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控制硅纳米线走向的装置
控制硅纳米线走向的装置
发明专利
有效专利
硅微纳米结构加工
申请日:
2017-01-22
当前状态:
授权
国际分类号:
H01L31/18
、
H01L31/0236
、
C23F1/08
、
C23F1/24
、
B82Y40/00
发明人:
巢炎,刘先欢,王志权,姚安琦,吴立群,席俊华
申请人:
杭州电子科技大学
制造可控走向的硅纳米线的方法
制造可控走向的硅纳米线的方法
发明专利
有效专利
硅微纳米结构加工
申请日:
2017-01-22
当前状态:
授权
国际分类号:
B82B3/00
、
B82Y40/00
发明人:
巢炎,王志权,刘先欢,姚安琦,吴立群,席俊华
申请人:
杭州电子科技大学
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