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一种单晶体气相生长用保护气体补充装置   0    0

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专利申请流程有哪些步骤?
专利申请流程图
申请
申请号:指国家知识产权局受理一件专利申请时给予该专利申请的一个标示号码。唯一性原则。
申请日:提出专利申请之日。
2020-07-22
申请公布
申请公布指发明专利申请经初步审查合格后,自申请日(或优先权日)起18个月期满时的公布或根据申请人的请求提前进行的公布。
申请公布号:专利申请过程中,在尚未取得专利授权之前,国家专利局《专利公报》公开专利时的编号。
申请公布日:申请公开的日期,即在专利公报上予以公开的日期。
2020-09-22
授权
授权指对发明专利申请经实质审查没有发现驳回理由,授予发明专利权;或对实用新型或外观设计专利申请经初步审查没有发现驳回理由,授予实用新型专利权或外观设计专利权。
2020-10-09
预估到期
发明专利权的期限为二十年,实用新型专利权期限为十年,外观设计专利权期限为十五年,均自申请日起计算。专利届满后法律终止保护。
2040-07-22
基本信息
有效性 有效专利 专利类型 发明专利
申请号 CN202010707257.6 申请日 2020-07-22
公开/公告号 CN111594754B 公开/公告日 2020-10-09
授权日 2020-10-09 预估到期日 2040-07-22
申请年 2020年 公开/公告年 2020年
缴费截止日
分类号 F17C7/00F17C13/02F17C13/04F17C13/06F17C13/08F17C13/00 主分类号 F17C7/00
是否联合申请 独立申请 文献类型号 B
独权数量 1 从权数量 5
权利要求数量 6 非专利引证数量 0
引用专利数量 8 被引证专利数量 0
非专利引证
引用专利 CN203200370U、CN108799822A、CN210601030U、CN107779951A、CN107218507A、JP2019143672A、JPH10259899A、CN109921327A 被引证专利
专利权维持 2 专利申请国编码 CN
专利事件 事务标签 公开、实质审查、授权
申请人信息
申请人 第一申请人
专利权人 烟台青孜新材料科技有限公司 当前专利权人 烟台青孜新材料科技有限公司
发明人 孙寒羽 第一发明人 孙寒羽
地址 山东省烟台市高新区经八路17号内4号 邮编 264000
申请人数量 1 发明人数量 1
申请人所在省 山东省 申请人所在市 山东省烟台市
代理人信息
代理机构
专利代理机构是经省专利管理局审核,国家知识产权局批准设立,可以接受委托人的委托,在委托权限范围内以委托人的名义办理专利申请或其他专利事务的服务机构。
北京中索知识产权代理有限公司 代理人
专利代理师是代理他人进行专利申请和办理其他专利事务,取得一定资格的人。
陈宾宾
摘要
本发明提供一种单晶体气相生长用保护气体补充装置,涉及单晶体气相生长领域。该单晶体气相生长用保护气体补充装置,包括缓冲室,所述缓冲室的前端连接并贯通有导流管,缓冲室的后面固定安装有密封板,密封板的内部转动连接有连接机构,密封板的中部固定安装有支撑机构,支撑机构的底端内侧固定安装有报警机构,支撑机构的上方两端放置有气瓶。该单晶体气相生长用保护气体补充装置,通过设置质量相等的气瓶能够在其中一个气瓶供气后打破重力的平衡,从而能够实现旋转,进而在顶端能够通过触碰块与顶块接触关闭气瓶的同时,另一端的气瓶在底端通过触碰块与顶块接触打开气瓶,从而实现不间断的供气,解决现有技术中切换气瓶时暂时缺气的问题。
  • 摘要附图
    一种单晶体气相生长用保护气体补充装置
  • 说明书附图:图1
    一种单晶体气相生长用保护气体补充装置
  • 说明书附图:图2
    一种单晶体气相生长用保护气体补充装置
  • 说明书附图:图3
    一种单晶体气相生长用保护气体补充装置
  • 说明书附图:图4
    一种单晶体气相生长用保护气体补充装置
