[0019] 以下结合具体实施例对上述方案做进一步说明。应理解,这些实施例是用于说明本申请而不限于限制本申请的范围。实施例中采用的实施条件可以根据具体厂家的条件做进一步调整,未注明的实施条件通常为常规实验中的条件。
[0020] 实施例1一种加速金属片表面二氧化硅自动沉积成膜装置,如图1‑11所示,包括有固定架
1、控制器2、输送机构3、转浸机构4和加速沉积成膜机构5;固定架1与控制器2相连接;固定架1与输送机构3相连接;固定架1与转浸机构4相连接;固定架1与加速沉积成膜机构5相连接;转浸机构4与加速沉积成膜机构5相连接。
[0021] 工作过程:开始工作前,通过固定架1将装置固定平稳,然后外接电源,通过人工第一次将两块大小一样的金属盘放置在输送机构3,输送机构3将两块金属片固定,然后输送机构3将该两块金属片输送至转浸机构4第一组浸泡部件上,转浸机构4将第一组浸泡部件两块金属片固定好后,转浸机构4自身转动一百八十度,将第二组浸泡部件转动至于第一组相同的位置,然后人工再次将两块与上述一样的金属片放置在输送机构3,然后输送机构3将第二次放置的金属片输送至转浸机构4第二组浸泡部件,并且使其固定在转浸机构4第二组浸泡部件上,然后转浸机构4将四块金属片同时浸泡到第一溶液中,浸泡一定时间后,转浸机构4将两组浸泡部件转动九十度,然后转浸机构4将四块金属片同时浸泡到第二溶液中,浸泡一定时间后,转浸机构4将两组浸泡部件转动一定角度,使得转浸机构4两组浸泡部件分别与加速沉积成膜机构5的两组倾斜部件处于同一倾斜位置,然后通过转浸机构4和加速沉积成膜机构5一起工作,使得四块金属片分别两两倾斜,以此加快四组金属片表面沉积成膜,当以此往复一定次数后,输送机构3将转浸机构4上的金属片一次两块进行翻转,即使得转浸机构4上的四块金属片均转动一百八十度,然后对四块金属片的另外一个面进行加速沉积成膜,当四块金属片表面薄膜形成后,则通过输送机构3一次两块的将金属片输送回原位,然后通过人工将其取走;本发明实现了能够有效的加快金属片表面纳米二氧化硅的沉积成膜,并且确保沉积成膜的金属片质量合格,有效的提高了生产效率的工作。
[0022] 本发明所述的,输送机构3包括有第一电动滑块301、第一U形连接板302、第二电动滑块303、第一传动轴304、第一平齿轮305、第一连接板306、第三电动滑块307、第一连接柱308、第二连接柱309、第一电动推杆3010、第二U形连接板3011、第二传动轴3012、第二平齿轮3013和第三平齿轮3014;第一电动滑块301与固定架1进行滑动连接;第一电动滑块301与两组第一U形连接板302进行固接;两组第一U形连接板302之间两侧均设置有一组第一电动滑块301;第一U形连接板302与两组第二电动滑块303进行滑动连接;第二电动滑块303与第一传动轴304进行转动连接;第一传动轴304与第一平齿轮305进行固接;第一传动轴304与第一连接板306进行固接;第一连接板306与两组第三电动滑块307进行滑动连接;第二电动滑块303、第一连接板306和第三电动滑块307在第一U形连接板302两侧均设置有一组;两组第一连接板306上均设置有两组第三电动滑块307;第一连接柱308与另一组第二电动滑块
303进行固接;第一连接柱308与第二连接柱309进行转动连接;第二连接柱309与另一组第一连接板306进行固接;两组第一U形连接板302上均设置有一组第二电动滑块303至第二连接柱309;第一电动滑块301上方设置有第二平齿轮3013;第二平齿轮3013与第二传动轴
3012进行固接;第二传动轴3012与第二U形连接板3011进行转动连接;第二传动轴3012与第三平齿轮3014进行固接;第二U形连接板3011与第一电动推杆3010进行固接;第一电动推杆
3010与固定架1进行固接。
