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G01Q60/00:特殊类型的SPM [扫描探针显微术]或其设备；其基本组成
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发明专利
有效专利
申请日：
2015-05-22
当前状态：
授权
国际分类号：
G01Q60/00
发明人：
高荣礼,符春林,蔡苇,邓小玲,陈刚
申请人：
重庆科技学院
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