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一种塑料壳体表面处理工艺   0    0

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专利申请流程有哪些步骤?
专利申请流程图
申请
申请号:指国家知识产权局受理一件专利申请时给予该专利申请的一个标示号码。唯一性原则。
申请日:提出专利申请之日。
2018-08-28
申请公布
申请公布指发明专利申请经初步审查合格后,自申请日(或优先权日)起18个月期满时的公布或根据申请人的请求提前进行的公布。
申请公布号:专利申请过程中,在尚未取得专利授权之前,国家专利局《专利公报》公开专利时的编号。
申请公布日:申请公开的日期,即在专利公报上予以公开的日期。
2019-02-12
授权
授权指对发明专利申请经实质审查没有发现驳回理由,授予发明专利权;或对实用新型或外观设计专利申请经初步审查没有发现驳回理由,授予实用新型专利权或外观设计专利权。
2020-12-08
预估到期
发明专利权的期限为二十年,实用新型专利权期限为十年,外观设计专利权期限为十五年,均自申请日起计算。专利届满后法律终止保护。
2038-08-28
基本信息
有效性 有效专利 专利类型 发明专利
申请号 CN201810987997.2 申请日 2018-08-28
公开/公告号 CN109182988B 公开/公告日 2020-12-08
授权日 2020-12-08 预估到期日 2038-08-28
申请年 2018年 公开/公告年 2020年
缴费截止日
分类号 C23C14/35C23C14/02C23C14/20 主分类号 C23C14/35
是否联合申请 独立申请 文献类型号 B
独权数量 1 从权数量 0
权利要求数量 1 非专利引证数量 0
引用专利数量 3 被引证专利数量 0
非专利引证
引用专利 CN107253343A、CN102234776A、CN101994093A 被引证专利
专利权维持 4 专利申请国编码 CN
专利事件 转让、许可 事务标签 公开、实质审查、申请权转移、授权、实施许可
申请人信息
申请人 第一申请人
专利权人 陈光贡 当前专利权人 陈光贡
发明人 余泽军 第一发明人 余泽军
地址 浙江省温州市鹿城区蒲鞋市街道东宝小区东宝组团5号楼102室 邮编 325000
申请人数量 1 发明人数量 1
申请人所在省 浙江省 申请人所在市 浙江省温州市
代理人信息
代理机构
专利代理机构是经省专利管理局审核,国家知识产权局批准设立,可以接受委托人的委托,在委托权限范围内以委托人的名义办理专利申请或其他专利事务的服务机构。
昆明合众智信知识产权事务所 代理人
专利代理师是代理他人进行专利申请和办理其他专利事务,取得一定资格的人。
叶春娜
摘要
本发明属于表面处理技术领域,具体的说是一种塑料壳体表面处理工艺,该工艺中的溅镀装置包括外壳体、内壳体、工作台、靶材、电机、旋转轴、一号轴承、固定环、永磁铁、转动杆、推力轴承、环形磁铁、弹簧、挡板、磁性隔离模块,本发明通过在旋转轴上端的圆柱面上设置一组永磁铁,在固定环的上下端各设置一个推力轴承,在固定环的内侧圆柱面上设置一组永磁铁,在旋转轴上端与固定环之间设置磁性隔离模块,通过磁性隔离模块实现转动杆上的环形磁铁不断进行往复运动,进而使得加载到靶材上的磁场变得均匀,保证了靶材能够均匀的消耗,避免了靶材的浪费,同时使得待镀工件的镀层变得均匀,进而保证了镀件的质量。
  • 摘要附图
    一种塑料壳体表面处理工艺
  • 说明书附图:图1
    一种塑料壳体表面处理工艺
  • 说明书附图:图2
    一种塑料壳体表面处理工艺
  • 说明书附图:图3
    一种塑料壳体表面处理工艺
  • 说明书附图:图4
    一种塑料壳体表面处理工艺
法律状态
序号 法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