  • 说明书附图:图5
    一种单晶体气相生长用保护气体补充装置
  • 说明书附图:图6
    一种单晶体气相生长用保护气体补充装置
  • 说明书附图:图7
    一种单晶体气相生长用保护气体补充装置
  • 说明书附图:图8
    一种单晶体气相生长用保护气体补充装置
法律状态
序号 法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
1 2020-10-09 授权
2 2020-09-22 实质审查的生效 IPC(主分类): F17C 7/00 专利申请号: 202010707257.6 申请日: 2020.07.22
3 2020-08-28 公开
权利要求
权利要求书是申请文件最核心的部分,是申请人向国家申请保护他的发明创造及划定保护范围的文件。
1.一种单晶体气相生长用保护气体补充装置,包括缓冲室(1),其特征在于:所述缓冲室(1)的前端连接并贯通有导流管(2),缓冲室(1)的后面固定安装有密封板(3),密封板(3)的内部转动连接有连接机构(4),密封板(3)的中部固定安装有支撑机构(5),支撑机构(5)的底端内侧固定安装有报警机构(6),支撑机构(5)的上方两端放置有气瓶(7),气瓶(7)与连接机构(4)卡接;
所述密封板(3)的中部开设有限位环槽(301),密封板(3)位于限位环槽(301)的前方开设有密封环槽(302),限位环槽(301)的槽内最顶端和最低端固定安装有限位块(303),限位块(303)的两侧固定安装有顶块(304);
所述连接机构(4)包括环板(401),环板(401)转动连接在密封环槽(302)的中部,环板(401)的轴向两侧开设有通孔(402),环板(401)的后端位于通孔(402)的外部固定安装有卡环(403),卡环(403)远离环板(401)的一端中心开设有半环连接槽(404);
所述支撑机构(5)包括中心杆(501),中心杆(501)固定安装在密封板(3)的远离环板(401)的一端中心,中心杆(501)的外表面套接有支撑套(502),支撑套(502)与中心杆(501)转动连接,中心杆(501)位于支撑套(502)两侧的外表面转动连接有支撑台(503);
所述支撑套(502)的上表面两侧开设有放置槽(504),支撑套(502)的轴向两侧位于中心杆(501)的两侧固定安装有卡接轴(505),前后两个卡接轴(505)之间通过旋转轴(506)转动连接,旋转轴(506)的外表面远离中心杆(501)的一侧固定安装有限位套(507),限位套(507)远离旋转轴(506)的一端与支撑套(502)的上表面边缘接触,限位套(507)的边缘上表面插接有限位栓(508),限位栓(508)贯穿限位套(507)和支撑套(502)并延伸至支撑套(502)的下方;
所述报警机构(6)包括报警器(601),报警器(601)固定安装在支撑台(503)的内侧,支撑台(503)的内部位于报警器(601)的上方固定安装有固定杆(602),固定杆(602)远离支撑台(503)的一端固定安装有套环(603),套环(603)的内部固定安装有通电线圈(604),通电线圈(604)与报警器(601)之间通过导线(607)电连接,支撑套(502)的底端固定安装有环杆(605),环杆(605)外表面靠近支撑套(502)的一侧固定套接有铁套(606),环杆(605)套接在通电线圈(604)的内部;
所述气瓶(7)包括存气筒(701),存气筒(701)卡接在放置槽(504)的内部,存气筒(701)的顶端连接并贯通有控制头(702),控制头(702)卡接在卡环(403)的内部,控制头(702)的内部固定安装有固定板(703),固定板(703)的表面开设有贯穿固定板(703)的出气孔(704),固定板(703)远离存气筒(701)的一端位于出气孔(704)的两侧固定安装有磁吸垫(705),两个磁吸垫(705)之间滑动连接有挡板(706),挡板(706)远离固定板(703)的一端固定安装有触碰块(707),触碰块(707)贯穿控制头(702)并延伸至控制头(702)的外侧,触碰块(707)位于控制头(702)外部一端套接在半环连接槽(404)的内部。

