[0004] 本发明需要解决的技术问题是提供一种自动化程度高、清洗效果好的芯片在线清洗设备。
[0005] 为解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案是：
[0006] 芯片在线清洗设备，包括若干台后端设置有风切机构的浸泡式清洗装置，所述浸泡式清洗装置包括封闭的浸洗柜，浸洗柜内的一侧设置衔接自动送料机构的一对托住芯片两侧边水平运动的进料传送带，浸洗柜内的另一侧设置与风切机构连接的一对水平运动的出料传送带，所述进料传送带与出料传送带之间设置盛装有浸洗液的浸洗池，所述浸洗池内并排设置对应进料传送带的第一输料架、对应出料传送带的第二输料架；所述第一输料架包括由机械动力控制的衔接于进料传送带后端分别托住芯片的一个侧边同步垂直向下运动的两对输料带，两对输料带之间的下部位置设置带有芯片检测装置的由丝杠滑块机构控制滑动于第一输料架与第二输料架之间的滑板，所述第二输料架包括与第一输料架结构相同的两对同步垂直向上运动的输料带，第一输料架与第二输料架之间的上部位置设置对应出料传送带将芯片拨动到出料传送带的拨料机构。
[0007] 本发明的进一步改进在于：所述一对进料传送带之间的下方位置设置推动芯片向第一输料架运动的推杆，推杆的一端连接水平设置的气缸，推杆的中部设置转动轴，推杆的另一端为末端对应芯片的侧边的弧形结构。
[0008] 本发明的进一步改进在于：所述第一输料架和第二输料架的输料带上间隔设置互相对应的托住芯片侧边的托板，每对输料带上的托板均向内延伸超出输料带内侧的侧边，各托板上方的输料带上还设置对芯片进行限位的挡板；第一输料架上部的各对输料带之间对应设置托住由推杆推动来的芯片的十字旋转架，十字旋转架包括穿设在输料带之间的旋转轴，旋转轴上设置四个互相垂直设置的旋转板，其中任一个旋转板从输料带之间伸出并搭接在对应位置的两个托板上。
[0009] 本发明的进一步改进在于：所述拨料机构包括垂直连接在水平设置的驱动气缸输出端的拨杆，拨杆的中部设置转轴，拨杆的自由端对应第二输料架上芯片的一个侧边。
[0010] 本发明的进一步改进在于：所述第一输料架与第二输料架的输料带的机械动力控制机构包括位于两对输料带上端的一圈由伺服电机通过齿轮带动旋转的皮带，皮带对应输料带的四个角均设置传动齿轮，各传动齿轮的下方设置一同步旋转的锥齿轮，与锥齿轮配合的传动锥齿轮带动位于输料带上部的主动齿轮同步旋转，输料带的下部设置被动齿轮。
[0011] 本发明进一步改进在于：所述第一输料架和第二输料架的每对输料带的外侧相对设置与各层托板对应的通过管路和进水泵与浸洗池内的浸洗液连通的对芯片进行喷洗的喷水孔，所述各层喷水孔对应芯片的喷淋角度从顶层的对准芯片的中间过渡到底层的对准芯片的边缘。
[0012] 本发明进一步改进在于：所述风切机构包括封闭的风切柜，风切柜内设置一对运输芯片的风切传送带，风切传送带的上方设置连接有若干风切风机的第一风室，第一风室通过进风管道与位于风切传送带下方的第二风室连通，所述进风管道上设置减压阀，第一风室对应风切风机处设置有风切过滤网，所述第一风室和第二风室对应风切传送带的位置设置互相对应的位于风切传送带的垂直面内与芯片成一定角度的切向出风口。