1 2022-12-09 专利实施许可合同备案的注销 合同备案号: X2021370000021 让与人: 陈光贡 受让人: 青岛菲灿新材料科技服务有限责任公司 解除日: 2022.11.24
2 2021-08-10 专利实施许可合同备案的生效 IPC(主分类): C23C 14/35 合同备案号: X2021370000021 专利申请号: 201810987997.2 申请日: 2018.08.28 让与人: 陈光贡 受让人: 青岛菲灿新材料科技服务有限责任公司 发明名称: 一种塑料壳体表面处理工艺 申请公布日: 2019.01.11 授权公告日: 2020.12.08 许可种类: 独占许可 备案日期: 2021.07.26
3 2020-12-08 授权
4 2020-12-04 专利申请权的转移 登记生效日: 2020.11.24 申请人由余泽军变更为陈光贡 地址由510641 广东省广州市天河区五山路381号华南理工大学变更为325000 浙江省温州市鹿城区蒲鞋市街道东宝小区东宝组团5号楼102室
5 2019-02-12 实质审查的生效 IPC(主分类): C23C 14/35 专利申请号: 201810987997.2 申请日: 2018.08.28
6 2019-01-11 公开
权利要求
权利要求书是申请文件最核心的部分,是申请人向国家申请保护他的发明创造及划定保护范围的文件。
1.一种塑料壳体表面处理工艺,其特征在于,该工艺包括如下步骤:
步骤一:将塑料壳体放入超声波清洗机中进行超声波震动清洗;
步骤二:将步骤一中清洗后的塑料壳体送入烘干机中进行烘干;
步骤三:在步骤二中的塑料壳体的基层上喷涂一层NiCr粘结底层;
步骤四:在步骤三中的塑料壳体的粘结底层上喷涂一层底漆;
步骤五:将步骤四中的塑料壳体送入溅镀装置中,在塑料壳体表面镀上一层钛氧化物;
步骤六:在步骤五中的塑料壳体表面的钛氧化物上喷涂一层面漆;
其中,所述的溅镀装置包括外壳体(1)、内壳体(11)、工作台(12)、靶材(13)、电机(14)、旋转轴(2)、一号轴承(21),所述内壳体(11)将外壳体(1)内分割为溅镀空间和容置空间;所述靶材(13)固定连接在溅镀空间的顶部,靶材(13)的下方设有工作台(12);所述工作台(12)固定连接在外壳体(1)的底板上;所述旋转轴(2)设置于容置空间内,旋转轴(2)下端与电机(14)的轴端固定连接,旋转轴(2)的中部通过一号轴承(21)转动连接在内壳体(11)侧壁上;所述电机(14)固定连接在外壳体(1)的底板上;其特征在于:还包括固定环(3)、转动杆(4)、推力轴承(5)、环形磁铁(41)、弹簧、挡板(42)、磁性隔离模块(6),所述旋转轴(2)上端的圆柱面上设有一组一号永磁铁;所述固定环(3)的上下端各设有一个推力轴承(5);所述推力轴承(5)固定连接在内壳体(11)表面;所述固定环(3)的内侧圆柱面上设有一组二号永磁铁,固定环(3)的外侧圆柱面上设有一组转动杆(4);所述转动杆(4)一端固定连接在固定环(3)的外侧圆柱面上,转动杆(4)的另一端固定连接挡板(42),转动杆(4)上滑动连接一组环形磁铁(41);所述环形磁铁(41)的正负极沿轴向分布,相邻的环形磁铁(41)的极性相同,靠近固定环(3)一端的环形磁铁(41)与固定环(3)之间设有弹簧,靠近挡板(42)一端的环形磁铁(41)与挡板(42)之间设有弹簧;所述旋转轴(2)上端与固定环(3)之间设有磁性隔离模块(6);所述磁性隔离模块(6)用于阻挡旋转轴(2)上的一号永磁铁对固定环(3)上的二号永磁铁的吸引;
