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一种基于布拉格反射效应的光谱仪   0    0

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专利申请流程有哪些步骤?
专利申请流程图
申请
申请号:指国家知识产权局受理一件专利申请时给予该专利申请的一个标示号码。唯一性原则。
申请日:提出专利申请之日。
2015-07-14
申请公布
申请公布指发明专利申请经初步审查合格后,自申请日(或优先权日)起18个月期满时的公布或根据申请人的请求提前进行的公布。
申请公布号:专利申请过程中,在尚未取得专利授权之前,国家专利局《专利公报》公开专利时的编号。
申请公布日:申请公开的日期,即在专利公报上予以公开的日期。
2016-01-20
授权
授权指对发明专利申请经实质审查没有发现驳回理由,授予发明专利权;或对实用新型或外观设计专利申请经初步审查没有发现驳回理由,授予实用新型专利权或外观设计专利权。
2018-07-17
预估到期
发明专利权的期限为二十年,实用新型专利权期限为十年,外观设计专利权期限为十五年,均自申请日起计算。专利届满后法律终止保护。
2035-07-14
基本信息
有效性 有效专利 专利类型 发明专利
申请号 CN201510413967.7 申请日 2015-07-14
公开/公告号 CN105181605B 公开/公告日 2018-07-17
授权日 2018-07-17 预估到期日 2035-07-14
申请年 2015年 公开/公告年 2018年
缴费截止日
分类号 G01N21/25G01J3/28 主分类号 G01N21/25
是否联合申请 独立申请 文献类型号 B
独权数量 1 从权数量 5
权利要求数量 6 非专利引证数量 0
引用专利数量 7 被引证专利数量 0
非专利引证
引用专利 CN104280321A、CN101393945A、CN101540468A、CN103943715A、CN103875081A、US2006/0124840A1、US2002/0126725A1 被引证专利
专利权维持 3 专利申请国编码 CN
专利事件 事务标签 公开、实质审查、授权
申请人信息
申请人 第一申请人
专利权人 杭州电子科技大学 当前专利权人 杭州电子科技大学
发明人 高秀敏、张宇、张辉朝、林君、逯鑫淼 第一发明人 高秀敏
地址 浙江省杭州市下沙高教园区2号大街 邮编 310018
申请人数量 1 发明人数量 5
申请人所在省 浙江省 申请人所在市 浙江省杭州市
代理人信息
代理机构
专利代理机构是经省专利管理局审核,国家知识产权局批准设立,可以接受委托人的委托,在委托权限范围内以委托人的名义办理专利申请或其他专利事务的服务机构。
杭州君度专利代理事务所 代理人
专利代理师是代理他人进行专利申请和办理其他专利事务,取得一定资格的人。
黄前泽
摘要
本发明涉及一种基于布拉格反射效应的光谱仪。现有技术难于小型化、光学分辨率低。本发明基于层状布拉格反射效应和,结合慢光波导导光特性,光场在两个布拉格反射部件之间传播,光场从顶部层状布拉格反射部件的表面出射,完成光谱分光,汇聚光学部件将入射光场聚焦成光谱线,线阵光电传感器进行光谱信息光电转化,实现光谱检测。本发明具有工艺简洁、灵活性高、易于小型化、高色散、分辨率高、应用范围广、系统简单、光机定位要求低、集成度高、可靠性高、功能扩充性强等特点。
  • 摘要附图
    一种基于布拉格反射效应的光谱仪
  • 说明书附图:图1
    一种基于布拉格反射效应的光谱仪
法律状态
序号 法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
1 2018-07-17 授权
2 2016-01-20 实质审查的生效 IPC(主分类): G01N 21/25 专利申请号: 201510413967.7 申请日: 2015.07.14
3 2015-12-23 公开
权利要求
权利要求书是申请文件最核心的部分,是申请人向国家申请保护他的发明创造及划定保护范围的文件。
1.一种基于布拉格反射效应的光谱仪,其特征在于:包括底部层状布拉格反射部件、工作层、顶部层状布拉格反射部件、汇聚光学部件和线阵光电传感器,在底部层状布拉格反射部件的上表面部分区域依次设置有工作层和顶部层状布拉格反射部件,构成工作层被底部层状布拉格反射部件和顶部层状布拉格反射部件进行双面夹层结构,工作层和顶部层状布拉格反射部件的侧面断面对齐,在底部层状布拉格反射部件的表面构成一个台阶,入射光场通过工作层侧面断面入射工作层,底部层状布拉格反射部件和顶部层状布拉格反射部件对工作层出射光束具有高反射特性,光场在底部层状布拉格反射部件和顶部层状布拉格反射部件之间传播,底部层状布拉格反射部件对光场反射率高于顶部层状布拉格反射部件的反射率,光场从顶部层状布拉格反射部件的表面出射,出射光场光路上设置有汇聚光学部件,将入射光场聚焦成光谱线,光谱线位置设置有线阵光电传感器,线阵光电传感器方向与光谱线方向相对应,所述的底部层状布拉格反射部件远离工作层一侧表面设置有底层电极层,所述的顶部层状布拉格反射部件远离工作层一侧表面设置有顶层电极层。

