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一种塑胶管材溅镀系统   0    0

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专利申请流程有哪些步骤?
专利申请流程图
申请
申请号:指国家知识产权局受理一件专利申请时给予该专利申请的一个标示号码。唯一性原则。
申请日:提出专利申请之日。
2018-08-28
申请公布
申请公布指发明专利申请经初步审查合格后,自申请日(或优先权日)起18个月期满时的公布或根据申请人的请求提前进行的公布。
申请公布号:专利申请过程中,在尚未取得专利授权之前,国家专利局《专利公报》公开专利时的编号。
申请公布日:申请公开的日期,即在专利公报上予以公开的日期。
2019-01-04
授权
授权指对发明专利申请经实质审查没有发现驳回理由,授予发明专利权;或对实用新型或外观设计专利申请经初步审查没有发现驳回理由,授予实用新型专利权或外观设计专利权。
2020-07-31
预估到期
发明专利权的期限为二十年,实用新型专利权期限为十年,外观设计专利权期限为十五年,均自申请日起计算。专利届满后法律终止保护。
2038-08-28
基本信息
有效性 有效专利 专利类型 发明专利
申请号 CN201810989064.7 申请日 2018-08-28
公开/公告号 CN108977784B 公开/公告日 2020-07-31
授权日 2020-07-31 预估到期日 2038-08-28
申请年 2018年 公开/公告年 2020年
缴费截止日 2023-07-17
分类号 C23C14/35C23C14/50B08B9/093 主分类号 C23C14/35
是否联合申请 独立申请 文献类型号 B
独权数量 1 从权数量 4
权利要求数量 5 非专利引证数量 0
引用专利数量 0 被引证专利数量 0
非专利引证
引用专利 被引证专利
专利权维持 4 专利申请国编码 CN
专利事件 转让 事务标签 公开、实质审查、授权、权利转移
申请人信息
申请人 第一申请人
专利权人 铜陵市兆林工贸有限责任公司 当前专利权人 莘县鲁开综合服务有限公司
发明人 杨胜 第一发明人 杨胜
地址 安徽省铜陵市狮子山开发区纬一路北侧 邮编 244000
申请人数量 1 发明人数量 1
申请人所在省 安徽省 申请人所在市 安徽省铜陵市
代理人信息
代理机构
专利代理机构是经省专利管理局审核,国家知识产权局批准设立,可以接受委托人的委托,在委托权限范围内以委托人的名义办理专利申请或其他专利事务的服务机构。
广州高炬知识产权代理有限公司 代理人
专利代理师是代理他人进行专利申请和办理其他专利事务,取得一定资格的人。
洪美
摘要
本发明属于镀膜技术领域,具体的说是一种塑胶管材溅镀系统,包括溅镀箱、工件架、电机、靶材模块、加热器和自动清洗模块,电机固定在溅镀箱外部;工件架位于溅镀箱内部中央,工件架由电机驱动转动;靶材模块安装于溅镀箱内壁上,靶材模块可上下移动和横向移动靠近工件架;自动清洗模块用于在溅镀前对溅镀箱清洗;加热器位于溅镀箱内壁上端,加热器用于对清洗过后的溅镀箱进行烘干;本发明通过使自动清洗模块向溅镀箱内喷洒水进行清洗,有利于提高整个塑胶管材溅镀过程的效率;通过电机驱动工件架转动使塑胶管材溅镀均匀,通过靶材模块上下移动或横向移动使塑胶管材溅镀均匀,提高塑胶管材溅镀质量。