所述磁性隔离模块(6)包括隔离筒(61)、固定轴(62)、平键(63)、弹簧、滑动轴(64)、支撑筒(65)、摩擦片(66)、一号气缸(67),所述隔离筒(61)设置在旋转轴(2)和固定环(3)之间,隔离筒(61)上端通过平键(63)滑动连接在固定轴(62)上;所述固定轴(62)上端固定连接在外壳体(1)的顶板上;所述隔离筒(61)上端面与外壳体(1)的顶板之间设有弹簧;所述固定轴(62)的下端端面上的安装孔内滑动连接滑动轴(64)的上端;所述滑动轴(64)的上端与固定轴(62)的安装孔内壁之间设有弹簧,滑动轴(64)的轴肩端面与隔离筒(61)的内壁之间设有支撑筒(65);所述支撑筒(65)上端与隔离筒(61)内壁接触配合,支撑筒(65)下端与滑动轴(64)的轴肩接触配合;所述滑动轴(64)的下端固定连接一块一号环形摩擦片;所述旋转轴(2)的上端面上固定连接一块二号环形摩擦片,旋转轴(2)的上端面的安装孔内固定连接一号气缸(67);所述一号气缸(67)缸杆端部设置成球形;
所述隔离筒(61)的筒壁上设置一组矩形通孔,隔离筒(61)上的矩形通孔内设有摩擦轮(68);所述摩擦轮(68)为锥形滚轮,摩擦轮(68)的下端通过转轴转动连接在矩形通槽的内壁上,隔离筒(61)的内外侧各设置一个摩擦轮(68),隔离筒(61)内侧的摩擦轮(68)与旋转轴(2)上端的锥面接触,隔离筒(61)外侧的摩擦轮(68)与固定环(3)上的锥面接触,隔离筒(61)内外侧的摩擦轮(68)的上端通过转轴转动连接在隔离筒(61)的筒壁上;
所述摩擦轮(68)的锥面上设置一组环状矩形槽;
所述滑动轴(64)的轴肩上固定连接扇叶(69);
所述旋转轴(2)的右侧设有传动滚轮(71);所述传动滚轮(71)转动连接在固定支架(72)的左端,传动滚轮(71)的圆柱面与旋转轴(2)的圆柱面接触,传动滚轮(71)为分体式,上下的传动滚轮(71)通过连接轴连接;所述连接轴与传动滚轮(71)的转轴偏心设置,连接轴上转动连接连杆(73)的左端;所述连杆(73)的右端转动连接在活塞(74)的端部;所述活塞(74)滑动安装在固定支架(72)中部的腔体内;所述固定支架(72)上的腔体右端依次连接单向阀(75)、储气罐(76)、电磁阀(77)、环状通气元件(78);所述环状通气元件(78)转动连接在旋转轴(2)上,环状通气元件(78)内侧圆柱面上设置环形槽;所述旋转轴(2)内设置气路,旋转轴(2)内的气路用于连通一号气缸(67)和环状通气元件(78)。
说明书

技术领域

[0001] 本发明属于表面处理技术领域,具体的说是一种塑料壳体表面处理工艺。

背景技术

[0002] 溅镀是一种物理气相沉积技术,溅镀原理是在真空环境下,利用辉光放电或离子束产生的高能等离子体撞击耙材,以动量转移方式将耙材内的原子从耙材上轰击出来而沉积在基板上形成薄膜。由于溅镀可以达成较佳的沉积效率、精确的成份控制,以及较低的制造成本,因此已广泛应用于工业中各种金属和非金属膜层的制作,是表面处理中的一种重要的方式,溅镀装置中有一种圆柱式磁控溅镀装置,该装置能够充分的利用被轰击后的离子,使离子能够多次进行撞击靶材,进而降低了装置中电能的输入。
[0003] 圆柱式磁控溅镀装置一般包括圆筒状外壳、一个置于该圆筒状外壳内的圆柱筒状靶材及一个置于该圆柱筒状靶材内的磁铁组。该磁铁组一般由多个独立的磁铁组成,该磁铁组形成一个叠加磁场。由于多个磁铁间彼此独立,该叠加磁场在该靶材表面的分布一般都不均匀。溅镀时,靶材表面磁场强度高的区域电子集中度较高,该部分靶材被轰击的频率因此也较高。反复使用后,该部分靶材相对于其它磁场强度低部分的靶材消耗较多。当该部分靶材耗净,需更换靶材时,其它部分却还剩有靶材,靶材利用率低。

发明内容

[0004] 为了弥补现有技术的不足,本发明提出的一种塑料壳体表面处理工艺,该工艺中的溅镀装置通过在旋转轴上端的圆柱面上设置一组永磁铁,在固定环的上下端各设置一个推力轴承,在固定环的内侧圆柱面上设置一组永磁铁,在旋转轴上端与固定环之间设置磁性隔离模块,通过磁性隔离模块实现转动杆上的环形磁铁不断进行往复运动,进而使得加载到靶材上的磁场变得均匀,保证了靶材能够均匀的消耗,避免了靶材的浪费,同时使得待镀工件的镀层变得均匀,进而保证了镀件的质量。本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:本发明所述的一种塑料壳体表面处理工艺,该工艺包括如下步骤:
[0005] 步骤一:将塑料壳体放入超声波清洗机中进行超声波震动清洗;