2.如权利要求1所述的一种基于布拉格反射效应的光谱仪,其特征在于:所述的底部层状布拉格反射部件和顶部层状布拉格反射部件为分布式布拉格反射镜。

3.如权利要求2所述的一种基于布拉格反射效应的光谱仪,其特征在于:所述的工作层为无源波导层或增益波导层。

4.如权利要求1所述的一种基于布拉格反射效应的光谱仪,其特征在于:所述的汇聚光学部件为透射式汇聚光学部件、反射式汇聚光学部件、微纳结构汇聚光学部件的一种。

5.如权利要求1所述的一种基于布拉格反射效应的光谱仪,其特征在于:所述的线阵光电传感器为光电二极管阵列、光电三极管阵列、雪崩管阵列、光电倍增管阵列、电荷耦合器件、互补金属氧化物半导体电传感器中的一种。

6.如权利要求1所述的一种基于布拉格反射效应的光谱仪,其特征在于:顶层电极层在光场出射处开有通光窗口。
说明书

技术领域

[0001] 本发明属于光学技术领域,涉及一种光谱仪,特别是一种基于布拉格反射效应的光谱仪,主要应用于环境检测、物质分析、颜色检测、食品安全、质量检测、资源勘探、生物生命、医学医疗、过程控制、物联网、光学技术、光电工程等领域中的光谱信息检测。

背景技术

[0002] 光谱仪是将入射光分解为光谱线并进行采集处理的仪器。根据色散组件的分光原理,,广泛应用于环境检测、物质分析、颜色检测、食品安全、质量检测、资源勘探、生物生命、医学医疗、过程控制、物联网、光学技术、光电工程等领域,例如,在环境检测领域,基于光谱仪的宽光谱水质分析仪可以同时检测多个水质指标,构建采样和原位在线两种水质环境检测网;在物质分析,基于光谱仪的红外分析技术和拉曼光谱分析技术广泛存在,并且发挥重要作用。
[0003] 光谱仪的发展经历了从棱镜光谱仪向衍射光栅光谱仪和干涉光谱仪的发展历程,在先技术中存在广泛存在一种光谱仪是基于光栅分光的光谱仪,例如,海洋光学公司的USB2000型号光谱仪,以及蔡司公司的MMS型号的光谱仪,以及,基于改进型光栅结构的新型光谱仪,参见美国授权专利,授权专利名称:Spectroscope,发明人:Katsumi Ida和Takeshi Ikeda,专利号:US7436512B2,专利授权时间:2008年10月14日。在先技术虽然存在一定的特点,但是仍然存在本质不足:1)采用光栅元件进行入射光束分光,工作原理是光栅光场衍射行为,光栅为二维微纳结构器件,设计和制作工艺限制了光栅构建灵活性差,基于微纳结构的光栅在尺寸上难于实现小型微型化,本质上受限于光栅微纳结构尺寸;2)光栅光谱仪的分辨率受到光栅微纳结构分布以及微纳结构几何尺寸限制,光学光谱分辨率不高,影响应用范围;3)在基于光栅构建光谱仪系统中,其它部件相对于光栅的方位和几何尺寸角度等参数要求高,系统复杂、构建灵活性不高,光栅光谱仪集成度低,可靠性和功能扩充性受到影响。