[0023] 开始工作前,通过人工将两块相同的金属片放置在八组第三电动滑块307之间,然后八组第三电动滑块307同时工作,将两块金属片分别夹紧,然后通过两组第一电动滑块301同时带动第一U形连接板302至第二连接柱309和两块金属片运动至转浸机构4指定位置,然后通过转浸机构4第一组浸泡部件将两块金属片固定,然后四组第二电动滑块303分别带动与之相关的部件向下运动,直至第三电动滑块307在回到原位时不会被阻碍,然后两组第一电动滑块301将第一U形连接板302至第二连接柱309带回原位,同时四组第二电动滑块303将与之相关的部件带回原位,然后转浸机构4转动一百八十度,使得转浸机构4第二组浸泡部件运动至与第一组浸泡部件相同的位置,然后再次通过人工将与上述一样的金属片放置在八组第三电动滑块307之间,然后第一电动滑块301至第二连接柱309重复上述工作,使得四组金属片均被转浸机构4固定;该机构完成了对金属片的输送工作,以及后期金属片翻转的工作。
[0024] 本发明所述的,转浸机构4包括有电机401、第三传动轴402、第一锥齿轮403、第二锥齿轮404、第四平齿轮405、第三锥齿轮406、第一滑套407、第四传动轴408、第二连接板409、第二电动推杆4010、第一传动轮4011、第二传动轮4012、第五传动轴4013、第五平齿轮
4014、齿盘4015、第三连接柱4016、圆盘4017、第一溶液放置框4018、第二溶液放置框4019、防护板4020、废液收集框4021、氮气存放桶4022、第三连接板4023、第一氮气输送管4024、第一氮气出管4025、第六传动轴4026、第六平齿轮4027、第四连接板4028、第四电动滑块4029、去离子水存放框4030、第五电动滑块4031、第六电动滑块4032、去离子水输送管4033、去离子水出管4034、第四连接柱4035、第五连接柱4036、第二氮气输送管4037和第二氮气出管
4038;电机401与固定架1进行固接;电机401输出轴与第三传动轴402进行固接;第三传动轴
402与固定架1进行转动连接;第三传动轴402同时与第一锥齿轮403、第二锥齿轮404和第四平齿轮405进行固接;第一锥齿轮403与加速沉积成膜机构5进行啮合;第二锥齿轮404上方设置有第三锥齿轮406;第三锥齿轮406与第一滑套407进行固接;第一滑套407与第四传动轴408相连接;第一滑套407与第二连接板409进行转动连接;第四传动轴408与固定架1进行转动连接;第四传动轴408与第一传动轮4011进行固接;第二连接板409与第二电动推杆
4010进行固接;第二电动推杆4010与固定架1进行固接;第一传动轮4011外环面通过皮带与第二传动轮4012进行传动连接;第二传动轮4012第五传动轴4013进行固接;第五传动轴
4013与固定架1进行转动连接;第五传动轴4013与第五平齿轮4014进行固接;第五平齿轮
4014与齿盘4015进行啮合;齿盘4015与第三连接柱4016进行固接;第三连接柱4016与固定架1进行转动连接;第三连接柱4016与圆盘4017进行固接;圆盘4017通过连接块同时与两组第三连接板4023进行固接;圆盘4017下方设置有第一溶液放置框4018;第一溶液放置框
4018与固定架1进行固接;第一溶液放置框4018与防护板4020进行固接;第一溶液放置框
4018侧面设置有第二溶液放置框4019;第二溶液放置框4019与固定架1进行固接;第二溶液放置框4019与防护板4020进行固接;第一溶液放置框4018和第二溶液放置框4019在固定架
1上对角均设置有一组;防护板4020在另一组第一溶液放置框4018和第二溶液放置框4019上也设置有一组;两组防护板4020之间设置有废液收集框4021;废液收集框4021与固定架1进行固接;第三连接板4023与氮气存放桶4022进行固接;第三连接板4023与第一氮气输送管4024进行固接;第三连接板4023与第六传动轴4026进行转动连接;第三连接板4023与第二氮气输送管4037进行固接;第一氮气输送管4024与多组第一氮气出管4025进行固接;第六传动轴4026与第六平齿轮4027进行固接;第六传动轴4026与第四连接板4028进行固接;
