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一种超薄铜箔剥离层Ni-Cr-B-P的制备方法   0    0

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专利申请流程有哪些步骤?
专利申请流程图
申请
申请号:指国家知识产权局受理一件专利申请时给予该专利申请的一个标示号码。唯一性原则。
申请日:提出专利申请之日。
2017-06-23
申请公布
申请公布指发明专利申请经初步审查合格后,自申请日(或优先权日)起18个月期满时的公布或根据申请人的请求提前进行的公布。
申请公布号:专利申请过程中,在尚未取得专利授权之前,国家专利局《专利公报》公开专利时的编号。
申请公布日:申请公开的日期,即在专利公报上予以公开的日期。
2018-01-16
授权
授权指对发明专利申请经实质审查没有发现驳回理由,授予发明专利权;或对实用新型或外观设计专利申请经初步审查没有发现驳回理由,授予实用新型专利权或外观设计专利权。
2020-04-10
预估到期
发明专利权的期限为二十年,实用新型专利权期限为十年,外观设计专利权期限为十五年,均自申请日起计算。专利届满后法律终止保护。
2037-06-23
基本信息
有效性 有效专利 专利类型 发明专利
申请号 CN201710486690.X 申请日 2017-06-23
公开/公告号 CN107475698B 公开/公告日 2020-04-10
授权日 2020-04-10 预估到期日 2037-06-23
申请年 2017年 公开/公告年 2020年
缴费截止日
分类号 C23C18/50C25D3/56 主分类号 C23C18/50
是否联合申请 联合申请 文献类型号 B
独权数量 1 从权数量 0
权利要求数量 1 非专利引证数量 0
引用专利数量 0 被引证专利数量 0
非专利引证
引用专利 被引证专利
专利权维持 5 专利申请国编码 CN
专利事件 转让 事务标签 公开、实质审查、申请权转移、授权、权利转移
申请人信息
申请人 第一申请人
专利权人 安庆师范大学,安徽铜冠铜箔有限公司 当前专利权人 安庆师范大学,安徽铜冠铜箔集团股份有限公司
发明人 杜荣斌、周峰、刘涛、夏宏宇、王伟 第一发明人 杜荣斌
地址 安徽省安庆市宜秀区集贤北路1318号 邮编 246133
申请人数量 2 发明人数量 5
申请人所在省 安徽省 申请人所在市 安徽省安庆市
代理人信息
代理机构
专利代理机构是经省专利管理局审核,国家知识产权局批准设立,可以接受委托人的委托,在委托权限范围内以委托人的名义办理专利申请或其他专利事务的服务机构。
合肥市长远专利代理事务所 代理人
专利代理师是代理他人进行专利申请和办理其他专利事务,取得一定资格的人。
段晓微、叶美琴
摘要
本发明公开了一种超薄铜箔剥离层Ni‑Cr‑B‑P的制备方法,包括以下步骤:把一定量的次磷酸钠(NaH2PO2·H2O)、氟化钠、巯基苯并噻唑钠和柠檬酸分别用蒸馏水溶解混合,在一定温度和搅拌作用下依次加入硫酸镍NiSO4·6H2O、氯化铬CrCl3·6H2O,以10%NaOH溶液调pH值至规定值,用水稀释至规定体积,将一定浓度的KBH4均匀滴入该混合液中作为化学镀液,在载体箔上进行化学镀,施镀一定时间,把镀件经蒸馏水、无水乙醇洗涤后,即得超薄铜箔Ni‑Cr‑B‑P剥离层。该方法所得剥离层呈现均匀的单一非晶态结构,热压加工后具有良好的热稳定性,剥离层抗剥离强度更稳定,工艺简单,进行工业化的成本低,是一种有发展前景的超薄铜箔剥离层制备新方法。
  • 摘要附图
    一种超薄铜箔剥离层Ni-Cr-B-P的制备方法
  • 说明书附图:图1
    一种超薄铜箔剥离层Ni-Cr-B-P的制备方法
  • 说明书附图:图2
    一种超薄铜箔剥离层Ni-Cr-B-P的制备方法
法律状态
序号 法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
1 2020-09-11 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 专利权人由安庆师范大学变更为安庆师范大学 地址由246133 安徽省安庆市宜秀区集贤北路1318号变更为246133 安徽省安庆市宜秀区集贤北路1318号 专利权人由安徽铜冠铜箔有限公司 变更为安徽铜冠铜箔集团股份有限公司 
2 2020-04-10 授权
3 2020-03-27 专利申请权的转移 登记生效日: 2020.03.06 申请人由安庆师范大学变更为安庆师范大学 地址由246133 安徽省安庆市宜秀区集贤北路1318号变更为246133 安徽省安庆市宜秀区集贤北路1318号 申请人变更为安徽铜冠铜箔有限公司 
4 2018-01-16 实质审查的生效 IPC(主分类): C23C 18/50 专利申请号: 201710486690.X 申请日: 2017.06.23
5 2017-12-15 公开
权利要求
权利要求书是申请文件最核心的部分,是申请人向国家申请保护他的发明创造及划定保护范围的文件。
1.一种超薄铜箔剥离层Ni-Cr-B-P的制备方法,其特征在于:把次磷酸钠NaH2PO2·H2O、氟化钠、巯基苯并噻唑钠和柠檬酸分别用蒸馏水溶解混合,在搅拌作用下依次加入硫酸镍NiSO4·6H2O、氯化铬CrCl3·6H2O,以10%NaOH溶液调节pH值,用蒸馏水稀释,将KBH4溶液均匀滴入该混合液中作为化学镀液,在载体箔上进行化学镀,施镀后把镀件经蒸馏水、无水乙醇洗涤后,即得超薄铜箔Ni-Cr-B-P剥离层;
化学镀液配方由以下按质量体积比计的组分组成:硫酸镍NiSO4·6H2O为12-35g/L;氯化铬CrCl3·6H2O为10-30g/L;氟化钠NaF为3-5g/L;次磷酸钠NaH2PO2·H2O为10-45g/L;柠檬酸为10-15g/L;巯基苯并噻唑钠为0-1.5g/L;KBH4为54g/L;
施镀温度为60-90℃,pH值为2-5,搅拌速度为500-1000转每分钟,施镀时间为15-
40min。
说明书

