[0017] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0018] 请参阅图1-2，本发明提供一种技术方案：一种硅棒生产用几何尺寸测量装置，包括数控箱1、金相显微镜201、测控装置4和集成检测箱5，数控箱1的顶端嵌入设置有第一显示器101，第一显示器101的侧面连接有操作按钮102，数控箱1的前上端设置有第二显示器103，数控箱1的右侧贯穿连接有图像传输线104，图像传输线104的另一端连接有集成检测箱5，集成检测箱5的正面设置于测控装置，集成检测箱5的右侧套接有工具箱504，集成检测箱5的顶端焊接有顶板503，顶板503的中部嵌入设置有显像观察板501，顶板503的四个角均固定连接有支撑柱502，支撑柱502的顶端连接有观察板3，观察板3的左侧通过支撑柱502连接有显微镜旋轴2，显微镜旋轴2的末端套接有金相显微镜201，测控装置4的内部贯穿设置有传输通道401，测控装置4的正面设置有隔离板402，隔离板402的底部连接有硅棒列位板
403，硅棒列位板403的两端嵌入设置有数据输出端口404。
[0019] 进一步的，第一显示器101相对于数控箱1可折叠，且第一显示器101与金相显微镜201信号连接，可以直接将金相显微镜201观测的图像直接在第一显示器101上显示出来，方便工作人员观察。
[0020] 进一步的，硅棒列位板403设置有6列，且两端数据输出端口404均为可拆卸结构，防止硅棒在检测时断裂，难以去除。
[0021] 进一步的，观察板3为采用钢化玻璃制作的高透玻璃，。
[0022] 进一步的，工具箱504分为三格，且相对于集成检测箱5可折叠，可以放置一些观测笔记，方便后来者参考。
[0023] 进一步的，集成检测箱5包括激光反馈外形检测、温度与电阻检测和红外线超声波混合三维立体形态成像，实现几何尺寸等多功能检测一体化。
[0024] 工作原理：首先控制装置的电源输出，将需要检测的硅棒放到显像观察板501中，调整显微镜旋轴2，使观测到的图像清晰，在成像完成后，通过图像传输线104反馈到第一显示器101中，第一显示器101在解析后将硅棒表层的平面图显示出来，供工作人员参考，再将硅棒从传输通道401推送到测控装置4中，调节操作按键102，控制检测项目，在集成检测箱5中进行激光反馈外形检测、温度与电阻检测和红外线超声波混合三维立体形态成像等多种检测，并将结果反馈到第二显示器103中进行显示，将各项数据进行数字化输出，并根据各项数据组合成三维图像进行显示输出，硅棒列位板403两端数据输出端口404均为可拆卸结构，防止硅棒在检测时断裂，给去除带来不便。
[0025] 尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