  • 摘要附图
    一种塑胶管材溅镀系统
  • 说明书附图:图1
    一种塑胶管材溅镀系统
  • 说明书附图:图2
    一种塑胶管材溅镀系统
法律状态
序号 法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
1 2022-12-16 专利权的转移 登记生效日: 2022.12.05 专利权人由铜陵市兆林工贸有限责任公司变更为莘县鲁开综合服务有限公司 地址由244000 安徽省铜陵市狮子山开发区纬一路北侧变更为252000 山东省聊城市莘县莘亭街道甘泉路电子产业园东楼三楼309号
2 2020-07-31 授权
3 2019-01-04 实质审查的生效 IPC(主分类): C23C 14/35 专利申请号: 201810989064.7 申请日: 2018.08.28
4 2018-12-11 公开
权利要求
权利要求书是申请文件最核心的部分,是申请人向国家申请保护他的发明创造及划定保护范围的文件。
1.一种塑胶管材溅镀系统,包括溅镀箱(1)、工件架(2)、电机(3)、靶材模块(4)、加热器(11)和自动清洗模块(5),所述电机(3)固定在溅镀箱(1)外部,其特征在于:所述工件架(2)位于溅镀箱(1)内部中央,工件架(2)由电机(3)驱动转动;所述靶材模块(4)安装于溅镀箱(1)内壁上,靶材(42)临近工件架(2),靶材模块(4)可上下移动或横向移动靠近工件架(2);
所述自动清洗模块(5)的主体部分固定于溅镀箱(1)外壁上,自动清洗模块(5)用于在溅镀前对溅镀箱(1)清洗;所述加热器(11)位于溅镀箱(1)内壁上端,加热器(11)用于对清洗过后的溅镀箱(1)进行烘干;其中,
所述工件架(2)包括主支撑架(21)、铰接杆一(22)、铰接杆二(23)和铰接杆三(24),所述主支撑架(21)与电机(3)连接;所述铰接杆一(22)与主支撑架(21)上端铰接;所述铰接杆三(24)与主支撑架(21)下端铰接;所述铰接杆二(23)的一端与铰接杆一(22)铰接,铰接杆二(23)的另一端与铰接杆三(24)铰接且铰接杆二(23)的长度可伸缩,铰接杆二(23)用于放置塑胶管材;
所述靶材模块(4)包括滑块(41)、靶材(42)、推力气缸一(43)和气囊二(44),所述滑块(41)与溅镀箱(1)内壁滑动连接;所述靶材(42)安装于滑块(41)上;所述推力气缸一(43)固定于滑块(41)下端,推力气缸一(43)用于推动滑块(41)使滑块(41)与工件架(2)同步上移,推力气缸一(43)与气囊二(44)之间通过设置的气管二(45)连通;所述气囊二(44)位于铰接杆一(22)的上端,气囊二(44)受铰接杆一(22)压缩而向推力气缸一(43)输气使推力气缸一(43)工作;
所述滑块(41)与靶材(42)之间设置有推力气缸二(46),推力气缸二(46)固定在滑块(41)上,推力气缸二(46)用于推动靶材(42)靠近工件架(2);所述铰接杆三(24)的下端设置有气囊三(47);所述气囊三(47)与推力气缸二(46)之间通过设置的气管三(48)连通,气囊三(47)受铰接杆三(24)压缩,气囊三(47)向推力气缸二(46)输气使推力气缸二(46)推动靶材(42)靠近工件架(2)。