技术领域

[0001] 本发明属于湿法冶金技术领域,特别涉及一种超薄铜箔剥离层Ni-Cr-B-P的制备方法。

背景技术

[0002] 剥离层是载体支撑超薄铜箔制备的关键,其对载体支撑超薄铜箔的抗剥离强度具有明显的影响。最早的载体支撑超薄铜箔的制备并不是以铜箔作为载体箔,而是以其他金属箔作为载体箔,所以最开始并没有剥离层。后来为了减少超薄铜箔的针孔和工艺的循环等逐步采用铜箔作为载体箔,为了获得稳定的抗剥离强度而引入了剥离层。
[0003] 如今使用的剥离层按照形成工艺和成分可以分为单一有机剥离层、单一无机金属剥离层、合金剥离层、复合剥离层等四大类,其中复合剥离层又可以分为两类,一类是先涂覆或吸附一层有机物层后电沉积一层金属或合金共同作为剥离层;另外一类是复合电沉积的方式获得一层夹杂沉积层作为剥离层。当剥离层在载体表面上形成的不均匀时,载体箔和超薄铜箔层之间的粘合强度会不稳定。结果导致在层压成复合箔之后剥离除去载体箔时,一些超薄铜箔会留在载体箔上,不能制得所需的电路图案。常规的载体超薄铜箔的生产也存在着一些问题。所设计的工艺过程过于繁杂和控制条件过于严苛等缺陷,带入额外的加工步骤,使经济成本加大;要么难以达到使超薄铜箔的抗剥离强度稳定在要求范围之内。因此,针对以上载体超薄铜箔生产中所存在的问题,有必要研制开发一种新的能够提供均匀、稳定剥离强度的剥离层,寻求制备载体支撑可剥离超薄铜箔的新工艺。
[0004] 本发明制备反应在水浴中进行中,利用化学镀的方法在载体箔上得到Ni-Cr-B-P剥离层。