第四连接板4028与第四电动滑块4029进行滑动连接;第四电动滑块4029与去离子水存放框
4030进行固接;第四电动滑块4029同时与第五电动滑块4031和第六电动滑块4032进行滑动连接;第四电动滑块4029与去离子水输送管4033进行固接;去离子水存放框4030与去离子水输送管4033进行固接;第五电动滑块4031和第六电动滑块4032在第四电动滑块4029两侧均设置有一组;去离子水输送管4033同时与多组去离子水出管4034进行固接;第四连接板
4028在第四电动滑块4029两侧均设置有一组;另一组第四连接板4028与第四连接柱4035进行固接;第四连接柱4035与第五连接柱4036进行转动连接;第五连接柱4036与第三连接板
4023进行固接;第一氮气输送管4024、第一氮气出管4025、第六传动轴4026至第六电动滑块
4032、第四连接柱4035和第五连接柱4036在第三连接板4023两侧均设置有一组;且另外两组第四连接板4028更加靠近氮气存放桶4022;氮气存放桶4022至第二氮气出管4038在圆盘
4017对角处均设置有一组。
[0025] 当两块金属片分别运动至两组第四电动滑块4029下方的四组第五电动滑块4031和第六电动滑块4032正下方后,两组第四电动滑块4029同时带动与之相关的部件向下运动,直至四组第五电动滑块4031和第六电动滑块4032越过两块金属片上表面一定距离,然后四组第五电动滑块4031和第六电动滑块4032同时工作,分别将两块金属片夹紧,然后两组第四电动滑块4029同时带动与之相关的部件恢复原位,确保不会阻碍输送机构3相关部件恢复原位,然后电机401开始工作,电机401带动第三传动轴402转动,第三传动轴402带动第二锥齿轮404转动,第二电动推杆4010带动第二连接板409向下运动,即带动第三锥齿轮406和第一滑套407向下运动,直至第三锥齿轮406与第二锥齿轮404啮合,然后第二锥齿轮
404通过第三锥齿轮406传动第一滑套407,第一滑套407带动第四传动轴408转动,第四传动轴408通过传动第二传动轮4012,第二传动轮4012通过第五传动轴4013传动第五平齿轮
4014,第五传动轴4013,第五平齿轮4014通过齿盘4015传动第三连接柱4016,第三连接柱
4016带动圆盘4017转动一百八十度,即带动与圆盘4017相关的部件转动一百八十度,使得两组氮气存放桶4022至第五连接柱4036互换位置,然后通过输送机构3所述工作,再次将两块金属排尿输送至该组的四组第五电动滑块4031和第六电动滑块4032下方,然后该组氮气存放桶4022至第五连接柱4036重复上述工作,当输送机构3恢复原位后,第四电动滑块4029带动去离子水存放框4030至去离子水出管4034向下运动,即带动被两组第五电动滑块4031和第六电动滑块4032夹紧的金属片向下运动,直至金属片完全浸没在第一溶液放置框4018中,另外三组第四电动滑块4029下方的金属片同时完成上述工作,当金属片在第一溶液放置框4018浸泡一定时间后,第四电动滑块4029将相关部件带回原位,即使得金属片与第一溶液放置框4018分离,然后电机401再次工作,再次通过第三锥齿轮406与第二锥齿轮404啮合,带动圆盘4017下方相关部件转动九十度,即使得四块金属片分别运动至两组第二溶液放置框4019正上方,然后四组第四电动滑块4029再次工作,使得四块金属片完全浸没到两组第二溶液放置框4019中,当浸泡一定时间后,第四电动滑块4029再次将相关部件带回原位,即使得金属片与第二溶液放置框4019分离,然后电机401再次