[0015] 图1是所制备的钛酸锶钡颗粒的X射线衍射图谱，所制备的粉末尺寸为纳米级，颗粒大小可通过分散剂添加量进行控制。
[0016] 图2是未经钛酸锶钡纳米颗粒修饰的二氧化钛薄膜的表面SEM图
[0017] 图3是钛酸锶钡纳米颗粒修饰二氧化钛薄膜的表面SEM图，钛酸锶钡纳米颗粒均匀分散在二氧化钛薄膜表面。
[0018] 图4是未经钛酸锶钡纳米颗粒修饰的二氧化钛薄膜不同浓度氢气传感器性能测试图，所用样品对应实施案例1。
[0019] 图5是钛酸锶钡纳米颗粒修饰后二氧化钛薄膜不同浓度氢气传感器性能测试图，所用样品对应实施案例4。
[0020] 具体实施方法
[0021] 下面用实施例对本发明进一步说明，本实施案例在以本发明为技术方案的前提下实施，但本发明的保护范围不限于下述的实施案例。
[0022] 实施案例1
[0023] 将FTO衬底先后放入丙酮、无水乙醇、去离子水中依次超声清洗20min，烘干后安放在磁控溅射托盘上。将纯度为99.99％的TiO2靶安装于磁控溅射系统阴极靶位，调节靶与衬底的距离为60mm。当本底真空抽到10-4Pa数量级时，向腔室通入36sccm氩气和1sccm氧气，控制腔室压强为1Pa，调节射频TiO2靶的功率为120W，对靶材进行10min辉光清洗，之后在射频120W条件下在FTO衬底上持续溅射沉积15min，在FTO衬底上溅射一层TiO2籽晶层；从真空室将样品取出，并在Ar保护中，500℃下退火10min。
[0024] 将退火后的样品以“V”字型靠在水热反应釜聚四氟乙烯内衬壁上，倒入由15ml去离子水，15ml无水乙醇，30ml盐酸，1ml钛酸四正丁酯配置的反应溶液，在150℃下反应8h得到TiO2薄膜。之后将薄膜浸泡至去离子水中6-12小时，用吹风机吹干后在400℃条件下退火 20min备用。
[0025] 将纯度为99.99％的Pt靶安装于磁控溅射系统阴极靶位，调节靶与衬底的距离为60mm，在TiO2薄膜上覆上交叉形掩膜板，打开泵抽系统，当本底真空抽到10-4Pa数量级时，向腔室通入15sccm氩气，控制腔室压强为0.5Pa，调节直流Pt靶的功率为40W，对靶材进行5min 溅射镀膜制备金属Pt电极；在室温下对未经钛酸锶钡纳米颗粒修饰的二氧化钛薄膜氢气传感器进行检测，探测浓度可至1ppm，灵敏度达到8.5％，响应时间为16.3s，回复时间为
54.7s；
[0026] 实施案例2
[0027] 将FTO衬底先后放入丙酮、无水乙醇、去离子水中依次超声清洗20min，烘干后安放在
[0028] 磁控溅射托盘上。将纯度为99.99％的TiO2靶安装于磁控溅射系统阴极靶位，调节靶与衬底的距离为60mm。当本底真空抽到10-4Pa数量级时，向腔室通入36sccm氩气和1sccm氧气，控制腔室压强为1Pa，调节射频TiO2靶的功率为120W，对靶材进行10min辉光清洗，之后在射频120W条件下在FTO衬底上持续溅射沉积15min，在FTO衬底上溅射一层TiO2籽晶层；从真空室将样品取出，并在Ar保护中，500℃下退火10min。
[0029] 将退火后的样品以“V”字型靠在水热反应釜聚四氟乙烯内衬壁上，倒入由15ml去离子水，15ml无水乙醇，30ml盐酸，1ml钛酸四正丁酯配置的反应溶液，在150℃下反应8h得到TiO2薄膜。之后将薄膜浸泡至去离子水中6-12小时，用吹风机吹干后在400℃条件下退火 20min备用。
[0030] 用电子天平称取1.45g乙酸钡溶于75ml去离子水中，搅拌30min；量取25ml无水乙醇，加入2ml钛酸四丁酯和0.5ml油酸，搅拌30mim；二者混合，加入5ml氢氧化钾，搅拌5min 后倒入水热反应釜在200℃下反应8h，冷却后用无水乙醇与去离子水在超声清洗仪中分别清洗3次，80℃水浴烘干得到水热法制备的钛酸锶钡纳米颗粒，备用。
[0031] 称取0.01g所制备的钛酸锶钡纳米粉末分散于9ml乙醇中，在超声清洗仪中超声分散约 2小时。用滴管吸取3ml分散液缓慢滴在放置于匀胶机吸盘上的二氧化钛薄膜上,转速保持在 2000r/min进行旋涂；对用钛酸锶钡纳米颗粒旋涂修饰后的二氧化钛薄膜在Ar气保护中进行二次退火，退火温度为500℃，退火时间为10min。