[0006] 步骤二:将步骤一中清洗后的塑料壳体送入烘干机中进行烘干;
[0007] 步骤三:在步骤二中的塑料壳体的基层上喷涂一层NiCr粘结底层;
[0008] 步骤四:在步骤三中的塑料壳体的粘结底层上喷涂一层底漆;
[0009] 步骤五:将步骤四中的塑料壳体送入溅镀装置中,在塑料壳体表面镀上一层钛氧化物;
[0010] 步骤六:在步骤五中的塑料壳体表面的钛氧化物上喷涂一层面漆;
[0011] 其中,所述的溅镀装置包括外壳体、内壳体、工作台、靶材、电机、旋转轴、一号轴承,所述内壳体将外壳体内分割为溅镀空间和容置空间;所述靶材固定连接在溅镀空间的顶部,靶材的下方设有工作台;所述工作台固定连接在外壳体的底板上;所述旋转轴设置于容置空间内,旋转轴下端与电机的轴端固定连接,旋转轴的中部通过一号轴承转动连接在内壳体侧壁上;所述电机固定连接在外壳体的底板上;还包括固定环、永磁铁、转动杆、推力轴承、环形磁铁、弹簧、挡板、磁性隔离模块,所述旋转轴上端的圆柱面上设有一组一号永磁铁;所述固定环的上下端各设有一个推力轴承;所述推力轴承固定连接在内壳体表面;所述固定环的内侧圆柱面上设有一组二号永磁铁,固定环的外侧圆柱面上设有一组转动杆;所述转动杆一端固定连接在固定环的外侧圆柱面上,转动杆的另一端固定连接挡板,转动杆上滑动连接一组环形磁铁;所述环形磁铁的正负极沿轴向分布,相邻的环形磁铁的极性相同,靠近固定环一端的环形磁铁与固定环之间设有弹簧,靠近挡板一端的环形磁铁与挡板之间设有弹簧;所述旋转轴上端与固定环之间设有磁性隔离模块;所述磁性隔离模块用于阻挡旋转轴上的一号永磁铁对固定环上的二号永磁铁的吸引;使用时,电机带动旋转轴转动,旋转轴通过永磁铁的吸引力带动固定环转动,进而带动转动杆转动,转动杆上的环形磁铁在离心力的作用下沿转动杆滑动,同时靠近挡板的环形磁铁压缩弹簧,当靠近挡板的环形磁铁触碰到一号行程开关时,磁性隔离模块工作,进而切断了固定环的动力,使得固定环的转速下降,同时转动杆上的环形磁铁在弹簧力的作用下向固定环一端滑动,当靠近固定环一侧的环形磁铁触碰到二号行程开关时,磁性隔离模块断开工作,旋转轴上的永磁铁又开始吸引固定环上的永磁铁,实现带动固定环转动,通过磁性隔离模块实现转动杆上的环形磁铁不断进行往复运动,进而使得加载到靶材上的磁场变得均匀,保证了靶材能够均匀的消耗,避免了靶材的浪费,同时使得待镀工件的镀层变得均匀,进而保证了镀件的质量。
[0012] 优选的,所述磁性隔离模块包括隔离筒、固定轴、平键、弹簧、滑动轴、支撑筒、摩擦片、一号气缸,所述隔离筒设置在旋转轴和固定环之间,隔离筒上端通过平键滑动连接在固定轴上;所述固定轴上端固定连接在外壳体的顶板上;所述隔离筒上端面与外壳体的顶板之间设有弹簧;所述固定轴的下端端面上的安装孔内滑动连接滑动轴的上端;所述滑动轴的上端与固定轴的安装孔内壁之间设有弹簧,滑动轴的轴肩端面与隔离筒的内壁之间设有支撑筒;所述支撑筒上端与隔离筒内壁接触配合,支撑筒下端与滑动轴的轴肩接触配合;所述滑动轴的下端固定连接一块一号环形摩擦片;所述旋转轴的上端面上固定连接一块二号环形摩擦片,旋转轴的上端面的安装孔内固定连接一号气缸;所述一号气缸缸杆端部设置成球形;使用时,当磁性隔离模块使用时,一号气缸收缩,在弹簧力的作用下,隔离筒沿固定轴向下滑动,同时隔离筒下方的支撑筒和滑动轴一起向下移动,当滑动轴下端的摩擦片与旋转轴上端的摩擦片接触时,旋转轴带动滑动轴转动,滑动轴上端在固定轴的下端安装孔内转动,支撑筒的上下端分别与隔离筒、滑动轴相对滑动,隔离筒下降后,隔离筒的筒壁将旋转轴上端的永磁铁与固定环上的永磁铁隔离开,进而固定环失去了旋转轴的驱动力;当磁性隔离模块断开使用时,一号气缸推动滑动轴向上移动,滑动轴下端的摩擦片与旋转轴上端的摩擦片脱开,进而滑动轴失去旋转的动力,滑动轴通过支撑筒推动隔离筒一起向上移动,隔离筒的筒壁不在将旋转轴上的永磁铁和固定轴上的永磁铁隔离,进而固定环在永磁铁的磁力带动下又开始高速转动;通过隔离筒间歇性的隔离,实现了转动杆上的环形磁铁不断进行往复运动,进而使得加载到靶材上的磁场变得均匀,保证了靶材能够均匀的消耗,避免了靶材的浪费。