2.根据权利要求1所述的一种塑胶管材溅镀系统,其特征在于:所述电机(3)一旁侧设置有气囊一(31)和挡板,所述挡板固定在溅镀箱(1)外壁上;所述气囊一(31)抵靠在挡板上,且气囊一(31)临近主支撑架(21);所述电机(3)与主支撑架(21)之间设置有伸缩气缸(32),电机(3)转动驱动主支撑架(21)和伸缩气缸(32)转动;所述伸缩气缸(32)上设置有环形套(33),且环形套(33)与溅镀箱(1)内壁固连,伸缩气缸(32)与环形套(33)为转动连接;
所述气囊一(31)与伸缩气缸(32)之间连通有气管一(34);所述气管一(34)通过环形套(33)与伸缩气缸(32)连通;所述溅镀箱(1)外部设置有凸轮(35);所述凸轮(35)位于电机(3)轴上,凸轮(35)跟随电机(3)转动,凸轮(35)转动压缩气囊一(31)使气囊一(31)通过气管一(34)向伸缩气缸(32)输气,使伸缩气缸(32)推动工件架(2)上下移动。

3.根据权利要求2所述的一种塑胶管材溅镀系统,其特征在于:所述自动清洗模块(5)包括水箱(51)、引气管(52)、出水管(53)和喷水头(54),所述水箱(51)固定在溅镀箱(1)侧壁上;所述溅镀箱(1)的内壁中设置有流道,所述喷水头(54)固定在溅镀箱(1)内壁顶端,喷水头(54)与流道连通,喷水头(54)用于向溅镀箱(1)内喷水清洗溅镀箱(1);所述出水管(53)的一端连通流道,出水管(53)的另一端连通至水箱(51)的箱底;所述引气管(52)的一端与气囊二(44)连通,引气管(52)的另一端与水箱(51)连通,且引气管(52)上设置有电磁阀(55)和单向阀;所述单向阀位于电磁阀(55)与水箱(51)之间;所述水箱(51)上设置有控制器;所述电磁阀(55)受控制器控制。

4.根据权利要求3所述的一种塑胶管材溅镀系统,其特征在于:所述铰接杆二(23)包括杆四(231)、复位弹簧(232)和杆五(233),所述杆四(231)的一端为铰接部,杆四(231)另一端的曲面上设置有螺旋凸起;所述杆五(233)的两端均为空心状,杆五(233)的内壁上设置有螺旋滑槽且螺旋槽与螺旋凸起相适配,杆五(233)与杆四(231)之间为螺旋转动配合;所述复位弹簧(232)设置有两个,复位弹簧(232)安装于杆五(233)的端部,且复位弹簧(232)位于杆五(233)与杆四(231)之间,复位弹簧(232)用于杆四(231)螺旋压入杆五(233)内后螺旋复位。

5.根据权利要求4所述的一种塑胶管材溅镀系统,其特征在于:所述铰接杆二(23)、铰接杆三(24)和铰接杆一(22)在主支撑架(21)上均至少布置有十个。
说明书

技术领域

[0001] 本发明属于镀膜技术领域,具体的说是一种塑胶管材溅镀系统。

背景技术

[0002] 溅镀,通常指的是磁控溅镀,属于高速低温溅镀法。该工艺要求真空度在1×10-3Torr左右,即1.3×10-3Pa的真空状态充入惰性气体氩气(Ar),并在塑胶基材(阳极)和金属靶材(阴极)之间加上高压直流电,由于辉光放电(glow discharge)产生的电子激发惰性气体,产生等离子体,等离子体将金属靶材的原子轰出,沉积在塑胶基材上。但现有的塑胶管材溅镀装置,多数溅镀塑胶管材都存在缺陷,溅镀不均匀,整个溅镀过程效率低。
[0003] 专利文献1:一种溅镀装置,申请号2010106052656
[0004] 上述专利文献1中,通过添加多个第一料杆与第二料杆,来提高镀膜效率;并通过使多个第一料杆与多个第二料杆绕内圈与外圈的共同中轴线同时反向转动,使被镀工件的镀膜更均匀;但该溅镀装置的清洗较为麻烦,效率较低,同时,该溅镀装置因为有内圈和外圈,通过防止多个第一料杆在平行于顶板的方向上对多个第二料杆产生遮挡,使被镀工件的镀膜更均匀,只能是尽量均匀,但溅镀均匀有限。