[0032] 将纯度为99.99％的Pt靶安装于磁控溅射系统阴极靶位，调节靶与衬底的距离为60mm，在旋涂钛酸锶钡颗粒的TiO2薄膜上覆上交叉形掩膜板，打开泵抽系统，当本底真空抽到10-4Pa 数量级时，向腔室通入15sccm氩气，控制腔室压强为0.5Pa，调节直流Pt靶的功率为40W，对靶材进行5min溅射镀膜制备金属Pt电极。
[0033] 在室温下对钛酸锶钡修饰二氧化钛薄膜气敏传感器进行检测，探测浓度可至1ppm，灵敏度为7.4％，响应时间为23.2s，回复时间为42.1s。
[0034] 实施案例3
[0035] 将FTO衬底先后放入丙酮、无水乙醇、去离子水中依次超声清洗20min，烘干后安放在磁控溅射托盘上。将纯度为99.99％的TiO2靶安装于磁控溅射系统阴极靶位，调节靶与衬底的距离为60mm。当本底真空抽到10-4Pa数量级时，向腔室通入36sccm氩气和1sccm氧气，控制腔室压强为1Pa，调节射频TiO2靶的功率为120W，对靶材进行10min辉光清洗，之后在射频120W条件下在FTO衬底上持续溅射沉积15min，在FTO衬底上溅射一层TiO2籽晶层；从真空室将样品取出，并在Ar保护中，500℃下退火10min。将退火后的样品以“V”字型靠在水热反应釜聚四氟乙烯内衬壁上，倒入由15ml去离子水，15ml无水乙醇，30ml盐酸，1ml钛酸四正丁酯配置的反应溶液，在150℃下反应8h得到TiO2薄膜。之后将薄膜浸泡至去离子水中6-12小时，用吹风机吹干后在400℃条件下退火20min备用。
[0036] 用电子天平称取1.45g乙酸钡，0.58g乙酸锶粉末溶于75ml去离子水中，搅拌30min；量取25ml无水乙醇，加入2ml钛酸四丁酯和0.5ml油酸，搅拌30mim；二者混合，加入
5ml 氢氧化钾，搅拌5min后倒入水热反应釜在200℃下反应8h，冷却后用无水乙醇与去离子水在超声清洗仪中分别清洗3次，80℃水浴烘干得到水热法制备的钛酸锶钡纳米颗粒，备用[0037] 称取0.01g所制备的钛酸锶钡纳米粉末分散于9ml乙醇中，在超声清洗仪中超声分散约 2小时。用滴管吸取3ml分散液缓慢滴在放置于匀胶机吸盘上的二氧化钛薄膜上,转速保持在 2000r/min进行旋涂；对用钛酸锶钡纳米颗粒旋涂修饰后的二氧化钛薄膜在Ar气保护中进行二次退火，退火温度为500℃，退火时间为10min。
[0038] 将纯度为99.99％的Pt靶安装于磁控溅射系统阴极靶位，调节靶与衬底的距离为60mm，在旋涂钛酸锶钡颗粒的TiO2薄膜上覆上交叉形掩膜板，打开泵抽系统，当本底真空抽到10-4Pa 数量级时，向腔室通入15sccm氩气，控制腔室压强为0.5Pa，调节直流Pt靶的功率为40W，对靶材进行5min溅射镀膜制备金属Pt电极；在室温下对钛酸锶钡修饰二氧化钛薄膜气敏传感器进行检测，探测浓度可至1ppm，灵敏度达到15.9％，响应时间为23.4s，回复时间为76.2s。
[0039] 实施案例4
[0040] 将FTO衬底先后放入丙酮、无水乙醇、去离子水中依次超声清洗20min，烘干后安放在磁控溅射托盘上。将纯度为99.99％的TiO2靶安装于磁控溅射系统阴极靶位，调节靶与衬底的距离为60mm。当本底真空抽到10-4Pa数量级时，向腔室通入36sccm氩气和1sccm氧气，控制腔室压强为1Pa，调节射频TiO2靶的功率为120W，对靶材进行10min辉光清洗，之后在射频120W条件下在FTO衬底上持续溅射沉积15min，在FTO衬底上溅射一层TiO2籽晶层；从真空室将样品取出，并在Ar保护中，500℃下退火10min。将退火后的样品以“V”字型靠在水热反应釜聚四氟乙烯内衬壁上，倒入由15ml去离子水，15ml无水乙醇，30ml盐酸，1ml钛酸四正丁酯配置的反应溶液，在150℃下反应8h得到TiO2薄膜。之后将薄膜浸泡至去离子水中6-12小时，用吹风机吹干后在400℃条件下退火20min备用。
