背景技术
[0002] 光刻是半导体制造工艺中的重要工艺方法之一,通常包括如下步骤:在半导体晶片上形成光刻胶层;对所述光刻胶层进行选择性曝光,并通过显影步骤使得曝光后的光刻胶层进一步形成光刻胶图案,本步骤又称为光刻胶层的图案化。
[0003] 现有的喷胶机由于其结构较为简单,在喷胶过程中,原料胶体由于处于静止的状态,极易出现凝固的情况,导致出现喷胶不均,并且在喷胶的过程中,受到需要进行光刻的半导体晶片的位置的影响,容易出现喷胶的厚度不均的情况。实用新型内容
[0004] 为了克服现有技术的不足,本实用新型的目的之一在于提供一种用于半导体加工的喷胶机。
[0005] 本实用新型的目的之一采用如下技术方案实现:
[0006] 一种用于半导体加工的喷胶机,包括操作台,所述操作台顶部中心处设置有机体,所述机体的前端设置有控制板,所述控制板的顶部等距分布有控制按键,所述机体顶部中心处设置有原料箱,所述原料箱底部的前后两端均设置有加热器,所述原料箱的顶部中心处设置有电机,所述电机的底部设置有搅拌机构,所述操作台底部中心处设置有放置柜,所述放置柜底部四个角均设置有支脚,所述机体内腔底部中心处设置有加工台,所述加工台的中心处开设有调节槽,所述调节槽的前后两端的底部设置有齿条,所述调节槽的内部设置有夹持板,所述夹持板靠近中心的一侧设置有第一齿轮,所述机体内腔的顶部中心处设置有送料软管,所述机体内腔顶部偏下处设置有隔板,所述隔板的底部设置有移动机构。
[0007] 进一步的,所述搅拌机构包括转动杆,所述转动杆位于电机的动力输出端,所述转动杆的底部设置有第二齿轮,所述第二齿轮的左右两侧均啮合有第三齿轮,所述第三齿轮中心的左右两侧均设置有搅拌杆,所述搅拌杆的底部设置有安装头,所述安装头的前后两端等距分布有搅拌桨。
[0008] 进一步的,所述第二齿轮的顶部中心处与转动杆的底部固定连接,所述第二齿轮通过电机构成转动结构。
[0009] 进一步的,所述第三齿轮与第二齿轮啮合连接,所述搅拌杆贯穿安装头的内部且延伸至安装头的内部。
[0010] 进一步的,所述移动机构包括移动轨,所述移动轨位于隔板底部中心处,所述移动轨的内部的左右两端均设置有移动块,所述移动块相对的一侧设置有伸缩管,所述伸缩管的内部设置有弹簧,所述移动块远离隔板中心的一侧设置有伸缩气缸,所述移动块的底部铰接有升降架,所述升降架的底部铰接有操作板,所述操作板底部中心处设置有喷胶头。
[0011] 进一步的,所述移动轨与隔板构成一体化结构,所述移动块的顶部嵌设于移动轨的内部。
[0012] 进一步的,所述移动块通过伸缩气缸在移动轨的内部水平移动,所述操作板通过升降架构成升降结构。
[0013] 相比现有技术,本实用新型的有益效果在于:
[0014] 1、通过搅拌机构及其内部各部件与加热器的配合使用,能够有效避免原料箱内部的加工原料出现凝固的情况,由于加热器位于原料箱底部的前后两端,因此原料箱的受热面积大,使得原料箱内部原料的加热效果更好;
[0015] 2、通过移动机构及其内部各部件的配合使用,能够在使用过程中,根据需要喷胶的位置的改变,通过伸缩气缸对移动块的牵引作用,带动移动块在移动轨的内部进行移动,并在伸缩气缸相对运动时,使得移动块之间的距离缩短,从而使得喷胶头的位置在升降架的作用下下降,从而提高喷胶的准确性。
[0016] 上述说明仅是本实用新型技术方案的概述,为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段,而可依照说明书的内容予以实施,并且为了让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂,以下特举较佳实施例,并配合附图,详细说明如下。