2.根据权利要求1所述的一种单晶体气相生长用保护气体补充装置,其特征在于:所述导流管(2)与缓冲室(1)连接部分进行倒圆角,缓冲室(1)的截面形状为锥形。

3.根据权利要求1所述的一种单晶体气相生长用保护气体补充装置,其特征在于:所述限位套(507)的截面形状为半环形,限位套(507)的内侧固定安装有橡胶垫(509)。

4.根据权利要求1所述的一种单晶体气相生长用保护气体补充装置,其特征在于:所述密封环槽(302)的宽度大于限位环槽(301)的宽度,限位环槽(301)和密封环槽(302)同心。

5.根据权利要求1所述的一种单晶体气相生长用保护气体补充装置,其特征在于:所述卡环(403)转动连接在限位环槽(301)的内部,卡环(403)的外径与限位环槽(301)的宽度相同,卡环(403)的内径与控制头(702)的外径相同。

6.根据权利要求1所述的一种单晶体气相生长用保护气体补充装置,其特征在于:触碰块(707)的截面形状为半环形,触碰块(707)的厚度与顶块(304)的厚度相同。
说明书

技术领域

[0001] 本发明涉及单晶体气相生长领域,具体为一种单晶体气相生长用保护气体补充装置。

背景技术

[0002] 单晶体气相生长是使用一种或数种物质的气体,或使用载流气体通过液态源冒泡并携带源蒸汽,进入反应腔,以某种方式激活后,在衬底表面发生化学反应,并淀积出所需薄膜晶体的生长技术。
[0003] 单晶体生长的过程中需要持续的充入保护气体,且需要保护气体持续不间断的通入,现有的解决方式是在保护气体即将使用完毕后快速的更换气瓶,但是更换气瓶的过程存在间隙时间。

发明内容

[0004] 针对现有技术的不足,本发明提供了一种单晶体气相生长用保护气体补充装置,解决了背景技术中提出的问题。
[0005] 为实现以上目的,本发明通过以下技术方案予以实现:包括缓冲室,所述缓冲室的前端连接并贯通有导流管,缓冲室的后面固定安装有密封板,密封板的内部转动连接有连接机构,密封板的中部固定安装有支撑机构,支撑机构的底端内侧固定安装有报警机构,支撑机构的上方两端放置有气瓶,气瓶与连接机构卡接,所述密封板的中部开设有限位环槽,密封板位于限位环槽的前方开设有密封环槽,限位环槽的槽内最顶端和最低端固定安装有限位块,限位块的两侧固定安装有顶块,所述连接机构包括环板,环板转动连接在密封环槽的中部,环板的轴向两侧开设有通孔,环板的后端位于通孔的外部固定安装有卡环,卡环远离环板的一端中心开设有半环连接槽,所述支撑机构包括中心杆,中心杆固定安装在密封板的远离环板的一端中心,中心杆的外表面套接有支撑套,支撑套与中心杆转动连接,中心杆位于支撑套两侧的外表面转动连接有支撑台,所述支撑套的上表面两侧开设有放置槽,支撑套的轴向两侧位于中心杆的两侧固定安装有卡接轴,前后两个卡接轴之间通过旋转轴转动连接,旋转轴的外表面远离中心杆的一侧固定安装有限位套,限位套远离旋转轴的一端与支撑套的上表面边缘接触,限位套的边缘上表面插接有限位栓,限位栓贯穿限位套和支撑套并延伸至支撑套的下方,所述报警机构包括报警器,报警器固定安装在支撑台的内侧,支撑台的内部位于报警器的上方固定安装有固定杆,固定杆远离支撑台的一端固定安装有套环,套环的内部固定安装有通电线圈,通电线圈与报警器之间通过导线电连接,支撑套的底端固定安装有环杆,环杆外表面靠近支撑套的一侧固定套接有铁套,环杆套接在通电线圈的内部,所述气瓶包括存气筒,存气筒卡接在放置槽的内部,存气筒的顶端连接并贯通有控制头,控制头卡接在卡环的内部,控制头的内部固定安装有固定板,固定板的表面开设有贯穿固定板的出气孔,固定板远离存气筒的一端位于出气孔的两侧固定安装有磁吸垫,两个磁吸垫之间滑动连接有挡板,挡板远离固定板的一端固定安装有触碰块,触碰块贯穿控制头并延伸至控制头的外侧,触碰块位于控制头外部一端套接在半环连接槽的内部。
[0006] 优选的,所述导流管与缓冲室连接部分进行倒圆角,缓冲室的截面形状为锥形。
[0007] 优选的,所述限位套的截面形状为半环形,限位套的内侧固定安装有橡胶垫。
[0008] 优选的,所述密封环槽的宽度大于限位环槽的宽度,限位环槽和密封环槽同心。
[0009] 优选的,所述卡环转动连接在限位环槽的内部,卡环的外径与限位环槽的宽度相同,卡环的内径与控制头的外径相同。
[0010] 优选的,触碰块的截面形状为半环形,触碰块的厚度与顶块的厚度相同。
[0011] 与现有技术相比,本发明具备以下有益效果:1、该单晶体气相生长用保护气体补充装置,通过设置质量相等的气瓶能够在其中一个气瓶供气后打破重力的平衡,从而能够实现旋转,进而在顶端能够通过触碰块与顶块接触关闭气瓶的同时,另一端的气瓶在底端通过触碰块与顶块接触打开气瓶,从而实现不间断的供气,解决现有技术中切换气瓶时暂时缺气的问题。
[0012] 2、该单晶体气相生长用保护气体补充装置,在气瓶下降的过程中环杆从通电线圈中通过,当快要将气瓶中的气体使用完毕时,能够将铁套插入到通电线圈中,通电线圈的磁通量增加,导线传递信号给报警器,能够提醒操作人员更换气瓶,从而解决了现有技术中换气瓶不及时的问题。
[0013] 3、该单晶体气相生长用保护气体补充装置,通过设置两个磁吸垫能够在挡板发生移动后对挡板进行固定,解决了缺乏固定后的挡板容易滑落导致供气间歇的问题。
[0014] 4、单晶体气相生长用保护气体补充装置,通过设置卡环并在卡环上开设半环连接槽能够将气瓶的控制头插接在卡环中,同时能够通过半环连接槽与触碰块配合能够实现卡接,解决了现有技术中气瓶与卡环连接不好的问题。

