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一种节能环保型连续式扩散炉
一种节能环保型连续式扩散炉
实用新型
有效专利
扩散炉
申请日:
2020-10-21
当前状态:
授权
国际分类号:
B01D46/10
、
B01D53/04
、
H01L21/22
发明人:
孙婧琦
申请人:
江苏金圣硅基新材料研究院有限公司
一种成品率好的高安全性扩散炉
一种成品率好的高安全性扩散炉
实用新型
有效专利
扩散炉
申请日:
2021-07-12
当前状态:
授权
国际分类号:
C30B31/10
、
C30B29/06
发明人:
薛会福
申请人:
徐州云致途电子科技有限公司
一种扩散均匀且高效的扩散炉
一种扩散均匀且高效的扩散炉
实用新型
有效专利
扩散炉
申请日:
2021-10-25
当前状态:
授权
国际分类号:
C30B31/00
发明人:
刘益
申请人:
刘益
一种密封性能好的具有均匀喷淋功能的扩散炉
一种密封性能好的具有均匀喷淋功能的扩散炉
实用新型
有效专利
扩散炉
申请日:
2021-09-15
当前状态:
授权
国际分类号:
C30B31/10
、
C30B31/16
、
C30B29/06
、
H01L31/18
发明人:
卢其才
申请人:
卢其才
一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉
一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉
实用新型
有效专利
扩散炉
申请日:
2021-09-15
当前状态:
授权
国际分类号:
F27D17/00
、
F27D19/00
、
F27D25/00
、
H01L21/22
、
H01L21/67
发明人:
彭静
申请人:
彭静
一种太阳能光伏电池制造用扩散炉
一种太阳能光伏电池制造用扩散炉
发明专利
有效专利
扩散炉
申请日:
2019-06-28
当前状态:
授权
国际分类号:
H01L31/18
、
F27B17/00
发明人:
不公告发明人
申请人:
赣州佳广智能装备科技有限公司
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