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一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉   0    0

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专利申请流程有哪些步骤?
专利申请流程图
申请
申请号:指国家知识产权局受理一件专利申请时给予该专利申请的一个标示号码。唯一性原则。
申请日:提出专利申请之日。
2021-09-15
授权
授权指对发明专利申请经实质审查没有发现驳回理由,授予发明专利权;或对实用新型或外观设计专利申请经初步审查没有发现驳回理由,授予实用新型专利权或外观设计专利权。
2022-04-26
预估到期
发明专利权的期限为二十年,实用新型专利权期限为十年,外观设计专利权期限为十五年,均自申请日起计算。专利届满后法律终止保护。
2031-09-15
基本信息
有效性 有效专利 专利类型 实用新型
申请号 CN202122226373.9 申请日 2021-09-15
公开/公告号 CN216385144U 公开/公告日 2022-04-26
授权日 2022-04-26 预估到期日 2031-09-15
申请年 2021年 公开/公告年 2022年
缴费截止日
分类号 F27D17/00F27D19/00F27D25/00H01L21/22H01L21/67 主分类号 F27D17/00
是否联合申请 独立申请 文献类型号 U
独权数量 1 从权数量 4
权利要求数量 5 非专利引证数量 0
引用专利数量 0 被引证专利数量 0
非专利引证
引用专利 被引证专利
专利权维持 1 专利申请国编码 CN
专利事件 事务标签 授权
申请人信息
申请人 第一申请人
专利权人 彭静 当前专利权人 彭静
发明人 彭静 第一发明人 彭静
地址 北京市西城区宣武门西大街129号金隅大厦16层1623室 邮编 100053
申请人数量 1 发明人数量 1
申请人所在省 北京市 申请人所在市 北京市西城区
代理人信息
代理机构
专利代理机构是经省专利管理局审核,国家知识产权局批准设立,可以接受委托人的委托,在委托权限范围内以委托人的名义办理专利申请或其他专利事务的服务机构。
代理人
专利代理师是代理他人进行专利申请和办理其他专利事务,取得一定资格的人。
摘要
本实用新型公开了一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉,包括炉体和过滤箱,所述炉体后侧的左右两端均固定安装有电机,所述电机的输出端固定连接有螺纹杆,所述螺纹杆的外表面螺纹连接有固定块,所述固定块的一侧固定连接有固定框,所述固定框的外侧固定连接有毛刷层,所述炉体内腔后侧的右端固定连接有集尘罩,所述炉体内腔后侧的左端固定连接有排气罩。本实用新型通过风机、电机、螺纹杆、固定块、固定框、毛刷层、集尘罩、通气板、均分喷嘴、过滤箱、初效滤网板、活性炭滤网板和排气罩的作用,解决了现有扩散炉不具备自动清洁的功能,在清洁时需要人工进行清扫,费时费力,为人们使用带来不便的问题。
  • 摘要附图
    一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉
  • 说明书附图:图1
    一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉
  • 说明书附图:图2
    一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉
  • 说明书附图:图3
    一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉
  • 说明书附图:图4
    一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉
法律状态
序号 法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
1 2022-04-26 授权
权利要求
权利要求书是申请文件最核心的部分,是申请人向国家申请保护他的发明创造及划定保护范围的文件。
1.一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉,包括炉体(1)和过滤箱(4),其特征在于:所述炉体(1)后侧的左右两端均固定安装有电机(12),所述电机(12)的输出端固定连接有螺纹杆(11),所述螺纹杆(11)的外表面螺纹连接有固定块(10),所述固定块(10)的一侧固定连接有固定框(7),所述固定框(7)的外侧固定连接有毛刷层(8),所述炉体(1)内腔后侧的右端固定连接有集尘罩(9),所述炉体(1)内腔后侧的左端固定连接有排气罩(6),所述过滤箱(4)内腔的底部固定连接有通气板(14),所述通气板(14)的顶部固定安装有均分喷嘴(15),所述过滤箱(4)内腔左侧的上端固定连接有支撑板(16),所述支撑板(16)的顶部和过滤箱(4)内腔的顶部之间从左向右依次固定连接有活性炭滤网板(17)和初效滤网板(13),所述过滤箱(4)顶部的左端固定安装有风机(3)。