发明内容

[0004] 本发明的目的在于针对上述技术的不足,提供一种基于布拉格反射效应的光谱仪,具有工艺简洁、灵活性高、易于小型化、高色散、分辨率高、应用范围广、系统简单、光机定位要求低、集成度高、可靠性高、功能扩充性强等特点。
[0005] 本发明的基本构思是:基于层状布拉格反射效应和慢光波导导光特性,在底部层状布拉格反射部件的上面部分区域设置有工作层和顶部层状布拉格反射部件,工作层和顶部层状布拉格反射部件的侧面断面对齐,在底部层状布拉格反射部件的表面构成一个台阶,入射光场在入射到工作层侧面断面,光场在两个布拉格反射部件之间传播,底部层状布拉格反射部件对光场反射率高于顶部层状布拉格反射部件的反射率,光场从顶部层状布拉格反射部件的表面出射,不同波长出射角度不同,完成光谱分光行为,出射光场光路上设置有汇聚光学部件,将入射光场聚焦成光谱线,线阵光电传感器设置在光谱线位置,进行光谱信息光电转化,实现光谱检测。
[0006] 本发明包括:底部层状布拉格反射部件、工作层、顶部层状布拉格反射部件、汇聚光学部件、线阵光电传感器,在底部层状布拉格反射部件的上表面部分区域依次设置有工作层和顶部层状布拉格反射部件,构成工作层被底部层状布拉格反射部件和顶部层状布拉格反射部件进行双面夹层结构,工作层和顶部层状布拉格反射部件的侧面断面对齐,在底部层状布拉格反射部件的表面构成一个台阶,入射光场通过工作层侧面断面入射工作层,底部层状布拉格反射部件和顶部层状布拉格反射部件对工作层出射光束具有高反射特性,光场在底部层状布拉格反射部件和顶部层状布拉格反射部件之间传播,底部层状布拉格反射部件对光场反射率高于顶部层状布拉格反射部件的反射率,光场从顶部层状布拉格反射部件的表面出射,出射光场光路上设置有汇聚光学部件,将入射光场聚焦成光谱线,光谱线位置设置有线阵光电传感器, 线阵光电传感器方向与光谱线方向相对应。
[0007] 所述的底部层状布拉格反射部件和顶部层状布拉格反射部件为分布式布拉格反射镜。
[0008] 所述的工作层为无源波导层、增益波导层的一种。
[0009] 所述的汇聚光学部件为透射式汇聚光学部件、反射式汇聚光学部件、微纳结构汇聚光学部件的一种。
[0010] 所述的线阵光电传感器为光电二极管阵列、光电三极管阵列、雪崩管阵列、光电倍增管阵列、电荷耦合器件、互补金属氧化物半导体电传感器的一种。
[0011] 所述的底部层状布拉格反射部件远离工作层一侧表面设置有底层电极层。
[0012] 所述的顶部层状布拉格反射部件远离工作层一侧表面设置有顶层电极层,顶层电极层在光场出射处开有通光窗口。
[0013] 本发明中,当工作层为增益波导层时,在底部层状布拉格反射部件远离工作层一侧表面设置有底层电极层,在顶部层状布拉格反射部件远离工作层一侧表面设置有顶层电极层,顶层电极层在光场出射处开有通光窗口,此时,系统构成了有源分光部件,可以进一步提高光谱分光性能。
[0014] 本发明一种基于布拉格反射效应的光谱仪的工作过程为:工作层和顶部层状布拉格反射部件的侧面断面对齐,在底部层状布拉格反射部件的表面构成一个台阶,入射光场通过工作层侧面断面入射工作层,底部层状布拉格反射部件和顶部层状布拉格反射部件对工作层出射光束具有高反射特性,光场在底部层状布拉格反射部件和顶部层状布拉格反射部件之间传播,底部层状布拉格反射部件对光场反射率高于顶部层状布拉格反射部件的反射率,光场从顶部层状布拉格反射部件的表面出射,出射光场光路上设置有汇聚光学部件,将入射光场聚焦成光谱线,在底层电极层和顶层电极层之间施加电场,系统构成了有源分光部件,线阵光电传感器进行光谱信息光电转化,实现光谱检测。
[0015] 本发明中布拉格反射效应、慢光波导导光、汇聚光学、光谱信息光电转化技术均为成熟技术。本发明的发明点在于:基于层状布拉格反射效应和,结合慢光波导导光特性,光场在两个布拉格反射部件之间传播,光场从顶部层状布拉格反射部件的表面出射,完成光谱分光,汇聚光学部件将入射光场聚焦成光谱线,线阵光电传感器进行光谱信息光电转化,给出一种工艺简洁、灵活性高、易于小型化、高色散、分辨率高、应用范围广、系统简单、光机定位要求低、集成度高、可靠性高、功能扩充性强的基于布拉格反射效应的光谱仪。
[0016] 与现有技术相比,本发明的优点:
[0017] 1)在先技术采用光栅元件进行入射光束分光,工作原理是光栅光场衍射行为,光栅为二维微纳结构器件,设计和制作工艺限制了光栅构建灵活性差,基于微纳结构的光栅在尺寸上难于实现小型微型化,本质上受限于光栅微纳结构尺寸。本发明基于层状布拉格反射效应和慢光波导导光特性,入射光场在入射到工作层侧面断面,光场在两个布拉格反射部件之间传播,从顶部层状布拉格反射部件的表面出射,完成光谱分光,本元件发明分光部件基于层状布拉格反射部件,不涉及到二维微纳结构加工,为多层镀膜工艺,因此具有工艺简洁、灵活性高、易于小型化等特点;
[0018] 2)在先技术光栅光谱仪的分辨率受到光栅微纳结构分布以及微纳结构几何尺寸限制,光学光谱分辨率不高,影响应用范围。本发明本质上不采用光栅微纳结构,而是采用多层的布拉格反射结构,基于光场在布拉格反射结构构建的波导体系中的传播行为,原理上实现了光谱大角度分光, 高色散、提高了系统光学光谱分辨率,增加了光谱仪适用范围,本发明具有分辨率高和应用范围广等特点;
[0019] 3)在先技术基于光栅构建光谱仪系统中,其它部件相对于光栅的方位和几何尺寸角度等参数要求高,系统复杂、构建灵活性不高,光栅光谱仪集成度低,可靠性和功能扩充性受到影响。本发明中,光场从顶部层状布拉格反射部件的表面出射,出射光场光路上设置有汇聚光学部件,将入射光场聚焦成光谱线,线阵光电传感器进行光谱信息光电转化,实现光谱检测,核心部件为层状布拉格反射器,系统系统简单、光机定位要求低、集成度高、可靠性高、功能扩充性强。