[0013] 优选的,所述隔离筒的筒壁上设置一组矩形通孔,隔离筒上的矩形通孔内设有摩擦轮;所述摩擦轮为锥形滚轮,摩擦轮的下端通过转轴转动连接在矩形通槽的内壁上,隔离筒的内外侧各设置一个摩擦轮,隔离筒内侧的摩擦轮与旋转轴上端的锥面接触,隔离筒外侧的摩擦轮与固定环上的锥面接触,隔离筒内外侧的摩擦轮的上端通过转轴转动连接在隔离筒的筒壁上;使用时,隔离筒下降,当隔离筒内侧的摩擦轮与旋转轴上的锥面接触时,旋转轴带动隔离筒内侧的摩擦轮转动,隔离筒内侧的摩擦轮带动矩形通槽内的摩擦轮转动,矩形通槽内的摩擦轮通过隔离筒外侧的摩擦轮摩擦固定环上的锥面,又因为隔离筒外侧的摩擦轮与固定环的转动方向相反,因此对固定环起到反向制动的作用,进而实现固定环的转速快速降低,使得环形磁铁在转动杆上往复移动的频率增加,进而使得加载到靶材上的磁场更加均匀,保证了靶材更加均匀的消耗;当转动杆上的环形磁铁接触二号行程开关,旋转轴上端的一号气缸顶伸后将隔离筒向上移动。
[0014] 优选的,所述摩擦轮的锥面上设置一组环状矩形槽;使用时,摩擦轮锥面上的环状矩形槽便于扩散摩擦轮表面的热量,进而提高了摩擦轮的使用寿命,同时保证了摩擦轮的传动效果。
[0015] 优选的,所述滑动轴的轴肩上固定连接扇叶;使用时,当磁性隔离模块使用时,旋转轴通过上端的摩擦片带动滑动轴转动,进而带动扇叶转动,进而对扇叶下端的摩擦轮进行散热,进一步提高了摩擦轮的使用寿命,同时保证了摩擦轮的传动效果。
[0016] 优选的,所述旋转轴的右侧设有传动滚轮;所述传动滚轮转动连接在固定支架的左端,传动滚轮的圆柱面与旋转轴的圆柱面接触,传动滚轮为分体式,上下的传动滚轮通过连接轴连接;所述连接轴与传动滚轮的转轴偏心设置,连接轴上转动连接连杆的左端;所述连杆的右端转动连接在活塞的端部;所述活塞滑动安装在固定支架中部的腔体内;所述固定支架上的腔体右端依次连接单向阀、储气罐、电磁阀、环状通气元件;所述环状通气元件转动连接在旋转轴上,环状通气元件内侧圆柱面上设置环形槽;所述旋转轴内设置气路,旋转轴内的气路用于连通一号气缸和环状通气元件;使用时,旋转轴带动传动滚轮转动,转动滚轮通过连杆推动活塞在固定支架的腔体内往复移动,进而实现向储气罐内间歇性的通入压缩气体,当转动杆上的环形磁铁接触二号行程开关,控制器控制电磁阀打开,储气罐中的压缩气体经过环状通气元件进入一号气缸内,推动一号气缸的缸杆顶出,进而将隔离筒向上推动;实现了转动杆上的环形磁铁自动的进行往复移动,保证了靶材能够均匀的消耗,避免了靶材的浪费,同时使得待镀工件的镀层变得均匀,进而保证了镀件的质量。
[0017] 本发明的有益效果如下:
[0018] 1.本发明所述的一种塑料壳体表面处理工艺,该工艺中的溅镀装置通过在旋转轴上端的圆柱面上设置一组永磁铁,在固定环的上下端各设置一个推力轴承,在固定环的内侧圆柱面上设置一组永磁铁,在旋转轴上端与固定环之间设置磁性隔离模块,通过磁性隔离模块实现转动杆上的环形磁铁不断进行往复运动,进而使得加载到靶材上的磁场变得均匀,保证了靶材能够均匀的消耗,避免了靶材的浪费,同时使得待镀工件的镀层变得均匀,进而保证了镀件的质量。
[0019] 2.本发明所述的一种塑料壳体表面处理工艺,该工艺中的溅镀装置通过在旋转轴和固定环之间设置隔离筒,在滑动轴的下端和旋转轴的上端各连接一块环形摩擦片,在隔离筒上的矩形通孔内设置摩擦轮,在隔离筒的内外侧各设置一个摩擦轮,实现了对固定环的制动,进而实现固定环的转速快速降低,使得环形磁铁在转动杆上往复移动的频率增加,进而使得加载到靶材上的磁场更加均匀,保证了靶材更加均匀的消耗。
[0020] 3.本发明所述的一种塑料壳体表面处理工艺,该工艺中的溅镀装置通过在滑动轴的轴肩上固定连接扇叶,进而对扇叶下端的摩擦轮进行散热,进一步提高了摩擦轮的使用寿命,同时保证了摩擦轮的传动效果。