[0041] 用电子天平称取1.45g乙酸钡，1.73g乙酸锶粉末溶于75ml去离子水中，搅拌30min；量取25ml无水乙醇，加入2ml钛酸四丁酯和0.5ml油酸，搅拌30mim；二者混合，加入
5ml 氢氧化钾，搅拌5min后倒入水热反应釜在200℃下反应8h，冷却后用无水乙醇与去离子水在超声清洗仪中分别清洗3次，80℃水浴烘干后得到水热法制备的钛酸锶钡纳米颗粒，备用。
[0042] 称取0.01g所制备的钛酸锶钡纳米粉末分散于9ml乙醇中，在超声清洗仪中超声分散约 2小时。用滴管吸取3ml分散液缓慢滴在放置于匀胶机吸盘上的二氧化钛薄膜上,转速保持在 2000r/min进行旋涂；对用钛酸锶钡纳米颗粒旋涂修饰后的二氧化钛薄膜在Ar气保护中进行二次退火，退火温度为500℃，退火时间为10min。
[0043] 将纯度为99.99％的Pt靶安装于磁控溅射系统阴极靶位，调节靶与衬底的距离为60mm，在旋涂钛酸锶钡颗粒的TiO2薄膜上覆上交叉形掩膜板，打开泵抽系统，当本底真空抽到10-4Pa 数量级时，向腔室通入15sccm氩气，控制腔室压强为0.5Pa，调节直流Pt靶的功率为40W，对靶材进行5min溅射镀膜制备金属Pt电极；在室温下对钛酸锶钡修饰二氧化钛薄膜气敏传感器进行检测，探测浓度可至1ppm，灵敏度达到21％，响应时间为8.5s，回复时间为
34.6s。
[0044] 实施案例5
[0045] 将FTO衬底先后放入丙酮、无水乙醇、去离子水中依次超声清洗20min，烘干后安放在磁控溅射托盘上。将纯度为99.99％的TiO2靶安装于磁控溅射系统阴极靶位，调节靶与衬底的距离为60mm。当本底真空抽到10-4Pa数量级时，向腔室通入36sccm氩气和1sccm氧气，控制腔室压强为1Pa，调节射频TiO2靶的功率为120W，对靶材进行10min辉光清洗，之后在射频120W条件下在FTO衬底上持续溅射沉积15min，在FTO衬底上溅射一层TiO2籽晶层；从真空室将样品取出，并在Ar保护中，500℃下退火10min。将退火后的样品以“V”字型靠在水热反应釜聚四氟乙烯内衬壁上，倒入由15ml去离子水，15ml无水乙醇，30ml盐酸，1ml钛酸四正丁酯配置的反应溶液，在150℃下反应8h得到TiO2薄膜。之后将薄膜浸泡至去离子水中6-12小时，用吹风机吹干后在400℃条件下退火20min备用。
[0046] 用电子天平称取1.15g乙酸锶粉末溶于75ml去离子水中，搅拌30min；量取25ml无水乙醇，加入2ml钛酸四丁酯和0.5ml油酸，搅拌30mim；二者混合，加入5ml氢氧化钾，搅拌5min后倒入水热反应釜在200℃下反应8h，冷却后用无水乙醇与去离子水在超声清洗仪中分别清洗3次，80℃水浴烘干得到水热法制备的钛酸锶钡纳米颗粒，备用。
[0047] 称取0.01g所制备的钛酸锶钡纳米粉末分散于9ml乙醇中，在超声清洗仪中超声分散约 2小时。用滴管吸取3ml分散液缓慢滴在放置于匀胶机吸盘上的二氧化钛薄膜上,转速保持在 2000r/min进行旋涂；对用钛酸锶钡纳米颗粒旋涂修饰后的二氧化钛薄膜在Ar气保护中进行二次退火，退火温度为500℃，退火时间为10min。
[0048] 将纯度为99.99％的Pt靶安装于磁控溅射系统阴极靶位，调节靶与衬底的距离为60mm，在旋涂钛酸锶钡颗粒的TiO2薄膜上覆上交叉形掩膜板，打开泵抽系统，当本底真空抽到10-4Pa 数量级时，向腔室通入15sccm氩气，控制腔室压强为0.5Pa，调节直流Pt靶的功率为40W，对靶材进行5min溅射镀膜制备金属Pt电极；在室温下对钛酸锶钡修饰二氧化钛薄膜气敏传感器进行检测，探测浓度可至1ppm，灵敏度达到11％，响应时间为12.6s，回复时间为
42.3s。
[0049] 测试结果见下表：
[0050] 灵敏度(％) 响应时间 回复时间
实施案例1 8.5 16.3 54.7
实施案例2 7.4 23.3 42.1
实施案例3 15.9 23.4 76.2
实施案例4 21 8.5 34.6
实施案例5 11 12.6 42.3