发明内容

[0005] 为了弥补现有技术的不足,本发明提出的一种塑胶管材溅镀系统,本发明的目的在于提高塑胶管材溅镀质效率以及溅镀质量。本发明通过使自动清洗模块向溅镀箱内喷洒水进行清洗,电机驱动工件架转动搅拌使水充分清洗溅镀箱,提高溅镀箱的清洗效率,有利于提高整个塑胶管材溅镀过程的效率;通过电机驱动工件架转动使塑胶管材表面溅镀均匀性以及靶材模块上下移动或横向移动靠近工件架使塑胶管材溅镀均匀,提高塑胶管材溅镀质量。
[0006] 本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:本发明所述的一种塑胶管材溅镀系统,包括溅镀箱、工件架、电机、靶材模块、加热器和自动清洗模块,所述溅镀箱的底端设置有出水管且出水管上设置有水阀;所述电机固定在溅镀箱外部;所述工件架位于溅镀箱内部中央,工件架由电机驱动转动;所述靶材模块安装于溅镀箱内壁上,靶材模块临近工件架,靶材模块可上下移动或横向移动靠近工件架;所述自动清洗模块的主体部分固定于溅镀箱外壁上,自动清洗模块用于在溅镀前对溅镀箱清洗;所述加热器位于溅镀箱内壁上端,加热器用于对清洗过后的溅镀箱进行烘干;其中,
[0007] 所述工件架包括主支撑架、铰接杆一、铰接杆二和铰接杆三,所述主支撑架与电机连接;所述铰接杆一与主支撑架上端铰接;所述铰接杆三与主支撑架下端铰接;所述铰接杆二的一端与铰接杆一铰接,铰接杆二的另一端与铰接杆三铰接,且铰接杆二的长度可伸缩,铰接杆二用于放置塑胶管材。工作时,首先启动塑胶管材溅镀系统,使自动清洗模块向溅镀箱内喷洒水进行清洗,电机驱动工件架转动,充分搅拌溅镀箱内的水,使水充分清洗溅镀箱,有利于溅镀箱的箱内更加清洁,有利于塑胶管材溅镀,同时,通过自动清洗模块自动清洗溅镀箱,有利于提高塑胶管材整个溅镀过程的效率;在溅镀箱被清洗过后,将溅镀箱内的水通过出水管排出,开启加热器,使加热器将溅镀箱内水分蒸干,并将塑胶管材安装到铰接杆二上,随后将溅镀箱内空气和水汽抽走,使溅镀箱内保持真空状态后,向溅镀箱内充入氩气,并以塑胶管材为阳极进行通电,以靶材模块为阴极进行通电,对塑胶管材进行溅镀,通过电机驱动工件架转动有利于提高塑胶管材溅镀的效率以及提高塑胶管材溅镀层的均匀性。
[0008] 所述电机一旁侧设置有气囊一和挡板,所述挡板固定在溅镀箱外壁上;所述气囊一抵靠在挡板上,且气囊一临近主支撑架;所述电机与主支撑架之间设置有伸缩气缸,电机转动驱动主支撑架和伸缩气缸转动;所述伸缩气缸上设置有环形套,且环形套与溅镀箱内壁固连,伸缩气缸与环形套为转动连接;所述气囊一与伸缩气缸之间连通有气管一;所述气管一通过环形套与伸缩气缸连通;所述溅镀箱外部设置有凸轮;所述凸轮位于电机轴上,凸轮跟随电机转动,凸轮转动压缩气囊一使气囊一通过气管一向伸缩气缸输气,使伸缩气缸推动工件架上下移动。工作时,电机转动驱动凸轮转动,凸轮转动压缩气囊一,使气囊一间歇式向伸缩气缸输气,使伸缩气缸推动工件架向上移动,凸轮离开气囊一后,在工件架重力作用下,伸缩气缸内的气体又被压回气囊一内,因伸缩气缸的作用,使得工件架在带动塑胶管材转动的同时还上下运动,使得塑胶管材可更快更均匀的被溅镀。
[0009] 所述靶材模块包括滑块、靶材、推力气缸一和气囊二,所述滑块与溅镀箱内壁滑动连接;所述靶材安装于滑块上;所述推力气缸一固定于滑块下端,推力气缸一用于推动滑块使滑块与工件架同步上移,推力气缸一与气囊二之间通过设置的气管二连通;所述气囊二位于铰接杆一的上端,气囊二受铰接杆一压缩而向推力气缸一输气使推力气缸一工作。工作时,凸轮挤压气囊一,使伸缩气缸推动工件架上移,工件架上移使得铰接杆一压缩气囊二,使气囊二向推力气缸一输气,推力气缸一推动滑块上移,滑块带动靶材上移,在凸轮离开气囊一处后,工件架在自身重力作用下而下落,气囊二不受压,滑块在自身重力作用下而下落,滑块上的靶材同步跟随工件架下落,使得工件架上的塑胶管材被溅镀更加均匀。
