实施方案
[0020] 下面结合附图及实施例对本发明作进一步说明。
[0021] 如图1所示，具有载物补偿功能的气浮导轨平台，包括供气模块、驱动模块、底座1、导轨2、气嘴3、载物台4和n个气浮模块5，n≥4；导轨2固定在底座1上。
[0022] 如图2所示，供气模块包括空气压缩机6、气体过滤器7、油雾分离器8和n个精密减压阀9；空气压缩机6的输出口与气体过滤器7的输入口连通，气体过滤器7的输出口与油雾分离器8的输入口连通，油雾分离器8的输出口与n个精密减压阀9的输入口均连通；每个精密减压阀9的输出口与一个气嘴3的外端连接。
[0023] 如图3、4-1和4-2所示，气浮模块5由气浮轴套5-1、O型密封圈5-2、小孔节流器5-3、线性位移传感器5-4和气浮块5-5组成；气浮块5-5的中心开设有气浮轴套安装孔和传感器安装孔B，气浮轴套安装孔的孔壁开设气嘴安装孔A，传感器安装孔B的孔壁开设导线孔C；气浮轴套安装孔内设置气浮轴套5-1；气浮轴套5-1的两端与气浮块5-5两端均安装有O型密封圈5-2；传感器安装孔B内设置线性位移传感器5-4，线性位移传感器5-4的电源线及数据线从导线孔C穿出；线性位移传感器5-4的检测面D与底座1的上表面1-1平行。每个气浮模块5的气嘴安装孔A内放置一个气嘴3，供气模块通过气嘴3给各个气浮模块5供气；载物台4与所有气浮模块的气浮块5-5顶部均通过螺钉连接，驱动模块通过丝杠螺母副或带传动机构驱动载物台4。
[0024] 如图5所示，气浮轴套5-1中心开设的导轨安装孔J与导轨2间隙配合；气浮轴套5-1的外圆面开设有沿轴向布置的多个环形槽I；每个环形槽I底部开设通气孔组；通气孔组为沿圆周等角度但不均布的多个通气孔H，气浮轴套5-1位于下部的通气孔多于位于上部的通气孔；通气孔的内端与气浮轴套的导轨安装孔连通；每个通气孔H内设置一个小孔节流器5-3；所有环形槽I的侧部相通，并与气浮块5-5的气嘴安装孔A连通。
[0025] 如图6所示，小孔节流器5-3开设有集气孔E、降压孔F和稳压孔G；集气孔E的外端与气浮轴套5-1上对应的通气孔外端连通；降压孔F的两端分别与集气孔E的内端和稳压孔G的外端连通；稳压孔G的内端与气浮轴套5-1上对应的通气孔内端连通。
[0026] 导轨2的外圆面、气浮轴套5-1的导轨安装孔J孔壁、底座1的上表面1-1、载物台4的底面以及气浮块5-5的上、下表面均为超精密加工面。
[0027] 该具有载物补偿功能的气浮导轨平台的工作原理：
[0028] 高压气体通过气嘴3进入环形槽I中；环形槽I中的高压气体分流至各个小孔节流器5-3的集气孔E中，经增压孔F增压和稳压孔G稳压后喷至导轨2与气浮轴套5-1的导轨安装孔J间隙中，形成具有支承能力的压力气膜，从而实现气浮轴套5-1对载物台4的径向支承；通气孔组的通气孔H对称设置在气浮轴套5-1的竖直中性面(竖直方向上过气浮轴套5-1中心的面)两侧，使得气浮块5-5两侧所受径向力相互平衡；每个通气孔组的通气孔H沿圆周等角度分布但下部多于上部，因此可以通过改变供气模块提供的气体压强来改变气浮模块5与底座上表面1-1之间的距离；线性位移传感器5-4内置于气浮块5-5中，其检测面D与底座1的上表面1-1平行，进而可以实时检测出气浮块5-5与底座上表面的距离，获取检测信号后可通过改变单个精密减压阀9的气体压强来单独调节每个气浮块5-5的高度，从而达到重力补偿的目的，亦可提高气浮平台的精度。
[0029] 以上内容只属于本发明的具体实例，其它与本发明原理相似的平台均在该专利的保护范围内。
