申请日:2021-03-31
当前状态:授权 国际分类号:H01L41/047
、H01L41/29
、C23C14/00
、C23C14/02
、C23C14/08
、C23C14/14
、C23C14/35
、C23C16/40
、C23C16/455
、C23C28/00
发明人:轩伟鹏,章弥灵,陈金凯,董树荣,金浩,骆季奎
申请人:
杭州电子科技大学