2.根据权利要求1所述的一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉,其特征在于:
所述炉体(1)的正表面通过合页活动连接有密封门(2),所述密封门(2)正表面的上端固定安装有控制面板(5)。

3.根据权利要求1所述的一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉,其特征在于:
所述均分喷嘴(15)的数量为多个,且相邻两个均分喷嘴(15)之间的距离相等。

4.根据权利要求1所述的一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉,其特征在于:
所述风机(3)的进风端通过管道和集尘罩(9)的后侧连通,所述风机(3)的出风端通过管道和通气板(14)顶部的右端连通。

5.根据权利要求1所述的一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉,其特征在于:
所述过滤箱(4)左侧的上端连通有导流管(18),且导流管(18)的另一端和排气罩(6)连通。
说明书

技术领域

[0001] 本实用新型涉及扩散炉技术领域,具体为一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉。

背景技术

[0002] 扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺,但现有扩散炉不具备自动清洁的功能,在清洁时需要人工进行清扫,费时费力,为人们的使用带来不便,为此,我们提出一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉。实用新型内容
[0003] 本实用新型的目的在于提供一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉,具备自动清洁功能的优点,解决了现有扩散炉不具备自动清洁的功能,在清洁时需要人工进行清扫,费时费力,为人们使用带来不便的问题。
[0004] 为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉,包括炉体和过滤箱,所述炉体后侧的左右两端均固定安装有电机,所述电机的输出端固定连接有螺纹杆,所述螺纹杆的外表面螺纹连接有固定块,所述固定块的一侧固定连接有固定框,所述固定框的外侧固定连接有毛刷层,所述炉体内腔后侧的右端固定连接有集尘罩,所述炉体内腔后侧的左端固定连接有排气罩,所述过滤箱内腔的底部固定连接有通气板,所述通气板的顶部固定安装有均分喷嘴,所述过滤箱内腔左侧的上端固定连接有支撑板,所述支撑板的顶部和过滤箱内腔的顶部之间从左向右依次固定连接有活性炭滤网板和初效滤网板,所述过滤箱顶部的左端固定安装有风机。
[0005] 优选的,所述炉体的正表面通过合页活动连接有密封门,所述密封门正表面的上端固定安装有控制面板。
[0006] 优选的,所述均分喷嘴的数量为多个,且相邻两个均分喷嘴之间的距离相等。
[0007] 优选的,所述风机的进风端通过管道和集尘罩的后侧连通,所述风机的出风端通过管道和通气板顶部的右端连通。
[0008] 优选的,所述过滤箱左侧的上端连通有导流管,且导流管的另一端和排气罩连通。
[0009] 与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:
[0010] 本实用新型通过控制面板打开风机和电机工作时,电机会带动螺纹杆转动,进而经固定块带动了固定框和毛刷层运动,进而毛刷层能够对炉体的内壁进行清扫,风机工作时能够通过管道经集尘罩吸入清扫出的灰尘,并转送到通气板内经均分喷嘴喷出到过滤箱内腔下端的水体中,实现了一次过滤,而在气体通过初效滤网板和活性炭滤网板后,实现了有效过滤清洁的能力,而过滤后的气体经导流管输送到排气罩内排出,进而能够吹拂清扫的灰尘,在炉体内实现循环,加快了集尘罩吸收的同时,且促进了毛刷层的清扫效率,通过以上结构配合的作用,解决了现有扩散炉不具备自动清洁的功能,在清洁时需要人工进行清扫,费时费力,为人们使用带来不便的问题。