[0021] 4.本发明所述的一种塑料壳体表面处理工艺,该工艺中的溅镀装置通过在旋转轴的右侧设置传动滚轮,连接轴上转动连接连杆的左端,连杆的右端转动连接在活塞的端部,固定支架上的腔体右端依次连接单向阀、储气罐、电磁阀、环状通气元件,实现了转动杆上的环形磁铁自动的进行往复移动,保证了靶材能够均匀的消耗,避免了靶材的浪费,同时使得待镀工件的镀层变得均匀,进而保证了镀件的质量。

实施方案

[0028] 为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本发明。
[0029] 如图1至图4所示,本发明所述的一种塑料壳体表面处理工艺,该工艺包括如下步骤:
[0030] 步骤一:将塑料壳体放入超声波清洗机中进行超声波震动清洗;
[0031] 步骤二:将步骤一中清洗后的塑料壳体送入烘干机中进行烘干;
[0032] 步骤三:在步骤二中的塑料壳体的基层上喷涂一层NiCr粘结底层;
[0033] 步骤四:在步骤三中的塑料壳体的粘结底层上喷涂一层底漆;
[0034] 步骤五:将步骤四中的塑料壳体送入溅镀装置中,在塑料壳体表面镀上一层钛氧化物;
[0035] 步骤六:在步骤五中的塑料壳体表面的钛氧化物上喷涂一层面漆;
[0036] 其中,所述的溅镀装置包括外壳体1、内壳体11、工作台12、靶材13、电机14、旋转轴2、一号轴承21,所述内壳体11将外壳体1内分割为溅镀空间和容置空间;所述靶材13固定连接在溅镀空间的顶部,靶材13的下方设有工作台12;所述工作台12固定连接在外壳体1的底板上;所述旋转轴2设置于容置空间内,旋转轴2下端与电机14的轴端固定连接,旋转轴2的中部通过一号轴承21转动连接在内壳体11侧壁上;所述电机14固定连接在外壳体1的底板上;还包括固定环3、转动杆4、推力轴承5、环形磁铁41、弹簧、挡板42、磁性隔离模块6,所述旋转轴2上端的圆柱面上设有一组一号永磁铁;所述固定环3的上下端各设有一个推力轴承
5;所述推力轴承5固定连接在内壳体11表面;所述固定环3的内侧圆柱面上设有一组二号永磁铁,固定环3的外侧圆柱面上设有一组转动杆4;所述转动杆4一端固定连接在固定环3的外侧圆柱面上,转动杆4的另一端固定连接挡板42,转动杆4上滑动连接一组环形磁铁41;所述环形磁铁41的正负极沿轴向分布,相邻的环形磁铁41的极性相同,靠近固定环3一端的环形磁铁41与固定环3之间设有弹簧,靠近挡板42一端的环形磁铁41与挡板42之间设有弹簧;
所述旋转轴2上端与固定环3之间设有磁性隔离模块6;所述磁性隔离模块6用于阻挡旋转轴
2上的一号永磁铁对固定环3上的二号永磁铁的吸引;使用时,电机14带动旋转轴2转动,旋转轴2通过一号永磁铁的吸引力带动固定环3转动,进而带动转动杆4转动,转动杆4上的环形磁铁41在离心力的作用下沿转动杆4滑动,同时靠近挡板42的环形磁铁41压缩弹簧,当靠近挡板42的环形磁铁41触碰到一号行程开关时,磁性隔离模块6工作,进而切断了固定环3的动力,使得固定环3的转速下降,同时转动杆4上的环形磁铁41在弹簧力的作用下向固定环3一端滑动,当靠近固定环3一侧的环形磁铁41触碰到二号行程开关时,磁性隔离模块6断开工作,旋转轴2上的一号永磁铁又开始吸引固定环3上的二号永磁铁,实现带动固定环3转动,通过磁性隔离模块6实现转动杆4上的环形磁铁41不断进行往复运动,进而使得加载到靶材13上的磁场变得均匀,保证了靶材13能够均匀的消耗,避免了靶材13的浪费,同时使得待镀工件的镀层变得均匀,进而保证了镀件的质量。
[0037] 作为本发明的一种实施方案,所述磁性隔离模块6包括隔离筒61、固定轴62、平键63、弹簧、滑动轴64、支撑筒65、一号气缸67,所述隔离筒61设置在旋转轴2和固定环3之间,隔离筒61上端通过平键63滑动连接在固定轴62上;所述固定轴62上端固定连接在外壳体1的顶板上;所述隔离筒61上端面与外壳体1的顶板之间设有弹簧;所述固定轴62的下端端面上的安装孔内滑动连接滑动轴64的上端;所述滑动轴64的上端与固定轴62的安装孔内壁之间设有弹簧,滑动轴64的轴肩端面与隔离筒61的内壁之间设有支撑筒65;所述支撑筒65上端与隔离筒61内壁接触配合,支撑筒65下端与滑动轴64的轴肩接触配合;所述滑动轴64的下端固定连接一块一号环形摩擦片;所述旋转轴2的上端面上固定连接一块二号环形摩擦片,旋转轴2的上端面的安装孔内固定连接一号气缸67;所述一号气缸67缸杆端部设置成球形;使用时,当磁性隔离模块6使用时,一号气缸67收缩,在弹簧力的作用下,隔离筒61沿固定轴62向下滑动,同时隔离筒61下方的支撑筒65和滑动轴64一起向下移动,当滑动轴64下端的一号摩擦片与旋转轴2上端的二号摩擦片接触时,旋转轴2带动滑动轴64转动,滑动轴
