实施方案
[0019] 下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0020] 请参阅图1至4，本实用新型实施例中，一种PECVD硅片自动上下料机用收片盒及放置装置，包括收片盒1、和放置装置；
[0021] 放置装置包括有U形槽2、升降板3和液压升降机4，U形槽2 内嵌入设置有升降板3，升降板3的底部表面中央焊接设置有液压升降机4，U形槽2的左侧表面外部贯穿设置有进气管9，U形槽2的内侧表面中央嵌入设置有倾斜管10，升降板3的上表面中央焊接设置有定位块11；
[0022] 收片盒1包括有倾斜底板5、海绵层6和贯穿槽8，收片盒1的内侧表面底部固定设置有倾斜底板5，收片盒1的内侧表面左端通过固定胶固定设置有海绵层6，海绵层6的右侧表面通过固定胶固定设置有硅胶板7，收片盒1的中央贯穿设置有贯穿槽8。
[0023] 本实施例中，收片盒1与放置装置均为右侧开口的凹槽状，使得收片盒1方便嵌入于放置装置内。
[0024] 本实施例中，倾斜底板5为右侧水平高度高左侧水平高度低的倾斜状，且倾斜底板的倾斜角度为10°-15°，使得硅片处于收片盒1 内呈右侧水平高度高左侧水平高度低的倾斜状，使得更好的收纳硅片，使得硅片不易掉落。
[0025] 本实施例中，进气管9与倾斜管10相互焊接，倾斜管10为左侧水平高度高右侧水平高度低的倾斜状，且倾斜角度为30°-45°，使得倾斜管10吹出的气吹向收片盒1的底部表面中央，能有效的降低硅片掉落收片盒1的下降速度，使得硅片更不易刮花。
[0026] 本实施例中，倾斜管10嵌入于贯穿槽8内，且倾斜管10的长度小于贯穿槽8的宽度使得倾斜管10不会挡住硅片装入收片盒1内。
[0027] 本实施例中，收片盒1的底部表面中央嵌入设置有嵌入槽，且定位块11可嵌入于嵌入槽内。
[0028] 本实施例中，进气管9与硅片自动上下料机的喷气口通过胶管连接，使得通过胶管对进气管9进程吹气，且通过倾斜管10排出。
[0029] 本实施例中，液压升降机4通过硅片自动上下料机上显示的硅片数量来控制升降的高度，使得收纳盒1中硅片数量不同使得升降板3 的高度不同，使得更加方便收纳硅片。
[0030] 在使用本实用新型一种PECVD硅片自动上下料机用收片盒及放置装置时，将收片盒1放于放置装置上，通过定位块11嵌入收纳盒 1内使得收片盒1固定于放置装置内，倾斜管10嵌入于贯穿槽8内使得倾斜管10吹出的风对准收片盒1的内侧表面中央，硅片从轨道掉落到收片盒1内时在风的作用下，使得硅片往下掉落的速度不会太快导致硅片损块，掉落于收纳盒1内的硅片撞击到硅胶板7上，通过硅胶板7盒海绵层6的缓冲，使得硅胶板7于海绵层6对硅片进行缓冲，放置硅片破碎和隐裂，掉落于收片盒1内的硅片呈右侧水平高度高左侧水平高度低的倾斜状，使得硅片不会从收片盒1内掉落，且在移动收片盒1和将收片盒1放置桌面上时硅片呈右侧水平高度高左侧水平高度低的倾斜状，使得硅片不易掉落，导致硅片损坏报废。
[0031] 以上的仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本领域的技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以作出若干变形和改进，这些也应该视为本实用新型的保护范围，这些都不会影响本实用新型实施的效果和专利的实用性。