实施方案

[0024] 下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
[0025] 实施例一,如图1-8所示,一种单晶体气相生长用保护气体补充装置,包括缓冲室1,缓冲室1的前端连接并贯通有导流管2,导流管2的与缓冲室1连接部分进行倒圆角,缓冲室1的截面形状为锥形。通过这样的设置能够保证流出的气体能够平缓,缓冲室1的后面固定安装有密封板3,密封板3的内部转动连接有连接机构4,密封板3的中部固定安装有支撑机构5,支撑机构5的底端内侧固定安装有报警机构6,支撑机构5的上方两端放置有气瓶7,气瓶7与连接机构4卡接,密封板3的中部开设有限位环槽301,密封板3位于限位环槽301的前方开设有密封环槽302,密封环槽302的宽度大于限位环槽301的宽度,限位环槽301和密封环槽302同心。通过这样的设置能够尽可能的限制密封环槽302的气体泄漏,限位环槽301的槽内最顶端和最低端固定安装有限位块303,限位块303的两侧固定安装有顶块304,连接机构4包括环板401,环板401转动连接在密封环槽302的中部,环板401的轴向两侧开设有通孔402,环板401的后端位于通孔402的外部固定安装有卡环403,卡环403背面中心开设有半环连接槽404,支撑机构5包括中心杆501,中心杆501固定安装在远离环板401的一端中心,中心杆501的外表面套接在支撑套502,中心杆501位于支撑套502内部的表面固定有卡片,支撑套502内部的固定安装有弹簧片,在旋转的过程中弹簧片与卡片碰撞能够阻碍旋转,弹簧片发生弹性形变后能够通过卡片,能够使装置的旋转速度减慢,通过设置计算确定后的一定数量卡片,能够使气瓶的旋转速度减慢到指定速度,从而保证在其中一个气瓶即将片排空气体时达到最高点,支撑套502与中心杆501转动连接,中心杆501位于支撑套502两侧的外表面转动连接有支撑台503,支撑套502的上表面两侧开设有放置槽504,支撑套502的轴向两侧位于中心杆501的两侧固定安装有卡接轴505,前后两个卡接轴505之间通过旋转轴506转动连接,旋转轴506的外表面远离中心杆501的一侧固定安装有限位套507,限位套
507的截面形状为半环形,限位套507的内侧固定安装有橡胶垫509,通过这样的设置能够更好的将气瓶7固定好,限位套507远离旋转轴506的一端与支撑套502的上表面边缘接触,限位套507的边缘上表面插接有限位栓508,限位栓508贯穿限位套507和支撑套502并延伸至支撑套502的下方,报警机构6包括报警器601,报警器601固定安装有支撑台503的内侧,支撑台503的内部位于报警器601的上方固定安装有固定杆602,固定杆602远离支撑台503的一端固定安装有套环603,套环603的内部固定安装有通电线圈604,通电线圈604与报警器
601之间通过导线607电连接,支撑套502的底端固定安装有环杆605,环杆605外表面靠近支撑套502的一侧固定套接有铁套606,通过设置铁套606能够增加磁通量,当磁通量增加时能够通过,导线607将信号的变化传递给报警器601,报警器601开始蜂鸣,环杆605套接在通电线圈604的内部,气瓶7包括存气筒701,存气筒701卡接在放置槽504的内部,存气筒701的顶端连接并贯通有控制头702,卡环403转动连接在限位环槽301的内部,卡环403的外径与限位环槽301的宽度相同,卡环403的内径与控制头702的外径相同。