发明内容

[0005] 本发明的目的在于提供一种超薄铜箔剥离层Ni-Cr-B-P的制备方法。用该方法制备的非晶态剥离层Ni-Cr-B-P既稳定的抗剥离强度,可剥离性良好,且其制备方法简单,成本低廉,无需专业操作。
[0006] 本发明提出的一种超薄铜箔剥离层Ni-Cr-B-P的制备方法,把次磷酸钠(NaH2PO2·H2O)、氟化钠、巯基苯并噻唑钠和柠檬酸分别用蒸馏水溶解混合,在搅拌作用下依次加入硫酸镍NiSO4·6H2O、氯化铬CrCl3·6H2O,以10%NaOH溶液调pH值至规定值,用水稀释至规定体积,将一定浓度的KBH4均匀滴入该混合液中作为化学镀液,在载体箔上进行化学镀,施镀后把镀件经蒸馏水、无水乙醇洗涤后,即得超薄铜箔Ni-Cr-B-P剥离层。
[0007] 优选地,化学镀液配方由以下按质量体积比计的组分组成:硫酸镍NiSO4·6H2O为12-35g/L;氯化铬CrCl3·6H2O为10-30g/L;氟化钠NaF为3-5g/L;次磷酸钠NaH2PO2·H2O为
10-45g/L;柠檬酸为10-15g/L;巯基苯并噻唑钠为0-1.5g/L;KBH4为54g/L。
[0008] 优选地,施镀温度为60-90℃,pH值为2-5,搅拌速度为500-1000转每分钟,施镀时间为15-40min。
[0009] 一种超薄铜箔剥离层Ni-Cr-B-P的制备方法,其具体步骤如下:
[0010] 先用碱、1:1的HNO3、无水乙醇和二次蒸馏水进行超声清洗除去载体箔表面的油污,将载体箔放入镀槽中,一定量的次磷酸钠(NaH2PO2·H2O)、氟化钠、巯基苯并噻唑钠和柠檬酸分别用蒸馏水溶解混合,在一定温度和搅拌作用下依次加入硫酸镍NiSO4·6H2O、CrCl3·6H2O,以10%NaOH溶液调pH值至规定值,用水稀释至规定体积,将一定浓度的KBH4溶液在15min内均匀滴入该混合液中作为化学镀液,施镀一定时间,镀件经蒸馏水、无水乙醇洗涤后,即得超薄铜箔Ni-Cr-B-P剥离层。
[0011] 电镀过程发生的化学反应如下:
[0012] BH4-+H2O→BO2-+H2↑
[0013] BH4-+Ni2++Cr++H2O→Ni+HBO2+H2↑+H+
[0014] BH4-+H2O→B+2.5H2↑+OH-
[0015] H2PO2-+H2O→H2PO3-+H2↑
[0016] Ni2++Cr3++H2PO2-+H2O→Ni+Cr+H2PO3-+H+
[0017] H2PO2-→H2PO3-+P+H2O+OH-
[0018] Ni+Cr+B+P→Ni-Cr-B-P↓
[0019] 在化学镀液中沉积Ni-Cr-B-P属于反应动力学为扩散控制,所以反应温度很重要,温度太高,不利于反应进行,选择60-90℃为宜。
[0020] 本发明的特点是:
[0021] (1)本发明制备的剥离层Ni-Cr-B-P质地均匀,与载体箔接合牢靠,超薄铜箔层可以在剥离层Ni-Cr-B-P表面稳定电沉积,由于在Ni-Cr合金中引入B、P,其接合能力比合金的结合力更为弱,从而使超薄铜箔层可以剥离并且抗剥离强度比较稳定
[0022] (2)本发明反应条件温和,工艺简单,易于控制进行工业化的成本较低。

实施方案

[0025] 下面结合具体实施方式,对本发明作进一步说明。
[0026] 将载体箔进行碱性除油、酸洗、超声水洗、干燥,放入镀槽中,把一定量的次磷酸钠(NaH2PO2·H2O)(质量浓度40g/L)、氟化钠(质量浓度3.5g/L)、巯基苯并噻唑钠(质量浓度0.5g/L)和柠檬酸(质量浓度12g/L)分别用蒸馏水溶解混合,在65℃和搅拌速度为700转每分钟下依次加入硫酸镍NiSO4·6H2O(质量浓度13g/L)、CrCl3·6H2O(质量浓度20g/L),以
10%NaOH溶液调pH值至4.5,用水稀释至规定体积,最后得200mL混合液,将54g/L的KBH4溶液100mL在15min内均匀滴入该混合液中作为化学镀液,进行施镀25min,镀件经蒸馏水、无水乙醇洗涤后,即得超薄铜箔Ni-Cr-B-P剥离层。镀层组成用XPS分析,Ni-Cr-B-P合金镀层为Ni 68.36%(原子分数,下同)、Cr 10.38%、B 5.83%、P 15.43%。将该剥离层用于超薄铜箔制备,其剥离强度通过万能实验机上测试为0.18kgf·cm-1,剥离层抗剥离强度稳定性好。
[0027] 以上所述,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本发明的保护范围之内。

附图说明

[0023] 图1为用于本发明的剥离层Ni-Cr-B-P横断面图。
[0024] 图2为本发明中剥离层Ni-Cr-B-P的透射电子显微照片。
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