通过第三锥齿轮406与第二锥齿轮404,使得圆盘4017及其下方相关部件转动一定角度,使得四块金属片均位于废液收集框4021正上方,且第六平齿轮4027刚好与加速沉积成膜机构5处于同一倾斜角度,然后通过加速沉积成膜机构5使得四块金属片均倾斜一定角度,以此加速金属片表面的沉积成膜,当金属片表面沉积一定时间后,去离子水存放框4030中的水泵开始工作,去离子水存放框4030中的水泵将去离子水输送至去离子水输送管4033,然后去离子水输送管4033将去离子水通过多组去离子水出管4034喷洒至金属片的表面,通过去离子水将金属片表面未吸附沉积的容易清洗干净,然后氮气存放桶4022中的气泵开始工作,氮气存放桶4022中的气泵将氮气输送至第一氮气输送管4024和第二氮气出管4038,第一氮气输送管4024和第二氮气出管4038分别通过多组第二氮气输送管4037和第二氮气出管4038氮气吹动至金属片表面,即通过氮气快速将金属片表面残留的去离子水清理干净,清理下来的废液均自动流落到废液收集框4021中,并且在两组防护板4020的作用下,能够有效的防止废液流落到两组第一溶液放置框4018和第二溶液放置框4019中,另一组至第二氮气出管4038也重复上述工作,然后电机401再次带动圆盘4017转动,使得金属片轮流运动至第一溶液放置框4018和第二溶液放置框4019上方,然后重复上述浸泡和沉淀成膜的工作,当重复一定次数后,即金属片表面基本沉积成膜后,第四电动滑块4029带动金属片向上运动一定距离,确保其不会阻碍第三电动滑块307的运动,然后两组第一电动滑块301带动八组第三电动滑块307运动至对应的两块金属片下方,四组第二电动滑块303带动八组第三电动滑块307向上运动,直至八组第三电动滑块307超过金属片底部一定距离,然后八组第三电动滑块307将两块金属片夹紧,同时,四组第五电动滑块4031和第六电动滑块4032将两块金属片松开,然后两组第四电动滑块4029带动四组第五电动滑块4031和第六电动滑块4032向上运动至不会阻碍金属片运动,然后两组第一电动滑块301将金属片带动至初始放置位置,然后第一电动推杆3010带动第二U形连接板3011至第三平齿轮3014向下运动,直至第三平齿轮3014与第四平齿轮405啮合,同时,第二平齿轮3013也同时与两组第一平齿轮305啮合,然后电机401带动第四平齿轮405转动,第四平齿轮405通过第三平齿轮3014传动第二传动轴3012,第二传动轴3012通过第二平齿轮3013同时传动两组第一平齿轮305,通过两组第一平齿轮305带动两组第一传动轴304转动一百八十度,即使得两块金属片转动一百八十度,同时,通过两组第一连接柱
308绕着两组第二连接柱309转动,确保装置稳定,然后两组第一电动滑块301再次工作,重复上述初始放置金属片后,将金属片输送至转浸机构4的工作,另外两块金属片也通过电机
401工作,使其运动至与翻转金属片相同的位置,然后输送机构3重复上述对金属片的翻转工作,翻转完成后的金属片,再次通过转浸机构4和加速沉积成膜机构5重复上述沉积成膜的工作,金属片表面完全沉积成膜后,通过输送机构3两两一组将金属片输送至初始放置位置,然后通过人工取走;该机构完成了对金属片的浸泡,以及加速金属片表main沉积成膜的工作。
[0026] 本发明所述的,加速沉积成膜机构5包括有第四锥齿轮501、第七传动轴502、第三传动轮503、第四传动轮504、第八传动轴505、第五锥齿轮506、第六锥齿轮507、第九传动轴508、第二滑套509、第七平齿轮5010、第五连接板5011、第三电动推杆5012、第五传动轮
5013、第六传动轮5014和第十传动轴5015;第四锥齿轮501与第一锥齿轮403进行啮合;第四锥齿轮501与第七传动轴502进行固接;第七传动轴502与固定架1进行转动连接;第七传动轴502同时与第三传动轮503和第五传动轮5013进行固接;第三传动轮503外环面通过皮带与第四传动轮504进行传动连接;第四传动轮504与第八传动轴505进行固接;第八传动轴