实施方案

[0021] 下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明。
[0022] 如图1所示,一种基于布拉格反射效应的光谱仪,基于层状布拉格反射效应和,结合慢光波导导光特性,在底部层状布拉格反射部件的上面部分区域设置有工作层和顶部层状布拉格反射部件,工作层和顶部层状布拉格反射部件的侧面断面对齐,在底部层状布拉格反射部件的表面构成一个台阶,光场在两个布拉格反射部件之间传播,光场从顶部层状布拉格反射部件的表面出射,完成光谱分光,汇聚光学部件将入射光场聚焦成光谱线,线阵光电传感器进行光谱信息光电转化,实现光谱检测。
[0023] 本发明的一种基于布拉格反射效应的光谱仪,包括:底部层状布拉格反射部件1、工作层2、顶部层状布拉格反射部件3、汇聚光学部件4、线阵光电传感器5,在底部层状布拉格反射部件1的上表面部分区域依次设置有工作层2和顶部层状布拉格反射部件3,构成工作层2被底部层状布拉格反射部件1和顶部层状布拉格反射部件3进行双面夹层结构,工作层2和顶部层状布拉格反射部件3的侧面断面对齐,在底部层状布拉格反射部件1的表面构成一个台阶,入射光场6通过工作层侧面断面入射到工作层2,底部层状布拉格反射部件1和顶部层状布拉格反射部件3对工作层2出射光束具有高反射特性,光场在底部层状布拉格反射部件1和顶部层状布拉格反射部件3之间传播,底部层状布拉格反射部件1对光场反射率高于顶部层状布拉格反射部件3的反射率,光场从顶部层状布拉格反射部件3的表面出射,出射光场光路上设置有汇聚光学部件4,将入射光场聚焦成光谱线,光谱线位置设置有线阵光电传感器5, 线阵光电传感器5方向与光谱线方向相对应。为进一步提高光谱仪性能,本实施例中,工作层2设定为增益波导层时,在底部层状布拉格反射部件1远离工作层一侧表面设置有底层电极层7,在顶部层状布拉格反射部件3远离工作层一侧表面设置有顶层电极层8,此时,系统构成了有源分光部件,可以进一步提高光谱分光性能。
[0024] 本实施例中,底部层状布拉格反射部件1和顶部层状布拉格反射部件3为分布式布拉格反射镜;工作层2为增益波导层;汇聚光学部件4为反射式汇聚光学部件;线阵光电传感器5为互补金属氧化物半导体电传感器;入射光为955纳米到990纳米波段准直光束。
[0025] 本实施例工作过程为:工作层2和顶部层状布拉格反射部件3的侧面断面对齐,在底部层状布拉格反射部件1的表面构成一个台阶,入射光场通过工作层侧面断面入射工作层2,底部层状布拉格反射部件1和顶部层状布拉格反射部件3对工作层2出射光束具有高反射特性,光场在底部层状布拉格反射部件1和顶部层状布拉格反射部件3之间传播,底部层状布拉格反射部件1对光场反射率高于顶部层状布拉格反射部件3的反射率,光场从顶部层状布拉格反射部件3的表面出射,出射光场光路上设置有汇聚光学部件4,将入射光场聚焦成光谱线,在底层电极层7和顶层电极层8之间施加电场,系统构成了有源分光部件,线阵光电传感器5进行光谱信息光电转化,实现入射光的光谱检测。
[0026] 本实施例成功实现了955纳米到990纳米波段的高光学分辨率光谱检测。本发明具有工艺简洁、灵活性高、易于小型化、高色散、分辨率高、应用范围广、系统简单、光机定位要求低、集成度高、可靠性高、功能扩充性强等特点
[0027] 以上所述的具体实施方式对本发明的技术方案和有益效果进行了详细说明,应理解的是以上所述仅为本发明的最优选实施例,并不用于限制本发明,凡在本发明的原则范围内所做的任何修改、补充和等同替换等,均应包含在本发明的保护范围之内。

附图说明

[0020] 图1为本发明的一种实施例结构示意图。
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