实施方案

[0016] 下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
[0017] 在申请的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“设置有”、“连接”等,应做广义理解,例如“连接”,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0018] 本实用新型的炉体1、密封门2、风机3、过滤箱4、控制面板5、排气罩6、固定框7、毛刷层8、集尘罩9、固定块10、螺纹杆11、电机12、初效滤网板13、通气板14、均分喷嘴15、支撑板16、活性炭滤网板17和导流管18部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件,其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。
[0019] 请参阅图1‑4,一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉,包括炉体1和过滤箱4,炉体1的正表面通过合页活动连接有密封门2,密封门2正表面的上端固定安装有控制面板5,炉体1后侧的左右两端均固定安装有电机12,电机12的输出端固定连接有螺纹杆11,螺纹杆11的外表面螺纹连接有固定块10,固定块10的一侧固定连接有固定框7,固定框7的外侧固定连接有毛刷层8,炉体1内腔后侧的右端固定连接有集尘罩9,炉体1内腔后侧的左端固定连接有排气罩6,过滤箱4内腔的底部固定连接有通气板14,通气板14的顶部固定安装有均分喷嘴15,均分喷嘴15的数量为多个,且相邻两个均分喷嘴15之间的距离相等,过滤箱4内腔左侧的上端固定连接有支撑板16,支撑板16的顶部和过滤箱4内腔的顶部之间从左向右依次固定连接有活性炭滤网板17和初效滤网板13,过滤箱4顶部的左端固定安装有风机3,风机3的进风端通过管道和集尘罩9的后侧连通,风机3的出风端通过管道和通气板14顶部的右端连通,过滤箱4左侧的上端连通有导流管18,且导流管18的另一端和排气罩6连通,通过控制面板5打开风机3和电机12工作时,电机12会带动螺纹杆11转动,进而经固定块10带动了固定框7和毛刷层8运动,进而毛刷层8能够对炉体1的内壁进行清扫,风机3工作时能够通过管道经集尘罩9吸入清扫出的灰尘,并转送到通气板14内经均分喷嘴15喷出到过滤箱4内腔下端的水体中,实现了一次过滤,而在气体通过初效滤网板13和活性炭滤网板17后,实现了有效过滤清洁的能力,而过滤后的气体经导流管18输送到排气罩6内排出,进而能够吹拂清扫的灰尘,在炉体1内实现循环,加快了集尘罩9吸收的同时,且促进了毛刷层8的清扫效率。
[0020] 使用时,通过控制面板5打开风机3和电机12工作时,电机12会带动螺纹杆11转动,进而经固定块10带动了固定框7和毛刷层8运动,进而毛刷层8能够对炉体1的内壁进行清扫,风机3工作时能够通过管道经集尘罩9吸入清扫出的灰尘,并转送到通气板14内经均分喷嘴15喷出到过滤箱4内腔下端的水体中,实现了一次过滤,而在气体通过初效滤网板13和活性炭滤网板17后,实现了有效过滤清洁的能力,而过滤后的气体经导流管18输送到排气罩6内排出,进而能够吹拂清扫的灰尘,在炉体1内实现循环,加快了集尘罩9吸收的同时,且促进了毛刷层8的清扫效率,通过以上结构配合的作用,解决了现有扩散炉不具备自动清洁的功能,在清洁时需要人工进行清扫,费时费力,为人们使用带来不便的问题。
[0021] 尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

附图说明

[0011] 图1为本实用新型结构示意图;
[0012] 图2为本实用新型炉体剖视结构示意图;
[0013] 图3为本实用新型炉体俯视结构示意图;
[0014] 图4为本实用新型过滤箱主视状态下剖视结构示意图。
[0015] 图中:1、炉体;2、密封门;3、风机;4、过滤箱;5、控制面板;6、排气罩;7、固定框;8、毛刷层;9、集尘罩;10、固定块;11、螺纹杆;12、电机;13、初效滤网板;14、通气板;15、均分喷嘴;16、支撑板;17、活性炭滤网板;18、导流管。
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