505与固定架1进行转动连接;第八传动轴505与第五锥齿轮506进行固接;第五锥齿轮506与第六锥齿轮507进行啮合;第六锥齿轮507与第九传动轴508进行固接;第九传动轴508与固定架1进行转动连接;第九传动轴508与第二滑套509相连接;第二滑套509与第七平齿轮
5010进行固接;第二滑套509与第五连接板5011进行转动连接;第五连接板5011与第三电动推杆5012进行固接;第三电动推杆5012与固定架1进行固接;第五传动轮5013外环面通过皮带与第六传动轮5014进行传动连接;第六传动轮5014与第十传动轴5015进行固接;第十传动轴5015与固定架1进行转动连接;第五锥齿轮506至第三电动推杆5012在固定架1对角处也设置有一组;第十传动轴5015与另一组第五锥齿轮506进行固接。
[0027] 当四块金属片均运动至废液收集框4021上方后,第六平齿轮4027刚好与第七平齿轮5010处于同一倾斜位置,然后电机401带动第三传动轴402转动,第三传动轴402通过第一锥齿轮403传动第四锥齿轮501,第四锥齿轮501通过第三传动轮503传动第四传动轮504,第四传动轮504通过第八传动轴505传动第五锥齿轮506,第五锥齿轮506通过第六锥齿轮507传动第九传动轴508,第三电动推杆5012带动第五连接板5011向靠近第六平齿轮4027处运动,即带动第二滑套509和第七平齿轮5010向靠近第六平齿轮4027处运动,直至第七平齿轮5010与第六平齿轮4027啮合,然后第六锥齿轮507通过第九传动轴508传动第二滑套509,第二滑套509通过第七平齿轮5010传动第六平齿轮4027,第六平齿轮4027带动第六传动轴
4026转动一定角度,第六传动轴4026带动第四连接板4028至第四连接柱4035和金属片转动一定角度,而第四连接柱4035则通过绕着第五连接柱4036转动来确保装置稳定,与此同时第六平齿轮4027带动与之啮合的另一组第六平齿轮4027,从而带动第三连接板4023上另一块金属片转动一定角度,从而加快金属片表面的沉积成膜,同样,第七传动轴502带动第五传动轮5013转动,第五传动轮5013通过第六传动轮5014传动第十传动轴5015,第十传动轴
5015的另一组第五锥齿轮506转动,另一组第五锥齿轮506至第三电动推杆5012重复上述工作;该机构完成了对加快金属片表面沉积成膜的工作。
[0028] 本发明所述的,当第六平齿轮4027与另一组第七平齿轮5010处于同一倾斜位置时,四组第五电动滑块4031和第六电动滑块4032之间夹紧的两块金属片均刚好位于废液收集框4021上方。
[0029] 使得在加快金属片表面沉积成膜的后,清洗多余溶液时,能够通过废液收集框4021收集起来。
[0030] 本发明所述的,两组第一溶液放置框4018和第二溶液放置框4019为对角对称放置。
[0031] 使得金属片能够依次轮流浸泡溶液,加快沉积成膜的速度。
[0032] 本发明所述的,第五电动滑块4031和第六电动滑块4032下方均设设置有圆柱形压块。
[0033] 确保将金属片夹紧的同时,不会对金属片产生影响。
[0034] 本发明所述的,在两组第一溶液放置框4018和第二溶液放置框4019上各设置有一组防护板4020。
[0035] 确保清洗后的废液不会流落到两组第一溶液放置框4018和第二溶液放置框4019中。
[0036] 尽管已经示出和描述了本发明的实施例,但对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行变化,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。