背景技术
[0002] 半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,如二极管就是采用半导体制作的器件。
[0003] 现有的半导体加工研磨装置不具备对半导体自动夹持,往往因夹持不稳定,导致研磨工作难以展开,以及不具备对研磨机的升降,不方便研磨工作的展开。实用新型内容
[0004] 为了克服现有技术的不足,本实用新型的目的之一在于提供一种半导体加工研磨设备。
[0005] 本实用新型的目的之一采用如下技术方案实现:
[0006] 一种半导体加工研磨设备,包括矩形槽,所述矩形槽的底部固定连接有支撑板,且所述支撑板的底部靠近四角处均固定连接有支撑腿,所述支撑板顶部靠近右侧处开设有第一通孔,所述支撑板的顶部中间位置处固定连接有支撑座,所述支撑板顶部中间位置处设有夹持机构,所述矩形槽前侧开设有开口,所述矩形槽前侧设有与开口相匹配的开关门,所述开关门的左侧设有若干个合页,所述开关门通过若干个合页与矩形槽活动连接,且所述开关门前侧靠近右侧处固定连接有把手,所述矩形槽内腔左侧靠近顶部处固定连接有电动伸缩杆,所述矩形槽内腔左右两侧均开设有第一滑槽,两个所述第一滑槽的内腔均活动连接有第一滑块,两个所述第一滑块相对的一侧共同固定连接有移动板,所述移动板的顶部设有升降机构,所述移动板的底部中间位置处固定连接有研磨机本体。
[0007] 进一步的,所述升降机构包括第一齿条板,所述第一齿条板的左侧固定连接在电动伸缩杆的右端,所述矩形槽内腔顶部靠近中间位置处固定连接有竖板,所述竖板的前侧固定连接有第一轴承,所述第一齿条板的底部啮合有传动齿轮,所述传动齿轮圆心处贯穿设有直杆,所述直杆的后端插接在第一轴承的内腔。
[0008] 进一步的,所述第一齿条板的顶部固定连接有第二滑块,所述矩形槽内腔顶部开设有第二滑槽,所述第二滑块活动连接在第二滑槽的内腔。
[0009] 进一步的,所述直杆前端固定连接有摆动板,所述摆动板前侧靠近左侧处固定连接有支撑杆,所述支撑杆的前端活动连接有摆动杆,所述摆动杆远离摆动板的一端活动连接有推板,所述推板的底部与移动板的顶部固定连接。
[0010] 进一步的,所述夹持机构包括第二齿条板,所述第二齿条板的顶部固定连接在移动板的底部靠近右侧处,所述移动板的左侧靠近底部处啮合有转动齿轮,所述转动齿轮后侧圆心处贯穿设有固定杆,所述矩形槽内腔后侧靠近底部处固定连接有第二轴承,所述固定杆的后端插接在第二轴承的内腔。
[0011] 进一步的,所述固定杆的前端固定连接有第六锥形齿轮,所述第六锥形齿轮的左侧啮合有第五锥形齿轮,所述第五锥形齿轮左侧圆心处固定连接有传动杆,所述支撑板的顶部靠近右侧处固定连接有安装板,所述安装板的左侧固定连接有第三轴承,所述传动杆的左端贯穿第三轴承的内腔,并固定连接有第四锥形齿轮,所述第四锥形齿轮的底部啮合有第三锥形齿轮,所述第三锥形齿轮底部圆心处固定连接有竖杆,所述支撑板的底部靠近中间位置处固定连接有第四轴承,所述竖杆的底端插接在第四轴承的内腔,所述竖杆的外侧靠近底端处套设有第一锥形齿轮。
[0012] 进一步的,所述第一锥形齿轮的底部啮合有第二锥形齿轮,所述第二锥形齿轮的左侧圆心处固定连接有转动杆,所述转动杆的外侧靠近两端处开设有两个相反螺纹,所述支撑板的顶部开设有第三滑槽,所述第三滑槽的内腔活动连接有两个第三滑块,两个所述第三滑块的顶部均固定连接有夹板,两个所述夹板的左侧靠近底部处均固定连接有螺纹套,所述支撑座的左侧开设有第二通孔,所述转动杆的外侧均与相邻螺纹套活动连接,且所述转动杆的右端贯穿第二通孔的内腔,并延伸至外侧。
[0013] 相比现有技术,本实用新型的有益效果在于:
[0014] 1、本实用新型通过设置升降机构,第一齿条板、竖板、传动齿轮、直杆、摆动板、摆动杆和推板这些部件的相互配合,对研磨机本体进行上下移动,便于研磨工作展开;
[0015] 2、本实用新型通过设置夹持机构,通过夹板、转动杆、固定杆、第一锥形齿轮、第二锥形齿轮、竖杆、第三锥形齿轮、第四锥形齿轮、第二齿条板、支撑座、转动齿轮、传动杆、第五锥形齿轮、第六锥形齿轮和螺纹套这些部件的相互配合,对半导体自动夹持,避免夹持不稳,导致研磨成品的品质。
[0016] 上述说明仅是本实用新型技术方案的概述,为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段,而可依照说明书的内容予以实施,并且为了让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂,以下特举较佳实施例,并配合附图,详细说明如下。