实施方案
[0021] 为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
[0022] 如图1‑4所示，一种蚀刻机废气处理装置，包括处理柜1、第一排气管2、水处理套9、抽气扇8和轴流风机4，所述处理柜1内顶部通过箍筋架设安装有第一排气管2，所述处理柜1一端开设有抽气口7，所述抽气口7内通过螺栓安装有抽气扇8，所述处理柜1另一端连接有第二排气管5，所述抽气口7 排气端上套接有水处理套9，所述水处理套9内壁固定安装有分水管10，所述分水管10出水端安装有喷头11，所述水处理套9顶部设有出气套3，所述水处理套9一端开设有出气口13，所述出气套3进气端通过L型气管14与水处理套9的出气口13连接，所述第一排气管2进气端与出气套3的出气端连接，所述水处理套9底部排水端连接有废水箱12。
[0023] 其中，所述L型气管14进气端内的顶部和底部分布交错安装有竖向挡水板15，所述L型气管14出气端内交错排布安装有倾斜式挡水板18，所述L 型气管14内且位于倾斜式挡水板18顶部安装有挡水网19。
[0024] 本实施例中如图4所示，通过挡水网19的设置，排出L型气管14的气体将依次接触挡水网19的网孔后排出，且挂覆于挡水网19上的水珠将滴落回L 型气管14内，从而实现对含湿汽的气体多重水气分离处理。
[0025] 其中，所述处理柜1内一侧通过螺栓安装有水泵21，所述水泵21的出水端通过管道与分水管10进水端连接。
[0026] 其中，所述第一排气管2另一端套接有轴流风机4。
[0027] 其中，所述处理柜1一侧底部通过铰链安装有开关门17，所述处理柜1 一侧顶部通过螺栓安装有检修盖16。
[0028] 本实施例中如图1所示，人员通过开关门17和检修盖16壳对处理柜1 内进行检修处理。
[0029] 其中，所述废水箱12底部一侧设有放水口，所述处理柜1底部通过螺栓安装有可制动万向轮。
[0030] 本实施例中如图1所示，废水箱12的放水口便于将废水收集处理。
[0031] 其中，所述L型气管14底部依次开设排水嘴20。
[0032] 其中，所述第一排气管2的出气端与第二排气管5进气端连接，所述第二排气管5上套接有单向阀6。
[0033] 本实施例中如图1所示，在不工作时，单向阀6可避免第二排气管5内的气体倒灌。
[0034] 需要说明的是，本实用新型为一种蚀刻机废气处理装置，工作时，人员将处理柜1的抽气口7与蚀刻机的处理箱连接，并将水泵21的进水端与外界供水管道连接，使用时，人员依次将水泵21、抽气扇8和轴流风机4开启，通过抽气扇8将蚀刻机的处理箱内的废气抽出，并排至水处理套9内，通过水泵 21的工作，可有效将外界水源抽送至分水管10内，并由分水管10上的喷头 11对经过水处理套9内气体进行喷洒，从而使气体内的氯等有害化学物有效溶于水中，由水对气体进行过滤，且过滤处理后的水则排送流入废水箱12内，实现对蚀刻机加工产生的废气进行处理，随着第一排气管2上轴流风机4的抽吸，过滤后的气体通过L型气管14排送至出气套3内，由出气套3排至第一排气管2内，并通过第二排气管5排出，通过L型气管14内竖向挡水板15 的设置，由水处理套9处理后的待水渍的气体可依次对竖向挡水板15撞击，使得水汽逐渐凝结为水流，回流至水处理套9内，并水处理套9由底部排至废水箱12内，通过倾斜式挡水板18的设置，可对即将排出L型气管14的气体进行二次撞击滤水处理，且通过挡水网19的设置，排出L型气管14的气体将依次接触挡水网19的网孔后排出，且挂覆于挡水网19上的水珠将滴落回L 型气管14内，从而实现对含湿汽的气体多重水气分离处理，回流至L型气管14内的水渍，由L型气管14底部的排水嘴20排出，使得废气进行湿式过滤后，有效进行良好的水气分离处理，待过滤后的气体由第二排气管5排出后，通过单向阀6的使用，使气体无法产生回流，大大提高废气处理的稳定性，且在移动调节或转运时，通过可制动万向轮的使用，使整体装置作业更加灵活便捷，具有较高的实用性。
[0035] 以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