64上端在固定轴62的下端安装孔内转动,支撑筒65的上下端分别与隔离筒61、滑动轴64相对滑动,隔离筒61下降后,隔离筒61的筒壁将旋转轴2上端的一号永磁铁与固定环3上的二号永磁铁隔离开,进而固定环3失去了旋转轴2的驱动力;当磁性隔离模块6断开使用时,一号气缸67推动滑动轴64向上移动,滑动轴64下端的一号摩擦片与旋转轴2上端的二号摩擦片脱开,进而滑动轴64失去旋转的动力,滑动轴64通过支撑筒65推动隔离筒61一起向上移动,隔离筒61的筒壁不在将旋转轴2上的一号永磁铁和固定轴62上的二号永磁铁隔离,进而固定环3在一号永磁铁的磁力带动下又开始高速转动;通过隔离筒61间歇性的隔离,实现了转动杆4上的环形磁铁41不断进行往复运动,进而使得加载到靶材13上的磁场变得均匀,保证了靶材13能够均匀的消耗,避免了靶材13的浪费。
[0038] 作为本发明的一种实施方案,所述隔离筒61的筒壁上设置一组矩形通孔,隔离筒61上的矩形通孔内设有摩擦轮68;所述摩擦轮68为锥形滚轮,摩擦轮68的下端通过转轴转动连接在矩形通槽的内壁上,隔离筒61的内外侧各设置一个摩擦轮68,隔离筒61内侧的摩擦轮68与旋转轴2上端的锥面接触,隔离筒61外侧的摩擦轮68与固定环3上的锥面接触,隔离筒61内外侧的摩擦轮68的上端通过转轴转动连接在隔离筒61的筒壁上;使用时,隔离筒
61下降,当隔离筒61内侧的摩擦轮68与旋转轴2上的锥面接触时,旋转轴2带动隔离筒61内侧的摩擦轮68转动,隔离筒61内侧的摩擦轮68带动矩形通槽内的摩擦轮68转动,矩形通槽内的摩擦轮68通过隔离筒61外侧的摩擦轮68摩擦固定环3上的锥面,又因为隔离筒61外侧的摩擦轮68与固定环3的转动方向相反,因此对固定环3起到反向制动的作用,进而实现固定环3的转速快速降低,使得环形磁铁41在转动杆4上往复移动的频率增加,进而使得加载到靶材13上的磁场更加均匀,保证了靶材13更加均匀的消耗;当转动杆4上的环形磁铁41接触二号行程开关,旋转轴2上端的一号气缸67顶伸后将隔离筒61向上移动。
[0039] 作为本发明的一种实施方案,所述摩擦轮68的锥面上设置一组环状矩形槽;使用时,摩擦轮68锥面上的环状矩形槽便于扩散摩擦轮68表面的热量,进而提高了摩擦轮68的使用寿命,同时保证了摩擦轮68的传动效果。
[0040] 作为本发明的一种实施方案,所述滑动轴64的轴肩上固定连接扇叶69;使用时,当磁性隔离模块6使用时,旋转轴2通过上端的二号摩擦片带动滑动轴64转动,进而带动扇叶69转动,进而对扇叶69下端的摩擦轮68进行散热,进一步提高了摩擦轮68的使用寿命,同时保证了摩擦轮68的传动效果。
[0041] 作为本发明的一种实施方案,所述旋转轴2的右侧设有传动滚轮71;所述传动滚轮71转动连接在固定支架72的左端,传动滚轮71的圆柱面与旋转轴2的圆柱面接触,传动滚轮
71为分体式,上下的传动滚轮71通过连接轴连接;所述连接轴与传动滚轮71的转轴偏心设置,连接轴上转动连接连杆73的左端;所述连杆73的右端转动连接在活塞74的端部;所述活塞74滑动安装在固定支架72中部的腔体内;所述固定支架72上的腔体右端依次连接单向阀