通过这样的设置能够保证卡环403与控制头702连接的稳定性,同时能够保证卡环403能够在限位环槽301中转动,控制头702卡接在卡环403的内部,控制头702的内部固定安装有固定板703,固定板703的表面开设有贯穿固定板703的出气孔704,固定板703远离存气筒701的一端位于出气孔704的两侧固定安装有磁吸垫705,两个磁吸垫705之间滑动连接有挡板706,挡板706远离固定板703的一端固定安装有触碰块707,触碰块707贯穿控制头702并延伸至控制头702的外侧,触碰块707的截面形状为半环形,触碰块707的厚度与顶块304的厚度相同。通过这样的设置能够保证顶块304能够挤压到触碰块707,触碰块707位于控制头702外部一端套接在半环连接槽
404的内部。
[0026] 在使用时,将两个满气的气瓶7放置到放置槽504内,将控制头702插接到卡环403中,此时旋转支撑套502顺时针转动九十度,能够将左侧的控制头702中的触碰块707通过顶块304顶起,触碰块707挤压挡板706,进而将挡板706推动与一端的磁吸垫705分离同时与另一端的磁吸垫705接触,从而能够将出气孔704打开,进而能够将保护气体从存气筒701中排出到缓冲室1中,放置支撑套502保证两端平衡,当使用一段时间后由于使用后的气瓶7中的气体缺失质量下降,最终气瓶7上升,当上升到最高点时顶块304反向顶出触碰块707将气瓶7密封,此时另一端的气瓶7恰好打开能够排气,从而能够周期性的持续不断的对缓冲室1进行供气,在气瓶7下降的过程中环杆605从通电线圈604中通过,当快要将气瓶7中的气体使用完毕时,通过支撑套502旋转能够将铁套606插入到通电线圈604中,通电线圈604的磁通量增加,导线607传递信号给报警器601,能够提醒操作人员更换气瓶7。
[0027] 尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

附图说明

[0015] 图1为本发明结构示意图。
[0016] 图2为本发明支撑机构连接示意图。
[0017] 图3为本发明图1中B处结构半剖示意图。
[0018] 图4为本发明图2中A处放大图。
[0019] 图5为本发明支撑套连接示意图。
[0020] 图6为本发明缓冲室半剖示意图。
[0021] 图7为为本发明图5中C处结构半剖放大图。
[0022] 图8为本发明气瓶半剖示意图。
[0023] 其中,缓冲室-1、导流管-2、密封板-3、连接机构-4、支撑机构-5、报警机构-6、气瓶-7、限位环槽-301、密封环槽-302、限位块-303、顶块-304、环板-401、通孔-402、卡环-403、半环连接槽-404、中心杆-501、支撑套-502、支撑台-503、放置槽-504、卡接轴-505、旋转轴-506、限位套-507、限位栓-508、橡胶垫-509、报警器-601、固定杆-602、套环-603、通电线圈-604、环杆-605、铁套-606、导线-607、存气筒-701、控制头-702、固定板-703、出气孔-
704、磁吸垫-705、挡板-706、触碰块-707。
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