背景技术
[0002] 磨盘，也称为磨片，是旋转工作的摩擦元件，是半导体行业中超大规模集成电路用硅片生产的重要工艺装备。通常使用的铸铁或碳钢研磨盘其使用寿命低，热膨胀系数大。在加工硅片过程中，特别是高速研磨或抛光时，由于研磨盘的磨损和热变形，使硅片的平面度和平行度难以保证。采用碳化硅陶瓷的研磨盘由于硬度高研磨盘的磨损小，且热膨胀系数与硅片基本相同因而可以高速研磨、抛光。特别是近几年来的硅片尺寸越来越大，对硅片研磨的质量和效率提出了更高的要求。碳化硅陶瓷研磨盘的使用将使硅片研磨的质量和效率有很大的提高。同时碳化硅陶瓷研磨盘还可用于研磨、抛光其它材料的片状或块状物体的平面。
[0003] 在磨盘的生产制作过程中，需要将磨盘进行固定，然后在对其进行加工，现有的磨盘固定装置对于磨盘在生产的时候移动转向等动作调节不够方便，影响制作效率和精确度，因此对于这些情况，提出一种新型的磨盘生产用的固定装置。实用新型内容
[0004] (一)解决的技术问题
[0005] 针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种磨盘生产用的固定装置，解决了磨盘生产过程中定位不便，移动加工不便的问题。
[0006] (二)技术方案
[0007] 为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种磨盘生产用的固定装置，包括底板，所述底板的上表面固定连接有支撑架，所述支撑架的顶部固定连接有横架，所述横架的上方设置有第二转盘，所述第二转盘的上方设置有套筒，所述套筒的顶部与固定台固定连接。
[0008] 进一步的，所述支撑架有两个，一个所述支撑架的一侧面固定连接有第一电机，所述第一电机的转子固定连接有第一转轴，所述第一转轴与第一转盘固定连接，所述横架的上表面转动连接有转动台，所述转动台的上表面固定连接有第二转盘，所述第二转盘通过传动带与第一转盘传动连接。
[0009] 进一步的，所述第二转盘的上表面固定连接有支撑块，所述支撑块上开设有通孔，所述通孔的内部固定连接有轴承，所述轴承与丝杆转动连接。
[0010] 进一步的，所述支撑架的外侧固定连接有第二电机，所述第二电机的转子与第二转轴的一端固定连接，所述第二转轴的另一端固定连接有第一齿轮，所述丝杠的底部固定连接有第二齿轮，所述第一齿轮和第二齿轮啮合，所述丝杠套接有套筒，所述套筒的内部开设有内螺纹，所述内螺纹与丝杆螺纹连接。
[0011] 进一步的，所述第二转盘的上表面固定连接有限位架，所述限位架上开设有限位孔，所述限位孔与套筒滑动连接，所述套筒的顶部固定连接有固定台，所述第二转盘的上表面固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆的顶部与固定台的下表面固定连接，所述固定台上开设有限位槽，所述限位槽与卡块卡接，所述卡块与弹簧的一端固定连接，所述弹簧的另一端与固定台的下表面固定连接。
[0012] 进一步的，所述通孔完全贯穿横架、第二转盘、转动台和支撑块。
[0013] (三)有益效果
[0014] 本实用新型提供了一种磨盘生产用的固定装置。具备以下有益效果：
[0015] 1、该磨盘生产用的固定装置，通过设置第一电机、第一转盘、传动带和第二转盘，可以使固定的台在固定磨盘之后能够转动加工，通过设置弹簧、卡槽和卡块，可以根据需要来调整卡位的松紧度。
[0016] 2、该磨盘生产用的固定装置，通过设置第二电机、丝杠、套筒，可以提升或者降低固定台，不需要再讲磨盘取下来操作，防止来回取放磨盘造成制造精度降低。
