发明内容
[0004] 为了解决上述问题,本发明提供了一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置,可以解决阀门控制氩气充入量时,氩气充入量不稳定、容易导致晶棒晃动和晶片质量不佳等问题,可以实现对氩气充入时的缓冲和控量的功能,具有对氩气进行缓冲,减轻气体对晶棒的冲击力、氩气充入量稳定和晶片质量有保障的优点。
[0005] 为了实现上述目的,本发明采用以下技术方案,一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置,包括生长炉、生长转动提升装置和氩气缓冲装置,所述生长炉的上端安装有生长转动提升装置,生长转动提升装置的左右两侧面对称安装有氩气缓冲装置。
[0006] 所述的氩气缓冲装置包括氩气管,生长炉侧壁的上端设有通孔,通孔内连接有氩气管,氩气管为弧形结构,氩气管的出口处安装有缓冲垫,缓冲垫上均匀设有出气孔,氩气管外侧壁的上端安装有连接箱,氩气管的上端面安装有连接杆,连接杆在其周向方向均匀分布,连接杆的上端面安装有氩气连接管,连接杆上安装有控量机构,连接箱的上端面安装有倾斜防护板,倾斜防护板的上端与氩气连接管侧壁的上端连接,氩气连接管内侧壁的上下端均安装有连接板,连接板之间安装有固定杆,固定杆侧壁的上下端通过轴承安装有缓冲板,缓冲板为不规则迷宫型,工作时,氩气从氩气连接管的上端进入到氩气连接管中,氩气在氩气连接管内流动时会带动缓冲板转动,缓冲板为不规则迷宫型,从而可以减弱氩气进入时的流速,氩气进过缓冲板后再经过控量机构的作用进入到氩气管中,再经过缓冲垫的作用,进入到生长炉内,经过缓冲板、控量机构和缓冲垫的作用,已经大大减弱了氩气的流速同时也能够控制氩气进入生长炉内的量。
[0007] 作为本发明的一种优选技术方案,所述的控量机构包括转动齿盘,氩气管外侧壁的顶端套接有转动齿盘,转动齿盘的左端啮合有转动齿轮,转动齿轮的下端面与转动电机的输出轴相连接,转动电机通过电机座安装在连接箱内侧壁上,转动齿盘内侧与氩气管外侧壁之间连接有滑动杆,转动齿盘的下端面连接有转动球,转动球安装在承托板的上端面,承托板安装在氩气管的外侧壁上,转动齿盘的上端面安装有第一转动杆,第一转动杆沿其周向方向均匀分布,第一转动杆侧壁通过轴承安装有转动板,转动板的另一端通过轴承安装在第二转动杆上,第二转动杆的下端安装有挡板,挡板的右端通过轴承安装在连接杆的侧壁上,挡板形状为花瓣形,工作时,转动电机通过转动齿轮带动转动齿盘转动,可以带动转动齿盘上的第一转动杆转动,第一转动杆通过转动板带动第二转动杆转动,可以带动挡板转动,挡板为花瓣型,因而挡板转动时氩气通过控量机构的空间会变大,从而达到控制氩气充入量的目的。
[0008] 工作时,首先氩气从氩气连接管的上端进入到氩气连接管中,氩气在氩气连接管内流动时会带动缓冲板转动,缓冲板为不规则迷宫型,从而可以减弱氩气进入时的流速;然后,转动电机通过转动齿轮带动转动齿盘转动,可以带动转动齿盘上的第一转动杆转动,第一转动杆通过转动板带动第二转动杆转动,可以带动挡板转动,挡板为花瓣型,因而挡板转动时氩气通过控量机构的空间会变大,可以控制氩气的通过量;最后,经过控量机构的作用进入到氩气管中,再经过缓冲垫的作用,进入到生长炉内,可以解决阀门控制氩气充入量时,氩气充入量不稳定、容易导致晶棒晃动和晶片质量不佳等问题,可以实现对氩气充入时的缓冲和控量的功能。
[0009] 本发明的有益效果在于:
[0010] 一、本发明可以解决阀门控制氩气充入量时,氩气充入量不稳定、容易导致晶棒晃动和晶片质量不佳等问题,可以实现对氩气充入时的缓冲和控量的功能,具有对氩气进行缓冲,减轻气体对晶棒的冲击力、氩气充入量稳定和晶片质量有保障的优点。
[0011] 二、本发明设置有缓冲板,缓冲板的形状为不规则迷宫型,能够减轻氩气进入氩气连接管后的冲击力;
[0012] 三、本发明设置有控量机构,控量机构能够根据需要调节氩气经过控量机构的空间,从而起到控制氩气充入量的目的;
[0013] 四、本发明设置缓冲垫,缓冲垫上设置有出气孔,从而又进一步的减轻了氩气进入生长炉内的冲击力,保障了晶棒不会产生晃动;
[0014] 五、本发明的氩气管为弧形结构,改变了氩气前进的方向,起到了减缓氩气在氩气管内的流速和冲击力的作用。