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个相关信息
一种蚀刻机用物料检测传输装置
一种蚀刻机用物料检测传输装置
实用新型
有效专利
蚀刻机
申请日:
2020-10-22
当前状态:
授权
国际分类号:
B65G47/29
、
F26B21/00
、
H05F3/06
、
B08B5/02
、
B08B6/00
发明人:
温涛
申请人:
温涛
一种具有清洗结构的半导体蚀刻机
一种具有清洗结构的半导体蚀刻机
实用新型
有效专利
蚀刻机
申请日:
2020-11-04
当前状态:
授权
国际分类号:
B08B1/02
、
B08B9/093
、
H01L21/67
发明人:
黄伟玲
申请人:
黄伟玲
一种蚀刻机废气处理装置
一种蚀刻机废气处理装置
实用新型
有效专利
蚀刻机
申请日:
2020-10-22
当前状态:
授权
国际分类号:
B01D53/18
、
B01D50/00
发明人:
王莉
申请人:
王莉
一种带有定量上料功能的蚀刻机
一种带有定量上料功能的蚀刻机
实用新型
有效专利
蚀刻机
申请日:
2020-10-22
当前状态:
授权
国际分类号:
C23F1/08
发明人:
王莉
申请人:
王莉
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