[0010] 所述滑块与靶材之间设置有推力气缸二,推力气缸二固定在滑块上,推力气缸二用于推动靶材靠近工件架;所述铰接杆三的下端设置有气囊三;所述气囊三与推力气缸二之间通过设置的气管三连通,气囊三受铰接杆三压缩,气囊三向推力气缸二输气使推力气缸二推动靶材靠近工件架。工作时,在凸轮离开气囊一处后,工件架在自身重力作用下而下落,气囊二不受压,滑块在自身重力作用下而下落,滑块上的靶材同步跟随工件架下落;工件架在下落后开始压缩气囊三,气囊三内的气体被挤压进入推力气缸二中,推力气缸二推动靶材靠近工件架使得工件架上的塑胶管材更易被溅镀。
[0011] 所述自动清洗模块包括水箱、引气管、水管和喷水头,所述水箱固定在溅镀箱侧壁上;所述溅镀箱的内壁中设置有流道,所述喷水头固定在溅镀箱内壁顶端,喷水头与流道连通,喷水头用于向溅镀箱内喷水清洗溅镀箱;所述水管的一端连通流道,水管的另一端连通至水箱的箱底;所述引气管的一端与气囊二连通,引气管的另一端与水箱连通,且引气管上设置有电磁阀和单向阀;所述单向阀位于电磁阀与水箱之间;所述单向阀用于使气体只能由气囊三进入水箱内;所述电磁阀用于开启或关闭水管;所述水箱上设置有控制器;所述电磁阀受控制器控制。工作时,在电磁阀开启使水管通气时,电机转动,工件架下压气囊三使气囊三内的气体进入水箱中,对水箱内的水施压使水箱内的水通过水管和喷水头喷到溅镀箱内,溅镀箱内的工件架转动,使水清洗溅镀箱,将溅镀箱清洗干净,在溅镀箱清洗干净后,关闭电磁阀,终止喷水头喷水。
[0012] 所述铰接杆二包括杆四、复位弹簧和杆五,所述杆四的一端为铰接部,杆四另一端的曲面上设置有螺旋凸起,杆四设置有两个;所述杆五的两端均为空心状,杆五的内壁上设置有螺旋滑槽且螺旋槽与螺旋凸起相适配,杆五与杆四之间为螺旋转动配合;所述复位弹簧设置有两个,复位弹簧安装于杆五的端部,且复位弹簧位于杆五与杆四之间,复位弹簧用于杆四螺旋压入杆五内后螺旋复位。工作时,铰接杆一或铰接杆三受压,杆四被压入杆五内,铰接杆二长度减小,因杆四上设置有螺旋凸起,杆五上设置有螺旋滑槽,使得在两个杆四被压入杆五中后,杆五转动,塑胶管材跟随杆五转动,使得塑胶管材被溅镀均匀。
[0013] 所述铰接杆二、铰接杆三和铰接杆一在主支撑架上均至少布置有十个。塑胶管材布置在铰接杆二上,因铰接杆二布置至少有十个,使得塑胶管材溅镀系统可一次性可溅镀更多塑胶管材,提高了塑胶管材溅镀系统溅镀塑胶管材的效率。
[0014] 本发明的有益效果如下:
[0015] 1.本发明通过使自动清洗模块向溅镀箱内喷洒水进行清洗,电机驱动工件架转动搅拌使水充分清洗溅镀箱,提高溅镀箱的清洗效率,有利于提高整个塑胶管材溅镀过程的效率;通过使用加热器,使溅镀箱内水分快速被蒸干,有利于提高整个塑胶管材溅镀过程的效率;通过电机驱动工件架转动使塑胶管材表面溅镀均匀性以及靶材模块上下移动或横向移动靠近工件架使塑胶管材溅镀均匀,提高塑胶管材溅镀质量。
[0016] 2.本发明通过通过电机驱动工件架转动使塑胶管材上下移动以及公转和自转,有利于提高塑胶管材表面溅镀的均匀性。
[0017] 3.本发明通过凸轮挤压气囊一,使伸缩气缸推动工件架上移而压缩气囊二,使气囊二输气使推力气缸一推动滑块和靶材上移,在凸轮离开气囊一处后,工件架在自身重力作用下而下落,气囊二不受压,滑块以及靶材在自身重力作用下而下落,使得靶材与塑胶管材同步上下移动而使塑胶管材被溅镀均匀。
[0018] 4.本发明通过铰接杆一或铰接杆三受压,杆四被压入杆五内,铰接杆二长度减小,因杆四上设置有螺旋凸起,杆五上设置有螺旋滑槽,使得在两个杆四被压入杆五中后,杆五转动,塑胶管材跟随杆五转动,使得塑胶管材被溅镀均匀。