[0013] 本发明的进一步改进在于：所述芯片在线清洗设备还包括若干台后端设置风切机构的喷淋式清洗装置，所述喷淋式清洗装置包括封闭的喷淋柜，喷淋柜内的上部设置一对承载芯片两侧边的喷淋传送带，喷淋柜内的下部设置封闭的第一喷淋液容器，第一喷淋液容器连接出两条由水泵和电磁阀控制的喷淋管路，所述两条喷淋管路分别位于喷淋传送带所承载的芯片的上方和下方并设置对应芯片的喷嘴，喷淋传送带下部设置一上端开口的收集喷淋后的残液的过渡容器，过渡容器通过设置有过滤网的管路连接到第一喷淋液容器。
[0014] 本发明的进一步改进在于：所述喷淋式清洗装置的喷淋柜内还设置与第一喷淋液容器并联设置在过渡容器下方的用于切换喷淋液的第二喷淋液容器。
[0015] 本发明的进一步改进在于：所述芯片在线清洗设备还包括位于清洗线末端的对芯片进行定位的定位台，所述定位台包括支架，支架的下面设置与芯片尺寸对应的由提升气缸推动做上下运动的提升台面，支架的上表面设置环绕提升台面的定位机构，所述定位机构包括两个相邻的垂直固定在支架上表面的固定挡板，还包括两个相对固定挡板设置的由动力气缸驱动推动芯片运动的活动挡片。
[0016] 由于采用了上述技术方案，本发明取得的技术进步是：
[0017] 本发明设计的清洗设备可以同时实现对芯片浸泡洗和喷淋洗，有效去除芯片表面的大颗粒污染物以及微量污染，并且整个清洗过程在封闭的环境中进行，无二次污染，依靠自动化的设备完成，满足现代化生产的高质高效、自动化程度高的要求。
[0018] 所述浸泡式清洗装置设置封闭的浸洗池，浸洗池内的装置都采用耐酸耐碱材质。第一输料架借助推杆接应由进料传送带运输来的芯片，推杆的末端采用圆弧结构推动，减小了向上的作用力，采用推杆同时缩短了气缸的行程。推杆推动芯片，芯片从挡板和托板之间穿过并落在十字旋转架的旋转板上，旋转板随着输料带的向下运动，受物料和托板的共同作用带动十字旋转架旋转，芯片脱离旋转板的托架，稳定而完整落在托板上，借助托板上部的挡板，芯片克服因浮力可能上漂的问题。芯片达到第一输料架的下端，借助芯片检测装置，滑板接收芯片，滑板滑动将芯片运输到第二输料架一侧，第二输料架的托板托住芯片向上运动，到达顶部对应出料传送带时，再借助拨料机构将芯片拨动给出料传送带，拨料机构设计巧妙合理，并且不会对芯片造成损伤。第一输料架和第二输料架的输料带借助顶部的齿轮皮带配合实现同步运动，结构简单、设计合理，且便于控制速度。在输料带的外侧设置对芯片进行喷淋的喷水孔，且设置逐步变化的喷淋角度，进一步增加了浸洗效果，提高芯片清洗的清洁度。
[0019] 所述喷淋式清洗装置为封闭式结构，保证喷淋时不受污染。设置的喷淋传送带托住芯片的两个侧边，借助上下两条喷淋管路对芯片的上方和下方进行喷淋冲洗，清洗过程简单，借助水泵和电磁阀控制清洗压力和水量，达到芯片的清洗要求。喷淋后的残液流入过渡容器后经过滤网过滤可重复使用，节约能源。设置检测第一喷淋液容器和第二喷淋液容器内喷淋液情况的检测装置，当第一喷淋液容器内的喷淋液不可再用时，可切换到第二喷淋液容器，更换第一喷淋液容器，可以实现连续清洗，不间断工作。
[0020] 所述风切机构的高压风经过风切过滤网进入第一风室，一部分高压风沿第一风室的出风口吹出，形成的风刀以一定角度冲击盖板，另一部分高压风沿进风管道经过减压阀从第二风室的出风口吹出，形成风刀对芯片的背面进行风干，风力均匀恒定，去除残留在芯片表面的液体及部分污染物。并且设置第一风室的风压大于第二风室的风压，防止芯片被吹起。
[0021] 所述定位台首先借助提升台面将芯片提升定位机构的水平面上，然后以两个相邻的固定挡板为基准，操作两个活动挡片定位芯片，方便后续工艺中拾取芯片的操作。
