背景技术
[0002] 等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等，等离子刻蚀是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面，然而现有的等离子刻蚀机在排出废气的过程中仅仅是将产生的气体初步过滤后排出，并没有对酸性气体进行中和反应，直接排出会对环境产生较大的危害，而且不便于对过滤芯进行拆卸清理，从而容易降低等离子刻蚀机的实用性。实用新型内容
[0003] 本实用新型的目的在于提供一种具备废气处理功能的等离子体刻蚀机，具备过滤效果好和便于拆卸过滤芯的优点，解决了现有的等离子刻蚀机在排出废气的过程中仅仅是将产生的气体初步过滤后排出，并没有对酸性气体进行中和反应，直接排出会对环境产生较大的危害，而且不便于对过滤芯进行拆卸清理，从而容易降低等离子刻蚀机实用性的问题。
[0004] 为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具备废气处理功能的等离子体刻蚀机，包括刻蚀机本体和净化箱，所述净化箱的右侧固定连接有过滤箱，所述刻蚀机本体左侧的顶部固定连接有吸风机，所述吸风机右侧的进风口通过管道与刻蚀机本体相连通，所述吸风机的底部连通有排风管，所述排风管的底部与过滤箱连通，所述过滤箱的内腔设置有过滤芯，所述过滤箱的左侧通过管道与净化箱连通，所述净化箱的顶部固定连接有水箱，所述水箱的前侧固定连接有水泵，所述水泵右侧的进水口通过管道与水箱连通，所述水泵的底部连通有输水管，所述净化箱内腔顶部的两侧均固定连接有支撑杆，所述支撑杆的底部通过销轴活动连接有活动框，两个活动框相对的一侧均固定连接有喷头，所述输水管的底部贯穿至净化箱的内腔并与喷头相连通，所述净化箱顶部的两侧均固定连接有电动推杆，所述电动推杆底部的输出端贯穿至净化箱的内腔并固定连接有移动杆，所述活动框的正面设置有传动轴，所述传动轴的后侧贯穿活动框并与移动杆固定连接，所述过滤芯的顶部贯穿过滤箱并固定连接有固定板，所述过滤箱顶部的右侧固定连接有固定盒，所述固定盒内腔两侧之间的底部固定连接有滑杆，所述滑杆的表面滑动连接有滑套，所述滑套的正面固定连接有限位杆，所述限位杆的左侧贯穿至固定盒的外侧，所述固定板的右侧开设有配合限位杆使用的限位槽，所述滑杆的表面且位于滑套的右侧套设有复位弹簧，所述固定盒内腔的右侧固定连接有支撑柱，所述支撑柱的内腔滑动连接有支杆，所述支杆的顶部贯穿至固定盒的外侧，所述滑套的顶部活动连接有拉杆，所述拉杆远离滑套的一侧贯穿至支撑柱的内腔并与支杆活动连接。
[0005] 优选的，所述净化箱左侧的底部连通有排水管，排水管的表面套设有第一电磁阀。
[0006] 优选的，所述净化箱左侧的顶部连通有出风管，出风管的表面套设有第二电磁阀。
[0007] 优选的，所述传动轴与活动框的内腔滑动连接，所述净化箱顶部的两侧均开设有配合移动杆使用的第一开口。
[0008] 优选的，所述复位弹簧的两端分别与滑套和固定盒的内壁固定连接，所述固定盒顶部的右侧开设有配合支杆使用的第二开口。
[0009] 优选的，所述滑套的底部固定连接有滑块，所述固定盒内腔的底部开设有配合滑块使用的滑槽。
[0010] 与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
[0011] 1、本实用新型通过刻蚀机本体、净化箱、过滤箱、吸风机、排风管、过滤芯、水箱、水泵、输水管、支撑杆、活动框、喷头、电动推杆、移动杆、传动轴、固定板、固定盒、滑杆、滑套、限位杆、限位槽、复位弹簧、支撑柱、支杆和拉杆的配合使用，具备过滤效果好和便于拆卸过滤芯的优点，解决了现有的等离子刻蚀机在排出废气的过程中仅仅是将产生的气体初步过滤后排出，并没有对酸性气体进行中和反应，直接排出会对环境产生较大的危害，而且不便于对过滤芯进行拆卸清理，从而容易降低等离子刻蚀机实用性的问题。
[0012] 2、本实用新型通过设置第一电磁阀，能够对排水管的开合进行控制，便于废水的排出，通过设置传动轴，能够配合活动框带动喷头移动，便于提高喷洒的范围，通过设置复位弹簧，能够对滑套进行弹性支撑，便于对限位杆进行复位，通过设置滑块和滑槽，能够对滑套进行支撑，便于提高滑套移动时的稳定性。