实施方案

[0022] 使用图1至图2对本发明的一种塑胶管材溅镀系统进行如下说明。
[0023] 如图1至图2所示,本发明所述的一种塑胶管材溅镀系统,包括溅镀箱1、工件架2、电机3、靶材模块4、加热器11和自动清洗模块5,所述溅镀箱1的底端设置有出水管且出水管上设置有水阀;所述电机3固定在溅镀箱1外部;所述工件架2位于溅镀箱1内部中央,工件架2由电机3驱动转动;所述靶材模块4安装于溅镀箱1内壁上,靶材模块4临近工件架2,靶材模块4可上下移动或横向移动靠近工件架2;所述自动清洗模块5的主体部分固定于溅镀箱1外壁上,自动清洗模块5用于在溅镀前对溅镀箱1清洗;所述加热器11位于溅镀箱1内壁上端,加热器11用于对清洗过后的溅镀箱1进行烘干;其中,
[0024] 如图1所示,所述工件架2包括主支撑架21、铰接杆一22、铰接杆二23和铰接杆三24,所述主支撑架21与电机3连接;所述铰接杆一22与主支撑架21上端铰接;所述铰接杆三
24与主支撑架21下端铰接;所述铰接杆二23的一端与铰接杆一22铰接,铰接杆二23的另一端与铰接杆三24铰接,且铰接杆二23的长度可伸缩,铰接杆二23用于放置塑胶管材。工作时,首先启动塑胶管材溅镀系统,使自动清洗模块5向溅镀箱1内喷洒水进行清洗,电机3驱动工件架2转动,充分搅拌溅镀箱1内的水,使水充分清洗溅镀箱1,有利于溅镀箱1的箱内更加清洁,有利于塑胶管材溅镀,同时,通过自动清洗模块5自动清洗溅镀箱1,有利于提高塑胶管材整个溅镀过程的效率;在溅镀箱1被清洗过后,将溅镀箱1内的水通过出水管排出,开启加热器11,使加热器11将溅镀箱1内水分蒸干,并将塑胶管材安装到铰接杆二23上,随后将溅镀箱1内空气和水汽抽走,使溅镀箱1内保持真空状态后,向溅镀箱1内充入氩气,并以塑胶管材为阳极进行通电,以靶材模块4为阴极进行通电,对塑胶管材进行溅镀,通过电机3驱动工件架2转动有利于提高塑胶管材溅镀的效率以及提高塑胶管材溅镀层的均匀性。
[0025] 如图1所示,所述电机3一旁侧设置有气囊一31和挡板,所述挡板固定在溅镀箱1外壁上;所述气囊一31抵靠在挡板上,且气囊一31临近主支撑架21;所述电机3与主支撑架21之间设置有伸缩气缸32,电机3转动驱动主支撑架21和伸缩气缸32转动;所述伸缩气缸32上设置有环形套33,且环形套33与溅镀箱1内壁固连,伸缩气缸32与环形套33为转动连接;所述气囊一31与伸缩气缸32之间连通有气管一34;所述气管一34通过环形套33与伸缩气缸32连通;所述溅镀箱1外部设置有凸轮35;所述凸轮35位于电机3轴上,凸轮35跟随电机3转动,凸轮35转动压缩气囊一31使气囊一31通过气管一34向伸缩气缸32输气,使伸缩气缸32推动工件架2上下移动。工作时,电机3转动驱动凸轮35转动,凸轮35转动压缩气囊一31,使气囊一31间歇式向伸缩气缸32输气,使伸缩气缸32推动工件架2向上移动,凸轮35离开气囊一31后,在工件架2重力作用下,伸缩气缸32内的气体又被压回气囊一31内,因伸缩气缸32的作用,使得工件架2在带动塑胶管材转动的同时还上下运动,使得塑胶管材可更快更均匀的被溅镀。
[0026] 如图1所示,所述靶材模块4包括滑块41、靶材42、推力气缸一43和气囊二44,所述滑块41与溅镀箱1内壁滑动连接;所述靶材42安装于滑块41上;所述推力气缸一43固定于滑块41下端,推力气缸一43用于推动滑块41使滑块41与工件架2同步上移,推力气缸一43与气囊二44之间通过设置的气管二45连通;所述气囊二44位于铰接杆一22的上端,气囊二44受铰接杆一22压缩而向推力气缸一43输气使推力气缸一43工作。工作时,凸轮35挤压气囊一31,使伸缩气缸32推动工件架2上移,工件架2上移使得铰接杆一22压缩气囊二44,使气囊二