75、储气罐76、电磁阀77、环状通气元件78;所述环状通气元件78转动连接在旋转轴2上,环状通气元件78内侧圆柱面上设置环形槽;所述旋转轴2内设置气路,旋转轴2内的气路用于连通一号气缸67和环状通气元件78;使用时,旋转轴2带动传动滚轮71转动,转动滚轮通过连杆73推动活塞74在固定支架72的腔体内往复移动,进而实现向储气罐76内间歇性的通入压缩气体,当转动杆4上的环形磁铁41接触二号行程开关,控制器控制电磁阀77打开,储气罐76中的压缩气体经过环状通气元件78进入一号气缸67内,推动一号气缸67的缸杆顶出,进而将隔离筒61向上推动;实现了转动杆4上的环形磁铁41自动的进行往复移动,保证了靶材13能够均匀的消耗,避免了靶材13的浪费,同时使得待镀工件的镀层变得均匀,进而保证了镀件的质量。
[0042] 使用时,电机14带动旋转轴2转动,旋转轴2带动传动滚轮71转动,转动滚轮通过连杆73推动活塞74在固定支架72的腔体内往复移动,进而实现向储气罐76内间歇性的通入压缩气体,同时旋转轴2通过一哈永磁铁的吸引力带动固定环3转动,进而带动转动杆4转动,转动杆4上的环形磁铁41在离心力的作用下沿转动杆4滑动,同时靠近挡板42的环形磁铁41压缩弹簧,当靠近挡板42的环形磁铁41触碰到一号行程开关时,磁性隔离模块6工作,一号气缸67收缩,在弹簧力的作用下,隔离筒61沿固定轴62向下滑动,同时隔离筒61下方的支撑筒65和滑动轴64一起向下移动,当滑动轴64下端的一号摩擦片与旋转轴2上端的二号摩擦片接触时,旋转轴2带动滑动轴64转动,滑动轴64上端在固定轴62的下端安装孔内转动,支撑筒65的上下端分别与隔离筒61、滑动轴64相对滑动,隔离筒61下降后,隔离筒61的筒壁将旋转轴2上端的一号永磁铁与固定环3上的二号永磁铁隔离开,进而固定环3失去了旋转轴2的驱动力,同时隔离筒61内侧的摩擦轮68与旋转轴2上的锥面接触,旋转轴2带动隔离筒61内侧的摩擦轮68转动,隔离筒61内侧的摩擦轮68带动矩形通槽内的摩擦轮68转动,矩形通槽内的摩擦轮68通过隔离筒61外侧的摩擦轮68摩擦固定环3上的锥面,又因为隔离筒61外侧的摩擦轮68与固定环3的转动方向相反,因此对固定环3起到反向制动的作用,进而实现固定环3的转速快速降低,同时转动杆4上的环形磁铁41在弹簧力的作用下向固定环3一端滑动,当靠近固定环3一侧的环形磁铁41触碰到二号行程开关时,控制器控制电磁阀77打开,储气罐76中的压缩气体经过环状通气元件78进入一号气缸67内,推动一号气缸67的缸杆顶出,一号气缸67推动滑动轴64向上移动,滑动轴64下端的一号摩擦片与旋转轴2上端的二号摩擦片脱开,进而滑动轴64失去旋转的动力,滑动轴64通过支撑筒65推动隔离筒61一起向上移动,隔离筒61的筒壁不在将旋转轴2上的二号永磁铁和固定轴62上的一号永磁铁隔离,进而固定环3在一号永磁铁的磁力带动下又开始高速转动;通过磁性隔离模块6实现转动杆4上的环形磁铁41不断进行往复运动,进而使得加载到靶材13上的磁场变得均匀,保证了靶材13能够均匀的消耗,避免了靶材13的浪费,同时使得待镀工件的镀层变得均匀,进而保证了镀件的质量。
[0043] 以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解,本发明不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理,在不脱离本发明精神和范围的前提下,本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

附图说明

[0022] 下面结合附图对本发明作进一步说明。
[0023] 图1是本发明的工艺流程图;
[0024] 图2是本发明中溅镀装置的主视图;
[0025] 图3是图2中A处的放大图;
[0026] 图4是图2中B处的放大图;
[0027] 图中:外壳体1、内壳体11、工作台12、靶材13、电机14、旋转轴2、一号轴承21、固定环3、转动杆4、环形磁铁41、挡板42、推力轴承5、磁性隔离模块6、隔离筒61、固定轴62、平键63、滑动轴64、支撑筒65、、一号气缸67、摩擦轮68、扇叶69、传动滚轮71、固定支架72、连杆
73、活塞74、单向阀75、储气罐76、电磁阀77、环状通气元件78。
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