44向推力气缸一43输气,推力气缸一43推动滑块41上移,滑块41带动靶材42上移,在凸轮35离开气囊一31处后,工件架2在自身重力作用下而下落,气囊二44不受压,滑块41在自身重力作用下而下落,滑块41上的靶材42同步跟随工件架2下落,使得工件架2上的塑胶管材被溅镀更加均匀。
[0027] 如图1所示,所述滑块41与靶材42之间设置有推力气缸二46,推力气缸二46固定在滑块41上,推力气缸二46用于推动靶材42靠近工件架2;所述铰接杆三24的下端设置有气囊三47;所述气囊三47与推力气缸二46之间通过设置的气管三48连通,气囊三47受铰接杆三24压缩,气囊三47向推力气缸二46输气使推力气缸二46推动靶材42靠近工件架2。工作时,在凸轮35离开气囊一31处后,工件架2在自身重力作用下而下落,气囊二44不受压,滑块41在自身重力作用下而下落,滑块41上的靶材42同步跟随工件架2下落;工件架2在下落后开始压缩气囊三47,气囊三47内的气体被挤压进入推力气缸二46中,推力气缸二46推动靶材
42靠近工件架2使得工件架2上的塑胶管材更易被溅镀。
[0028] 如图1所示,所述自动清洗模块5包括水箱51、引气管52、水管53和喷水头54,所述水箱51固定在溅镀箱1侧壁上;所述溅镀箱1的内壁中设置有流道,所述喷水头54固定在溅镀箱1内壁顶端,喷水头54与流道连通,喷水头54用于向溅镀箱1内喷水清洗溅镀箱1;所述水管53的一端连通流道,水管53的另一端连通至水箱51的箱底;所述引气管52的一端与气囊二44连通,引气管52的另一端与水箱51连通,且引气管52上设置有电磁阀55和单向阀;所述单向阀位于电磁阀55与水箱51之间;所述单向阀用于使气体只能由气囊三47进入水箱51内;所述电磁阀55用于开启或关闭水管53;所述水箱51上设置有控制器;所述电磁阀55受控制器控制。工作时,在电磁阀55开启使水管53通气时,电机3转动,工件架2下压气囊三47使气囊三47内的气体进入水箱51中,对水箱51内的水施压使水箱51内的水通过水管53和喷水头54喷到溅镀箱1内,溅镀箱1内的工件架2转动,使水清洗溅镀箱1,将溅镀箱1清洗干净,在溅镀箱1清洗干净后,关闭电磁阀55,终止喷水头54喷水。
[0029] 如图1所示,所述铰接杆二23包括杆四231、复位弹簧232和杆五233,所述杆四231的一端为铰接部,杆四231另一端的曲面上设置有螺旋凸起,杆四231设置有两个;所述杆五233的两端均为空心状,杆五233的内壁上设置有螺旋滑槽且螺旋槽与螺旋凸起相适配,杆五233与杆四231之间为螺旋转动配合;所述复位弹簧232设置有两个,复位弹簧232安装于杆五233的端部,且复位弹簧232位于杆五233与杆四231之间,复位弹簧232用于杆四231螺旋压入杆五233内后螺旋复位。工作时,铰接杆一22或铰接杆三24受压,杆四231被压入杆五
233内,铰接杆二23长度减小,因杆四231上设置有螺旋凸起,杆五233上设置有螺旋滑槽,使得在两个杆四231被压入杆五233中后,杆五233转动,塑胶管材跟随杆五233转动,使得塑胶管材被溅镀均匀。
[0030] 如图1和图2所示,所述铰接杆二23、铰接杆三24和铰接杆一22在主支撑架21上均至少布置有十个。塑胶管材布置在铰接杆二23上,因铰接杆二23布置至少有十个,使得塑胶管材溅镀系统可一次性可溅镀更多塑胶管材,提高了塑胶管材溅镀系统溅镀塑胶管材的效率。
[0031] 具体工作流程如下:
[0032] 工作时,首先启动塑胶管材溅镀系统,在电磁阀55开启使水管53通气后,电机3转动驱动凸轮35转动,凸轮35转动压缩气囊一31,使气囊一31间歇式向伸缩气缸32输气,使伸缩气缸32推动工件架2向上移动,凸轮35离开气囊一31后,在工件架2重力作用下,伸缩气缸32内的气体又被压回气囊一31内,工件架2下压气囊三47,使气囊三47内的气体进入水箱51中,对水箱51内的水施压使水箱51内的水通过水管53和喷水头54喷到溅镀箱1内,溅镀箱1内的工件架2转动,使水清洗溅镀箱1,将溅镀箱1清洗干净,在溅镀箱1清洗干净后,关闭电磁阀55,终止喷水头54喷水;在溅镀箱1被清洗过后,将溅镀箱1内的水通过出水管排出,开启加热器11,使加热器11将溅镀箱1内水分蒸干,并将塑胶管材安装到铰接杆二23上,随后将溅镀箱1内空气和水汽抽走,使溅镀箱1内保持真空状态后,向溅镀箱1内充入氩气,并以塑胶管材为阳极进行通电,以靶材模块4为阴极进行通电,对塑胶管材进行溅镀,通过电机3驱动工件架2转动使塑胶管材被均匀溅镀;在电机3转动后,电机3驱动凸轮35转动,凸轮35转动压缩气囊一31,使气囊一31间歇式向伸缩气缸32输气,使伸缩气缸32推动工件架2向上移动,凸轮35离开气囊一31后,在工件架2重力作用下,伸缩气缸32内的气体又被压回气囊一31内,因伸缩气缸32的作用,使得工件架2在带动塑胶管材转动的同时还上下运动,使得塑胶管材可更快更均匀的被溅镀;
[0033] 在凸轮35挤压气囊一31时,使伸缩气缸32推动工件架2上移,工件架2上移使得铰接杆一22压缩气囊二44,使气囊二44向推力气缸一43输气,推力气缸一43推动滑块41上移,滑块41带动靶材42上移,在凸轮35离开气囊一31处后,工件架2在自身重力作用下而下落,气囊二44不受压,滑块41在自身重力作用下而下落,滑块41上的靶材42同步跟随工件架2下落,使得工件架2上的塑胶管材被溅镀更加均匀;工件架2在下落后开始压缩气囊三47,气囊三47内的气体被挤压进入推力气缸二46中,推力气缸二46推动靶材42靠近工件架2使得工件架2上的塑胶管材更易被溅镀;在工件架2上移或下移过程中,铰接杆一22或铰接杆三24受压,杆四231被压入杆五233内,铰接杆二23长度减小,因杆四231上设置有螺旋凸起,杆五233上设置有螺旋滑槽,使得在两个杆四231被压入杆五233中后,杆五233转动,塑胶管材跟随杆五233转动,使得塑胶管材被溅镀均匀。
[0034] 以上,关于本发明的一实施方式进行了说明,但本发明不限于上述实施方式,在不脱离本发明主旨的范围内能够进行各种变更。
[0035] 工业实用性
[0036] 根据本发明,本发明通过使自动清洗模块向溅镀箱内喷洒水进行清洗,电机驱动工件架转动搅拌使水充分清洗溅镀箱,提高溅镀箱的清洗效率,有利于提高整个塑胶管材溅镀过程的效率;通过电机驱动工件架转动使塑胶管材表面溅镀均匀性以及靶材模块上下移动或横向移动靠近工件架使塑胶管材溅镀均匀,提高塑胶管材溅镀质量;因此该塑胶管材溅镀系统在镀膜技术领域是有用的。

附图说明

[0019] 图1是本发明的塑胶管材溅镀系统结构示意图;
[0020] 图2是图1的A-A结构示意图;
[0021] 图中:溅镀箱1、加热器11、工件架2、主支撑架21、铰接杆一22、铰接杆二23、杆四231、复位弹簧232、杆五233、铰接杆三24、电机3、气囊一31、伸缩气缸32、环形套33、气管一
34、凸轮35、靶材模块4、滑块41、靶材42、推力气缸一43、气囊二44、气管二45、推力气缸二
46、气囊三47、气管三48、自动清洗模块5、水箱51、引气管52、水管53、喷水头54、电磁阀55。
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